一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，属于AMOLED金属掩膜板技术领域，其包括底盘，所述底盘的上表面与机体保持架的下表面固定连接，所述机体保持架内壁的左侧面设置有酸碱存放槽。该连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，通过设置盐酸存放槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽，避免清洗过程中会有交叉污染风险，并大幅降低人力成本、多套单一设备等成本浪费，并且有多道药液浸泡除膜后进行纯水漂洗，漂洗后最后采用纯水加热，使金属掩膜板平均受热后，再倾阧30度抬取的方式，让金属掩膜板能快速干燥，取代市面上较多使用IPA浸泡后恢发的工艺，先纯水加热方式干燥即能达到环保要求，又能达到金属表面洁净的效果。洁净的效果。洁净的效果。

A continuous automatic intelligent cleaning equipment for AMOLED metal mask

【技术实现步骤摘要】
一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备


[0001]本技术属于AMOLED金属掩膜板
，具体为一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备。

技术介绍

[0002]AMOELD制程中，在蒸镀设备使用上不可缺少的重要金属掩膜板，当此金属掩模板表面不干净时，在蒸镀过程中会使得产品良率下降，故金属掩膜板表面洁净度更是为重要，在AMOLED蒸镀制程中，有区分有机材料与金属材料镀膜，然而现有的清洗设备在实际的使用过程中难以一次性对多个金属掩膜板进行清洗，同时通过同一个设备进行清洗动作容易出现交叉感染的情况，增加了金属掩膜板出现感染的情况，且增加了人力以及多套设备使用的成本。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，解决了现有的清洗设备在实际的使用过程中难以一次性对多个金属掩膜板进行清洗，同时通过同一个设备进行清洗动作容易出现交叉感染的情况，增加了金属掩膜板出现感染的情况，且增加了人力以及多套设备使用成本的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，包括底盘，所述底盘的上表面与机体保持架的下表面固定连接，所述机体保持架内壁的左侧面设置有酸碱存放槽，所述酸碱存放槽的右侧面与第一漂洗槽的左侧面搭接，所述第一漂洗槽的右侧面与有机槽的左侧面搭接，所述有机槽的右侧面与第二漂洗槽的左侧面搭接，所述第二漂洗槽的右侧面与第三漂洗槽的左侧面相互卡接，所述第三漂洗槽的右侧面与第四漂洗槽的左侧面相互卡接，所述机体保持架的上表面滑动连接有吊挂框架。
[0007]作为本技术的进一步方案：所述吊挂框架内设置有吊挂制具，所述底盘的上表面固定连接有五个过滤器。
[0008]作为本技术的进一步方案：所述第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽的正面通过导管分别与五个过滤器的背面相连通。
[0009]作为本技术的进一步方案：所述底盘的上表面固定连接有三个药液补液桶，所述第三漂洗槽和第四漂洗槽均设置为热水漂洗槽。
[0010]作为本技术的进一步方案：所述底盘下表面的四角处均设置有定位吸盘，所述吊挂制具和吊挂框架均位于第四漂洗槽的右侧，所述过滤器设置为三级过滤器。
[0011]作为本技术的进一步方案：所述机体保持架内设置有液位控制器，所述机体保持架内设置有加热器，所述机体保持架内设置为超声波振荡器。
[0012](三)有益效果
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0014]1、该连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，通过设置盐酸存放槽、第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽，在固定的过程中可采用固定两块金属掩膜板的方式对其进行处理，此时即可通过控制设备移动吊挂制具和吊挂框架的位置，并将吊挂制具以及金属掩膜板移动至盐酸存放槽内，且在浸泡完毕后即可启动过滤器，随后通过吊挂制具依次通过第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽对金属掩膜板进行清洗，且在进行金属与有机材料可同时在一套设备上进行清洗动作，并避免清洗过程中会有交叉污染风险，并大幅降低人力成本、多套单一设备等成本浪费，并且有多道药液浸泡除膜后进行纯水漂洗，漂洗后最后采用纯水加热，使金属掩膜板平均受热后，再倾阧30度抬取的方式，让金属掩膜板能快速干燥，取代市面上较多使用IPA浸泡后恢发的工艺，先纯水加热方式干燥即能达到环保要求，又能达到金属表面洁净的效果。
