本实用新型专利技术公开了一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，涉及金属掩膜板清洗技术领域，包括固定架、攀爬架和机体，所述机体内部顶端的一端安装有超声水槽，且机体顶端的两侧设置有横向电动滑轨，且横向滑块的顶端竖向安装有固定架，所述固定架内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨，所述竖向滑块一侧的固定架内部横向安装有固定板，且固定板的下方设置有夹持板，所述机体远离超声水槽的一端设置有攀爬架，所述机体一侧的底端安装有底板，且底板顶端靠近攀爬架的一端竖向安装有电控箱。本实用新型专利技术通过设置过滤器和超声水槽，实现纯水清洗，避免使用化学药液进行表面清洁动作，保证环保水准，提高设备使用环保节能性。提高设备使用环保节能性。提高设备使用环保节能性。
【技术实现步骤摘要】
一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备
[0001]本技术涉及金属掩膜板清洗
，具体为一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备。
技术介绍
[0002]掩膜板是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版接，其使用十分广泛，尤其在AMOELD制程中，在蒸镀设备使用上不可缺少的重要金属掩膜板，而当此金属掩模板表面不干净时，在蒸镀过程中会使得产品良率下降，故金属掩膜板表面洁净度更是为重要，但现有金属掩膜板智能清洗设备仍有一定的缺陷。
[0003]经过检索，中国专利授权公告号CN109382365A，公告日2019年02月26日，公开了一种用于金属掩膜板的清洗系统，文中提出“车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽”，其清洗较为干净，但其使用酒精等化学药液进行表面清洁动作，不易达到环保水准，鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的不易达到环保水准的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架、攀爬架和机体，还包括保证对工件夹持稳定性的微调机构和提高设备环保性的清洗机构；
[0006]所述机体内部顶端的一端安装有超声水槽，且机体顶端的两侧设置有横向电动滑轨，所述横向电动滑轨的顶端滑动连接有横向滑块，且横向滑块的顶端竖向安装有固定架，所述固定架内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨，且竖向电动滑轨的表面滑动连接有竖向滑块，所述竖向滑块一侧的固定架内部横向安装有固定板，且固定板的下方设置有夹持板，所述夹持板一端一侧的上端和下端设置有固定块，且固定块一端的中间位置处转动连接有阻尼转动压杆，所述微调机构设置在固定板内部上端的中间位置处；
[0007]所述机体远离超声水槽的一端设置有攀爬架，且攀爬架底端的两端等间距安装有万向轮，所述机体一侧的底端安装有底板，且底板顶端靠近攀爬架的一端竖向安装有电控箱，所述电控箱一端的上端设置有PLC控制器，且清洗机构设置在电控箱另一端的底板顶端。
[0008]优选的，所述清洗机构包括水箱，所述水箱竖向安装在电控箱另一端的底板顶端，且水箱一侧的底板顶端竖向安装有过滤器，所述过滤器的一端通过导管与水箱内部的一端连通，且水箱下方的底板顶端两端安装有水泵，所述水泵的输出端通过导管与超声水槽内部一端连通，且水泵的输入端通过导管与过滤器一端连通，所述超声水槽内部的两侧等间
距安装有加热棒，且超声水槽内部一端上端的中间位置处安装有光电液位感应器。
[0009]优选的，所述竖向滑块和横向滑块的形状均为倒C型，且竖向滑块和横向滑块关于机体的竖向中轴线对称分布。
[0010]优选的，所述夹持板一端的顶端和底端横向安装有限位槽，且限位槽的形状为U型。
[0011]优选的，所述夹持板一端远离固定块一侧的中间位置处安装有阻挡块，且阻挡块的形状为工字型。
[0012]优选的，所述微调机构包括伺服电机、预留槽、连接杆、活动板、齿条、转杆、从动齿轮、辅助齿轮、链条和主动齿轮，所述伺服电机安装在固定板内部上端的中间位置处，且伺服电机的输出端通过转轴安装有主动齿轮，所述夹持板靠近超声水槽一端上端的中间位置处转动连接有转杆，且转杆表面的两端分别安装有辅助齿轮和从动齿轮，所述从动齿轮和伺服电机之间设置有相啮合的链条，所述夹持板内部中间位置处的上端和下端横向开设有预留槽，且固定块一端安装有贯穿预留槽的连接杆，所述连接杆的一端竖向安装有活动板，且活动板顶端横向安装有与辅助齿轮相啮合的齿条。
[0013]优选的，所述预留槽两端分别与活动板和固定块的一端之间呈焊接一体化结构，且连接杆与预留槽的内部之间构成滑动结构。
[0014]与相关技术相比较，本技术提供的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备具有如下有益效果：
