一种反应副产品收集系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种反应副产品收集系统及方法，所述反应副产品收集系统包括：壳体，进气口、加热区、冷却区、捕捉区、缓冲区以及排气口。本发明专利技术提供的一种反应副产品收集系统主要解决工程废气中废气处理二次污染、废气粉末颗粒不能被充分吸附、废气粉末颗粒吸附成本高以及收集装置不便维护的问题，本发明专利技术具有无二次废水污染、显著提升废气粉末颗粒吸附处理效率、降低废气粉末颗粒吸附成本和装置方便维护等优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种反应副产品收集系统及方法


[0001]本专利技术涉及半导体和化学等领域，特别涉及一种用于半导体和化学等领域工业生产废气的反应副产品收集系统及方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造工程、LCD或者OLED等平板显示设备的制造工程、太阳能电池和LED等制造过程中，会让生对人体和环境有害的工程废气，常见的废气类型有氯化钛TiCl、硅烷SiH4，氯气、氟化物PFC等为主。为了避免工程废气对环境造成污染和损害，需要将废气中的有害物质进行除害处理，才能排放到外界环境中。
[0003]现有技术通常使用燃烧或者在800
‑
2000摄氏度高温下分解的方式处理废气，使废气中的有害物质分解。有害物质分解后一般需将废气通入水处理装置中，使得废气与水进行直接接触，除去其中可溶于水的有害物质如氟、氯碳化合物等，然后再通过专门的粉末颗粒吸附装置进行粉末颗粒催化吸附。如申请号为CN201610292253.X公开的一种废气处理设备及废气处理方法。该现有技术公开的废气处理设备包括废气收集装置、粉末颗粒捕集装置、循环水喷淋装置和活性炭吸附装置，其中废气收集装置包括循环水箱、喷淋水泵和离心风机。该现有技术公开的废气处理方法在废气收集后对废气进行还原处理，再对还原处理后的废气进行粉末颗粒捕集，然后利用循环水形成的水膜吸附气体中的尘粒，最后使用活性炭对排出气体中的挥发性有机物进行吸附处理。
[0004]现有技术在处理工程废气时，存在以下缺点：
[0005]1.使废气与水直接接触除去可溶于水的氟、氯碳化合物等有害成分，会产生废水，进而产生二次污染；
[0006]2.由于废气中的有害粉末颗粒物通常较小，不容易被水洗处理完全，即废气粉末颗粒吸附处理效率低，还需要专门的粉末颗粒吸附装置进行粉末颗粒吸附，例如常用的活性炭进行吸附；
[0007]3.现有技术中通常使用活性炭等吸附材料对废气粉末颗粒进行吸附，活性炭等吸附材料在吸附处理中会存在损耗，需定期更换吸附材料，成本高。
[0008]4.目前常见的粉尘过滤装置，不仅包含对粉尘直接进行吸附的部分，还包括水处理部分，装置结构复杂，且内部吸附结构拆卸难度大，维护不便。

