一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统技术方案

本公开提供了一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，该隔振结构包括：隔板，其一侧与所述驱动装置固定连接，另一侧通过一柔性连接件与设备主体连接；减振单元，其与隔板固定连接，用于减弱所述隔板受驱动装置带来的振动。本公开还提供了一种用于激光器的叶轮转子系统。叶轮转子系统。叶轮转子系统。

【技术实现步骤摘要】
一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统


[0001]本公开涉及激光器
，具体涉及一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统。

技术介绍

[0002]在高端光刻领域，高重频准分子激光器对线宽和稳定性要求进一步提高，光学系统对设备机台的稳定性要求也随之更严，轻微的振动也会影响性能参数，另一方面为了提高激光器输出功率，要求脉冲频率继续增加，随之而来的要求通风系统风速也要大幅提高，在设备结构尺寸无法加大的限制之下只能提高叶轮转速，叶轮固有的不平衡量也随转速提高而导致振动加大，目前的叶轮转子系统通过轴承安装在放电腔的腔体内，叶轮的振动直接传递给放电腔，放电腔出光窗口和光学模块之间出现相对的抖动问题，进而影响线宽等光学参数的技术性能。
[0003]针对上述这些问题，本公开通过隔振结构的优化设计将激光器中的叶轮转子系统的放电腔腔体与隔板通过柔性连接件进行连接，避免放电腔腔体与隔板相互间刚性接触，以使叶轮的振动无法直接传递给放电腔腔体。同时，为了保证放电腔腔体和电机整体的密封性，该电机与隔板连接处及腔体与柔性连接件连接处等均采用密封圈进行密封，避免腔内气体外泄。此外，为减小叶轮振动对腔体的影响，叶轮转子系统的振动采用减振单元进行吸收，通过这样的结构改进使得叶轮振动对光学系统各个模块单元的影响明显降低，使得激光器的光学系统的稳定性得以大幅提高。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术中上述问题，本公开提供了一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，并采用减振单元减弱隔板受驱动装置带来的振动，以使工作件的振动对光学系统各个模块单元的影响明显降低。
[0005]本公开的第一方面提供了一种隔振结构，该隔振结构，其用于隔离一驱动装置对设备主体象的振动，包括：隔板，其一侧与驱动装置固定连接，另一侧通过一柔性连接件与设备主体连接；减振单元，其与该隔板固定连接，用于减弱隔板受驱动装置带来的振动。
[0006]进一步地，设备主体包括腔体及工作体，该腔体外侧与隔板通过柔性连接件连接，工作体悬空设于腔体中，以使该工作体工作振动时不与腔体发生碰撞，隔板及腔体设有相对应的通孔，以使工作体的转轴穿过通孔与驱动装置连接。
[0007]进一步地，隔板下方设置有限位销，限位销一端设置于腔体上相对应的槽孔内，其用于限制工作体工作振动时的振动幅度，以使其不与腔体发生碰撞。
[0008]进一步地，限位销与其对应的腔体的槽孔周边间隙小于工作体与腔体的间距。
[0009]进一步地，隔板上还设置一常闭气缸，腔体上设置有与常闭气缸的推杆对应的卡槽，该常闭气缸用于工作体达到预设工作状态前将该推杆推至对应的卡槽内，以使隔板与腔体固定，在工作体的工作状态达到预设工作状态后将该推杆缩回以使隔板与腔体之间脱
离接触。
[0010]进一步地，工作体的工作状态达到预设工作状态前为工作体的转速小于预设转速，工作体的工作状态达到预设工作状态后为工作体的转速等于该预设转速。
[0011]进一步地，减振单元包括减振支撑板及多个减震器，减振支撑板上端面用于支撑隔板，其下端面设置多个减震器，用于吸收该工作体工作振动时产生的振动。
[0012]进一步地，减振支撑板上设有多个通孔，腔体底部设置多个与减振支撑板上多个通孔相对应的销孔，减振支撑板与腔体通过多个固定销及多个锁紧螺栓分别穿过多个通孔至多个销孔内固定连接。
[0013]进一步地，腔体与柔性连接件的连接处及驱动装置与隔板均设有密封圈，其用于保证腔体的气密性，防止腔内气体外泄。
[0014]本公开二方面提供了一种用于激光器的叶轮转子系统，包括：电机；放电腔腔体，其内部悬空设有叶轮，以使该叶轮工作振动时不与放电腔腔体发生碰撞；如本公开第一个方面所述的隔振结构；其中，隔振结构一侧与电机连接，另一侧通过一柔性连接件与放电腔腔体连接，电机用于驱动叶轮转动。