[0015]1、本技术提供有过滤器、水箱和超声水槽，利用水泵工作，将水箱内部的水吸出，同时设置过滤器将水中的杂质进行过滤吸附，避免杂质影响工件表面的洁净度，从而将纯水通过导管输送至超声水槽内部，且设置光电液位感应器实时检测超声水槽内部的液位高度，避免液位过高，导致清洗时水位的溢出，影响车间卫生的同时，也易造成水资源的浪费，之后启动加热棒对超声水槽内部的进行加热，保证最佳的清洗温度，提高清洗效果，从而实现纯水清洗，避免使用化学药液进行表面清洁动作，保证环保水准，提高设备使用环保节能性，从而解决了环保性较差的问题；
[0016]2、本技术提供有微调机构、固定块和阻尼转动压杆，利用伺服电机工作带动主动齿轮转动，使得链条开始转动，从而使得转杆转动带动辅助齿轮的转动，进而使得活动板移动带动连接杆在预留槽内部滑动，带动固定块往工件方向移动，当移动至合适位置后，再转动阻尼转动压杆，使得阻尼转动压杆一端往工件方向移动，进而对工件进一步限位固定，实现对工件的微调固定，保证工件夹持的稳定性，避免因夹持不稳定而影响清洗效率，严重时导致自动化工作时工件的脱落，造成生产经济损失，从而解决了不便微调夹持工件的问题。
附图说明
[0017]图1为本技术的三维剖面结构示意图；
[0018]图2为本技术的正视剖面结构示意图；
[0019]图3为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0020]图4为本技术的超声水槽处俯视剖面结构示意图；
[0021]图5为本技术图的夹持板处侧视结构示意图；
[0022]图6为本技术图的夹持板处后视结构示意图。
[0023]图中：1、固定架；2、竖向滑块；3、竖向电动滑轨；4、夹持板；5、横向滑块；6、横向电动滑轨；7、攀爬架；8、机体；9、万向轮；10、底板；11、电控箱；12、过滤器；13、水箱；14、PLC控制器；15、超声水槽；16、限位槽；17、固定板；18、微调机构；1801、伺服电机；1802、预留槽；1803、连接杆；1804、活动板；1805、齿条；1806、转杆；1807、从动齿轮；1808、辅助齿轮；1809、链条；1810、主动齿轮；19、水泵；20、加热棒；21、光电液位感应器；22、固定块；23、阻尼转动压杆；24、阻挡块。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例1：请参阅图1－6，一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架1、攀爬架7和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架(1)、攀爬架(7)和机体(8)，其特征在于：还包括保证对工件夹持稳定性的微调机构(18)和提高设备环保性的清洗机构；所述机体(8)内部顶端的一端安装有超声水槽(15)，且机体(8)顶端的两侧设置有横向电动滑轨(6)，所述横向电动滑轨(6)的顶端滑动连接有横向滑块(5)，且横向滑块(5)的顶端竖向安装有固定架(1)，所述固定架(1)内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨(3)，且竖向电动滑轨(3)的表面滑动连接有竖向滑块(2)，所述竖向滑块(2)一侧的固定架(1)内部横向安装有固定板(17)，且固定板(17)的下方设置有夹持板(4)，所述夹持板(4)一端一侧的上端和下端设置有固定块(22)，且固定块(22)一端的中间位置处转动连接有阻尼转动压杆(23)，所述微调机构(18)设置在固定板(17)内部上端的中间位置处；所述机体(8)远离超声水槽(15)的一端设置有攀爬架(7)，且攀爬架(7)底端的两端等间距安装有万向轮(9)，所述机体(8)一侧的底端安装有底板(10)，且底板(10)顶端靠近攀爬架(7)的一端竖向安装有电控箱(11)，所述电控箱(11)一端的上端设置有PLC控制器(14)，且清洗机构设置在电控箱(11)另一端的底板(10)顶端。2.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述清洗机构包括水箱(13)，所述水箱(13)竖向安装在电控箱(11)另一端的底板(10)顶端，且水箱(13)一侧的底板(10)顶端竖向安装有过滤器(12)，所述过滤器(12)的一端通过导管与水箱(13)内部的一端连通，且水箱(13)下方的底板(10)顶端两端安装有水泵(19)，所述水泵(19)的输出端通过导管与超声水槽(15)内部一端连通，且水泵(19)的输入端通过导管与过滤器(12)一端连通，所述超声水槽(15)内部的两侧等间距安装有加热棒(20)，且超声水槽(15)内部一端上端的中间位置处安装有光电液位感应器(21)。3.根据权利要求1所述的一种A...
【专利技术属性】
技术研发人员：张庆明，
申请(专利权)人：全洋黄石材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。