[0015]2、该连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，通过设置过滤器，由于第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽均与过滤器相连通，使得第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽在对金属掩膜板清洗完毕可通过过滤的方式循环使用，使得该清洗设备在运行的过程中可以通过多次、大量的对金属掩膜板进行清洗处理。
[0016]3、该连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，通过设置液位控制器、加热器和超声波振荡器，当工作人员通过该清洗设备对金属掩膜板进行处理时，加热器可以通过其内部的感温棒显示第一漂洗槽、有机槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽内的液体温度，同时可以通过超声波振荡器加快液体与清洗金属掩膜板的效率。
附图说明
[0017]图1为本技术立体的结构示意图；
[0018]图中：1底盘、2机体保持架、3酸碱存放槽、4第一漂洗槽、5有机槽、6第二漂洗槽、7第三漂洗槽、8第四漂洗槽、9吊挂框架、10吊挂制具、11过滤器、12药液补液桶。
具体实施方式
[0019]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0020]如图1所示，本技术提供一种技术方案：一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，包括底盘1，底盘1的上表面与机体保持架2的下表面固定连接，机体保持架2内壁的左侧面设置有酸碱存放槽3，酸碱存放槽3的右侧面与第一漂洗槽4的左侧面搭接，第一漂洗槽4的右侧面与有机槽5的左侧面搭接，有机槽5的右侧面与第二漂洗槽6的左侧面搭接，第二漂洗槽6的右侧面与第三漂洗槽7的左侧面相互卡接，第三漂洗槽7的右侧面与第四漂洗槽8的左侧面相互卡接，机体保持架2的上表面滑动连接有吊挂框架9，通过设置盐酸存放槽、第三漂洗槽7和第四漂洗槽8，在进行金属与有机材料可同时在一套设备上进行清洗动作，并避免清洗过程中会有交叉污染风险，并大幅降低人力成本、多套单一设备等成本浪费，并且有多道药液浸泡除膜后进行纯水漂洗，漂洗后最后采用纯水加热，使金属掩膜板平均受热后，再倾阧30度抬取的方式，让金属掩膜板能快速干燥，取代市面上较多使用IPA浸
泡后恢发的工艺，先纯水加热方式干燥即能达到环保要求，又能达到金属表面洁净的效果。
[0021]吊挂框架9内设置有吊挂制具10，底盘1的上表面固定连接有五个过滤器11，第一漂洗槽4、有机槽5、第二漂洗槽6、第三漂洗槽7和第四漂洗槽8的正面通过导管分别与五个过滤器11的背面相连通，因设置有过滤器11，使得第一漂洗槽4、有机槽5、第二漂洗槽6、第三漂洗槽7和第四漂洗槽8在对金属掩膜板清洗完毕可通过过滤的方式循环使用，使得该清洗设备在运行的过程中可以通过多次、大量的对金属掩膜板进行清洗处理。
[0022]底盘1的上表面固定连接有三个药液补液桶12，第三漂洗槽7和第四漂洗槽8均设置为热水漂洗槽，底盘1下表面的四角处均设置有定位吸盘，吊挂制具10和吊挂框架9均位于第四漂洗槽8的右侧，过滤器11设置为三级过滤器，机体保持架2内设置有液位控制器，机体保持架2内设置有加热器，机体保持架2内设置为超声波振荡器，因设置有液位控制器、加热器和超声波振荡器，加热器可以通过其内部的感温棒显示第一漂洗槽4、有机槽5、第二漂洗槽6、第三漂洗槽7和第四漂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的上表面与机体保持架(2)的下表面固定连接，所述机体保持架(2)内壁的左侧面设置有酸碱存放槽(3)，所述酸碱存放槽(3)的右侧面与第一漂洗槽(4)的左侧面搭接，所述第一漂洗槽(4)的右侧面与有机槽(5)的左侧面搭接，所述有机槽(5)的右侧面与第二漂洗槽(6)的左侧面搭接，所述第二漂洗槽(6)的右侧面与第三漂洗槽(7)的左侧面相互卡接，所述第三漂洗槽(7)的右侧面与第四漂洗槽(8)的左侧面相互卡接，所述机体保持架(2)的上表面滑动连接有吊挂框架(9)。2.根据权利要求1所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，其特征在于：所述吊挂框架(9)内设置有吊挂制具(10)，所述底盘(1)的上表面固定连接有五个过滤器(11)。3.根据权利要求2所述的一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：张庆明，
申请(专利权)人：全洋黄石材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：