【技术实现步骤摘要】
一种设备的温度调节方法、控制器、系统及存储介质
[0001]本申请涉及温度控制
,尤其是涉及一种设备的温度调节方法、控制器、系统及存储介质。
技术介绍
[0002]一般工业设备工作过程中会产生大量的热量或需要在恒定温度下工作,为了保证工业设备正常连续的运行,常常需要对工作中的设备进行温度调节。
[0003]对于设备的腔室温度调节,现有的温度控制方法大多为,在设备的腔室内设置一个或多个温度调控元件进行温度调节,温度调控元件可能采用分区域设置,各区域独立控制,或采用商用控制仪负责各个区域的温度控制。而这种调节方式存在调节精度低以及温度调节不均匀的问题,并且,现有温度控制中精度较高的温度控制大多针对的是局部设备表面温度的控制,并未对较大腔室或器件的温度精确控制。而对于一些具有温度控制精度高以及进行温度均匀调节要求的设备而言,现有温度调节方法显然并不能实现该要求。
技术实现思路
[0004]有鉴于此,本申请的目的在于提供一种设备的温度调节方法及装置,通过采用液体调温的方式可以实现对设备的均匀调温,并且通过控制器控制电控阀开度、第一温度调节器件的功率以及第二温度调节器件的功率,实现对所述循环液进行三次温度逐级精准调节,从而提高了温度调节的准确性,进而保证了设备的正常工作。
[0005]本申请实施例提供了一种设备的温度调节方法,应用于控制器,所述温度调节方法包括:
[0006]获取目标设备液体输出位置处循环液的第一温度,以及电控阀液体输入位置处调节液的第二温度;
[0007] ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设备的温度调节方法,其特征在于,应用于控制器,所述温度调节方法包括:获取目标设备液体输出位置处循环液的第一温度,以及电控阀液体输入位置处调节液的第二温度;基于所述循环液的第一温度和所述调节液的第二温度,确定用于控制调节液流量的电控阀的目标开度,以使调节液在所述目标开度下通过所述电控阀流至热交换器对所述热交换器中的所述循环液进行一级温度调节;基于获取的所述热交换器液体输出位置处所述循环液的第三温度,定第一温度调节器件的第一目标功率,并控制所述第一温度调节器件按照第一目标功率工作,对所述循环液进行二级温度调节;基于获取的所述第一温度调节器件液体输出位置处所述循环液的第四温度,确定第二温度调节器件的第二目标功率,并控制所述第二温度调节器件按照第二目标功率工作,对所述循环液进行三级温度调节,以使经过三级温度调节后的所述循环液对目标设备进行再次温度调节。2.根据权利要求1所述的温度调节方法,其特征在于,所述基于所述循环液的第一温度和所述调节液的第二温度,确定用于控制调节液流量的电控阀的目标开度,包括:确定所述第一温度是否大于第一预设温度阈值;所述第一温度为第一温度传感器在所述目标设备的液体输出位置处采集的所述循环液的温度;当为否时,将所述电控阀的预设开度确定为所述电控阀的目标开度;当为是时,获取第三温度传感器采集的所述热交换器液体输出位置处所述循环液的第三温度,基于所述第三温度、所述第二温度、预设第一目标温度以及温度与所述电控阀的开度之间的对应关系,确定所述电控阀的目标开度;所述第二温度为第二温度传感器在所述电控阀的液体输入位置处采集的所述调节液的温度。3.根据权利要求1所述的温度调节方法,其特征在于,所述基于获取的所述热交换器液体输出位置处所述循环液的第三温度,确定第一温度调节器件的第一目标功率,包括:确定所述第三温度是否小于第二预设温度阈值;当为是时,将所述第一温度调节器件的预设功率确定为所述第一温度调节器件的第一目标功率;当为否时,获取第四温度传感器采集的所述第一温度调节器件液体输出位置处所述循环液的第四温度,基于所述第四温度、预设第二目标温度以及温度与第一温度调节器件的功率之间的对应关系,确定所述第一温度调节器件的第一目标功率。4.根据权利要求1所述的温度调节方法,其特征在于,在所述热交换器与所述第一温度调节器件中间设置循环液储蓄池,所述基于所述循环液的第三温度,确定第一温度调节器件的第一目标功率,包括:获取第三温度的所述循环液流经循环液储蓄池后的所述循环液的第五温度;所述第五温度为第五温度传感器在所述循环液储蓄池液体输出位置处采集的所述循环液的温度;确定所述第五温度是否小于第二预设温度阈值;当为是时,将所述第一温度调节器件的预设功率确定为所述第一温度调节器件的第一目标功率;当为否时,获取第四温度传感器采集的所述第一温度调节器件液体输出位置处所述循
环液的第四温度,基于所述第四温度、预设第二目标温度以及温度与第一温度调节器件的功率之间的对应关系,确定所述第一温度调节器件的第一目标功率。5.根据权利要求1所述的温度调节方法,其特征在于,所述基于获取的所述第一温度调节器件液体输出位置处所述循环液的第四温度,确定第二温度调节器件的第二目标功率,包括:确定所述第四...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢志辉,张帅,韩帅,刘一鸣,
申请(专利权)人:北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所,
类型:发明
国别省市:
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