一种晶圆测试探针设备制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆领域，具体的说是一种晶圆测试探针设备，包括操作机构，所述操作机构包括驱动机构，所述驱动机构的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定安装有支撑平台，所述支撑平台的顶部固定安装有旋转台，所述旋转台的顶部开设有限位槽；通过操作机构、驱动电机、转轴、支撑平台、旋转台和限位槽的配合安装，实现了便于旋转限位的功能，在使用过程中，可通过驱动电机带动转轴而产生的电流，对旋转台上方的晶圆进行旋转，使得该旋转台上的晶圆各个角落都能够检测到，而限位槽的设置，可以对圆晶进行限位，使得该圆晶能够不易移位，解决了一般测试探针设备不便于旋转的问题，提高了测试探针设备的效率。提高了测试探针设备的效率。提高了测试探针设备的效率。

A wafer test probe device

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试探针设备


[0001]本技术涉及晶圆领域，具体是一种晶圆测试探针设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在该晶圆加工完毕，在使用过程中，可通过测试探针对其晶圆进行检测，检测合格的晶圆才能够进行使用。
[0003]但是目前的测试探针设备存在不便于转换角度的问题，在使用过程中，当对圆晶的边角进行测试时，该探针会检测不到，所以影响测试工作，因此需要进行改进。
[0004]因此，针对上述问题提出一种晶圆测试探针设备。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决便于转换角度的问题，本技术提出一种晶圆测试探针设备。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种晶圆测试探针设备，包括操作机构，所述操作机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定安装有支撑平台，所述支撑平台的顶部固定安装有旋转台，所述旋转台的顶部开设有限位槽。
[0007]所述检测机构包括电动升降推杆，所述电动升降推杆的内部固定安装有固定块，所述电动升降推杆的底端固定安装有连接架，所述连接架的内部固定安装有第二滑轨，所述第二滑轨的内部固定安装有滑块，所述第二滑轨的内部固定安装有连接块，所述连接块的底部固定安装有探针头。
[0008]优选的，所述底座的顶部固定安装有连接板，且底座的数量为两个，且两个底座以连接板的垂直中线对称轴对称设置。
[0009]优选的，所述连接板包括存放箱，且存放箱的两侧均固定安装有第一滑轨，且第一滑轨的内部固定安装有传动架，且传动架的两侧均固定安装有滑轮。
[0010]优选的，所述连接板的顶部两侧均固定安装有支撑杆，且支撑杆的顶部固定安装有支撑板。
[0011]优选的，所述支撑板的顶部两侧均固定安装有电动升降套杆，且电动升降套杆的顶部固定安装有固定板，且电动升降套杆的数量为两个。
[0012]优选的，所述驱动电机通过转轴与旋转台活动连接，且驱动电机与转轴垂直分布。
[0013]优选的，所述固定板通过电动升降推杆与探针头升降连接，且电动升降推杆与探针头为垂直分布。
[0014]优选的，所述探针头通过第二滑轨与连接架活动连接，且连接架为方形结构。
[0015]本技术的有益之处在于：
[0016]1.本技术通过操作机构、驱动电机、转轴、支撑平台、旋转台和限位槽的配合安装，实现了便于旋转限位的功能，在使用过程中，可通过驱动电机带动转轴而产生的电流，对旋转台上方的晶圆进行旋转，使得该旋转台上的晶圆各个角落都能够检测到，而限位槽的设置，可以对圆晶进行限位，使得该圆晶能够不易移位，解决了一般测试探针设备不便于旋转的问题，提高了测试探针设备的效率；
[0017]2.本技术通过检测机构、电动升降推杆、固定块、连接架、第二滑轨、滑块、连接块和探针头的配合安装，实现了便于升降便于滑动的功能，在使用过程中，可通过向下拉动电动升降推杆带动连接架，连接架再带动探针头向下升降，而达到便于对不同大小高度的晶圆能够更加贴合的进行检测的作用，左右滑动连接块在第二滑轨内部进行滑动，以达到对晶圆边角检测方便的目的，提高了测试探针设备的适应性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0019]图1为实施例的正剖图；
[0020]图2为实施例的正视图；