技术实现思路

[0009]本专利技术提出一种反应副产品收集系统，主要解决现有技术废气处理易产生废水二次污染、工程废气中废气粉末颗粒不能被充分吸附捕捉、废气粉末颗粒吸附成本高以及装置结构复杂不便维护的问题。
[0010]本专利技术公开了一种反应副产品收集系统具有充分吸附捕捉工程废气中废气粉末颗粒，增加废气处理效果，不产生废水二次污染以及便于维护等优点。
[0011]本专利技术公开了一种反应副产品收集系统，包括壳体，所述反应副产品收集系统包
括一进气口、一加热区、一冷却区、一捕捉区、一缓冲区、一排气口；其中，
[0012]所述进气口设置于所述壳体的顶部，用于输入待处理废气至所述反应副产品收集系统；
[0013]所述加热区设置于所述进气口下方，所述加热区包含水平设置的一金属板和一金属片，所述金属片与所述金属板交叉设置，且所述金属片设置在所述金属板的上方，所述金属片用于导热和引导待处理废气向所述加热区四周分散；
[0014]所述冷却区设置在所述加热区下方，所述冷却区内设置一管道，所述管道可通入冷却介质，实现对所述废气冷却并使所述反应气体产生粉末颗粒；
[0015]所述捕捉区设置于所述冷却区下方，所述捕捉区包含一多孔收集结构，
[0016]所述多孔收集结果包括竖直设置的一第一多孔板、一第二多孔板和水平放置的一第三多孔板，所述第一多孔板和所述第二多孔板相互之间呈十字交叉，所述第三多孔板与所述第一多孔板和所述第二多孔板之间呈十字交叉，用于吸附和收集所述废气中的粉末颗粒；其中十字交叉设计可以放置更多的多孔板，进而实现好的捕捉效果，十字交叉不限于垂直结构的设置，同时多孔板之间也可以以其他角度进行排布。
[0017]所述缓冲区设置于所述捕捉区下方，所述缓冲区内设置一滤网；
[0018]所述排气口设置于所述壳体的底部，用于排出经所述反应副产品收集系统处理后的废气。
[0019]所述的加热区具有防止进气口粉尘堆积、增加气体动能和分子速度以及保持废气中的粉末颗粒处于高能量(动能)状态的优点。
[0020]所述冷却区的具有使通过气流物理形态发生变化、进而增加废气粉末颗粒并被吸附的作用。
[0021]另一优选例中，所述多孔收集结构包含一通孔，所述通孔直径为10mm～60mm，所述通孔均匀分布在所述第一多孔板、第二多孔板和第三多孔板上。本申请中孔的直径优选45mm。
[0022]另一优选例中，所述第一多孔板或所述第二多孔板为复数层，任两层所述第一多孔板之间相互平行。
[0023]另一优选例中，所述冷却区包括一框架结构，所述框架结构包含一第一冷却板，所述第一冷却板主要由一镂空金属板组成，所述管道沿着所述镂空金属板四周排布。
[0024]另一优选例中，所述框架结构还包含一第二冷却板，所述第二冷却板包含两个中间没有衔接的一第一冷却金属板组成，所述第一冷却金属板分别设置在所述框架结构靠近所述壳体的两侧。
[0025]另一优选例中，所述框架结构还包含一第二冷却板，所述第二冷却板包含一第二冷却金属板，所述第二冷却金属板设置在所述框架结构远离壳体的中间位置；所述第二冷却金属板竖直方向投影与所述镂空金属板的镂空部分重合。
[0026]另一优选例中，所述冷却区还包括一空心金属柱，所述空心金属柱分布在所述第一冷却板和所述第二冷却板上。
[0027]另一优选例中，所述多孔收集结构相对于所述壳体可拆卸，所述冷却区和所述缓冲区现对于所述壳体可拆卸。
[0028]另一优选例中，所述捕捉区内部设置有冷却管道，所述冷却管道设置在所述多孔
收集结构周围。
[0029]另一优选例中，所述滤网水平设置于所述缓冲区和所述排气口之间，所述滤网的数量为复数。
[0030]另一优选例中，所述滤网上设置有一滤网孔，所述滤网孔的尺寸0.5mm～5mm。
[0031]另一优选例中，所述排气口外接一泵管和一真空泵，所述泵管和所述真空泵防止粉尘倒灌回所述捕捉器内和促进废气排出。
[0032]另一优选例中，待处理的所述废气类包含氯化钛、硅烷、氯气、氟化物。
[0033]一种反应副产品收集方法，包括如下步骤：
[0034]S1：废气输入一进气口至所述反应副产品收集系统中；
[0035]S2：进气口输入的废气进入一加热区，所述加热区的温度为300
°
～400
°
所述加热区用于对所述进气口输入废气进行加热和分解；
[0036]S3：经过加热和分解后的废气进入一冷却区，所述冷却区用于对加热和分解后的废气进行冷却，使所述废气冷却并产生粉末颗粒；
[0037]S4：所述废气以及所述粉末颗粒进入一捕捉区，所述捕捉区用于吸附和收集所述废气中的粉末颗粒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应副产品收集系统，包括壳体，其特征在于，所述反应副产品收集系统包括一进气口、一加热区、一冷却区、一捕捉区、一缓冲区、一排气口；其中，所述进气口设置于所述壳体的顶部，用于输入待处理废气至所述反应副产品收集系统；所述加热区设置于所述进气口下方，所述加热区包含水平设置的一金属板和一金属片，所述金属片与所述金属板交叉设置，且所述金属片设置在所述金属板的上方，所述金属片用于导热和引导待处理废气向所述加热区四周分散；所述冷却区设置在所述加热区下方，所述冷却区内设置一管道，所述管道可通入冷却介质，实现对所述废气冷却并使所述反应气体产生粉末颗粒；所述捕捉区设置于所述冷却区下方，所述捕捉区包含一多孔收集结构，所述多孔收集结果包括竖直设置的一第一多孔板、一第二多孔板和水平放置的一第三多孔板，所述第一多孔板和所述第二多孔板相互之间呈十字交叉，所述第三多孔板与所述第一多孔板和所述第二多孔板之间呈十字交叉，用于吸附和收集所述废气中的粉末颗粒；所述缓冲区设置于所述捕捉区下方，所述缓冲区内设置一滤网；所述排气口设置于所述壳体的底部，用于排出经所述反应副产品收集系统处理后的废气。2.根据权利要求1所述的反应副产品收集系统，其特征在于，所述多孔收集结构包含一通孔，所述通孔直径为10mm～60mm，所述通孔均匀分布在所述第一多孔板、第二多孔板和第三多孔板上。3.根据权利要求1所述的反应副产品收集系统，其特征在于，所述第一多孔板或所述第二多孔板为复数层，任两层所述第一多孔板之间相互平行。4.根据权利要求1所述的反应副产品收集系统，其特征在于，所述冷却区包括一框架结构，所述框架结构包含一第一冷却板，所述第一冷却板主要由一镂空金属板组成，所述管道沿着所述镂空金属板四周排布。5.根据权利要求4所述的反应副产品收集系统，其特征在于，所述框架结构还包含一第二冷却板，所述第二冷却板包含两个中间没有衔接的一第一冷却金属板组成，所述第一冷却金属板分别设置在所述框架结构靠近所述壳体的两侧。6.根据权利要求4所述的反应副产品收集系统，其特征在于，所述框架结构还包含一第二冷却板，所述第二冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑洪，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：