[0021]图3为实施例的检测机构结构示意图；
[0022]图4为实施例的操作机构结构示意图；
[0023]图5为实施例的图1中A处结构放大图。
[0024]图中：1、底座；2、存放箱；3、第一滑轨；4、传动架；5、滑轮；6、支撑杆；7、支撑板；8、电动升降套杆；9、固定板；10、操作机构；1001、驱动电机；1002、转轴；1003、支撑平台；1004、旋转台；1005、限位槽；11、检测机构；1101、电动升降推杆；1102、固定块；1103、连接架；1104、第二滑轨；1105、滑块；1106、连接块；1107、探针头；12、连接板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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5所示，一种晶圆测试探针设备，包括操作机构10，操作机构10包括驱动电机1001，驱动电机1001的输出轴通过联轴器固定连接有转轴1002，转轴1002的顶端固定安装有支撑平台1003，支撑平台1003的顶部固定安装有旋转台1004，旋转台1004的顶部开设有限位槽1005，通过操作机构10、驱动电机1001、转轴1002、支撑平台1003、旋转台1004和限位槽1005的配合安装，实现了便于旋转限位的功能，在使用过程中，可通过驱动电机1001带动转轴1002而产生的电流，对旋转台1004上方的晶圆进行旋转，使得该旋转台1004上的晶圆各个角落都能够检测到，而限位槽1005的设置，可以对圆晶进行限位，使得该圆晶能够不易移位，解决了一般测试探针设备不便于旋转的问题，提高了测试探针设备的效率。
[0027]检测机构11包括电动升降推杆1101，电动升降推杆1101的内部固定安装有固定块1102，电动升降推杆1101的底端固定安装有连接架1103，连接架1103的内部固定安装有第二滑轨1104，第二滑轨1104的内部固定安装有滑块1105，第二滑轨1104的内部固定安装有连接块1106，连接块1106的底部固定安装有探针头1107，通过检测机构11、电动升降推杆1101、固定块1102、连接架1103、第二滑轨1104、滑块1105、连接块1106和探针头1107的配合安装，实现了便于升降便于滑动的功能，在使用过程中，可通过向下拉动电动升降推杆1101带动连接架1103，连接架1103再带动探针头1107向下升降，而达到便于对不同大小高度的晶圆能够更加贴合的进行检测的作用，左右滑动连接块1106在第二滑轨1104内部进行滑动，以达到对晶圆边角检测方便的目的，提高了测试探针设备的适应性。
[0028]本实施例中，底座1的顶部固定安装有连接板12，且底座1的数量为两个，且两个底座1以连接板12的垂直中线对称轴对称设置，通过底座1的设置，达本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试探针设备，其特征在于：包括操作机构(10)，所述操作机构(10)包括驱动电机(1001)，所述驱动电机(1001)的输出轴通过联轴器固定连接有转轴(1002)，所述转轴(1002)的顶端固定安装有支撑平台(1003)，所述支撑平台(1003)的顶部固定安装有旋转台(1004)，所述旋转台(1004)的顶部开设有限位槽(1005)；一检测机构(11)，所述检测机构(11)包括电动升降推杆(1101)，所述电动升降推杆(1101)的内部固定安装有固定块(1102)，所述电动升降推杆(1101)的底端固定安装有连接架(1103)，所述连接架(1103)的内部固定安装有第二滑轨(1104)，所述第二滑轨(1104)的内部固定安装有滑块(1105)，所述第二滑轨(1104)的内部固定安装有连接块(1106)，所述连接块(1106)的底部固定安装有探针头(1107)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试探针设备，其特征在于：一底座(1)的顶部固定安装有连接板(12)，且所述底座(1)的数量为两个，且两个底座(1)以连接板(12)的垂直中线对称轴对称设置。3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试探针设备，其特征在于：所述连接板(12)包括存放...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓辉，周永昌，董琪琪，
申请(专利权)人：飞锃半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：