[0015]进一步地，叶轮两端设有叶轮轴盘，叶轮轴盘上设置多个轴承，该多个轴承通过与其对应的多个轴套固定设置于隔板内，以使叶轮轴盘与隔板固定连接。
[0016]本公开提供的一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统，通过隔振结构的结构设计及优化，将用于激光器的叶轮转子系统和腔体进行脱离，避免刚性接触，叶轮的振动无法直接传递给腔体，同时为了保证腔体和叶轮整体的密封性，该电机与隔板连接处及腔体与柔性连接件连接处等均采用密封圈进行密封，以免腔内气体外泄；叶轮转子系统的振动采用减振单元进行吸收，通过隔振结构的改进使得叶轮振动对光学系统各个模块单元的影响明显降低。
附图说明
[0017]为了更完整地理解本公开及其优势，现在将参考结合附图的以下描述，其中：
[0018]图1示意性示出了根据本公开一实施例的隔振结构的示意图；
[0019]图2示意性示出了根据本公开一实施例的用于激光器的叶轮转子系统结构的剖视图；
[0020]图3示意性示出了根据本公开实施例的用于激光器的叶轮转子系统结构的A部分放大图；
[0021]图4示意性示出了根据本公开实施例的用于激光器的叶轮转子系统结构的B部分放大图；
[0022]图5示意性示出了根据本公开实施例的用于激光器的叶轮转子系统结构的封闭气缸示意图。
具体实施方式
[0023]以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。在下面的详细描述中，为便于解释，阐述了许多具体的细节以提供对本公开实施例的全面理解。然而，明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细
节的情况下也可以被实施。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
[0024]在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
[0025]在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义，除非另外定义。应注意，这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义，而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。
[0026]图1示意性示出了根据本公开一实施例的隔振结构的示意图。
[0027]如图1所示，该隔振结构用于隔离一驱动装置30对设备主体40的振动，其包括：隔板10，其一侧与驱动装置30固定连接，另一侧通过一柔性连接件101与设备主体40连接；减振单元20，其与该隔板10固定连接，用于减弱隔板10受驱动装置30带来的振动。
[0028]其中，设备主体40包括腔体401及工作体402，该腔体401外侧与隔板10通过柔性连接件101连接，工作体402悬空设于腔体401中，以使该工作体402工作振动时不与腔体401发生碰撞，隔板10及腔体401设有相对应的通孔，以使工作体402的转轴穿过通孔与驱动装置30连接，其中，驱动装置30仅驱动工作体402转动工作，腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，其特征在于，所述隔振结构包括：隔板(10)，其一侧与所述驱动装置(30)固定连接，另一侧通过一柔性连接件(101)与所述设备主体(40)连接；减振单元(20)，其与所述隔板(10)固定连接，用于减弱所述隔板(10)受所述驱动装置(30)带来的振动。2.根据权利要求1所述的隔振结构，其特征在于，所述设备主体(40)包括腔体(401)及工作体(402)，所述腔体(401)外侧与所述隔板(10)通过该柔性连接件(101)连接，所述工作体(402)悬空设于所述腔体(401)中，以使该工作体(402)工作振动时不与所述腔体(401)发生碰撞，所述隔板(10)及腔体(401)设有相对应的通孔，以使所述工作体(402)的转轴穿过所述通孔与所述驱动装置(30)连接。3.根据权利要求2所述的隔振结构，其特征在于，所述隔板下方设置有限位销(102)，所述限位销(102)一端设置于所述腔体(401)上相对应的槽孔内，其用于限制所述工作体(402)工作振动时的振动幅度，以使其不与所述腔体(401)发生碰撞。4.根据权利要求3所述的隔振结构，其特征在于，所述限位销(102)与其对应的所述腔体(401)的槽孔周边间隙小于所述工作体(402)与所述腔体(401)的间距。5.根据权利要求2所述的隔振结构，其特征在于，所述隔板上还设置一常闭气缸，所述腔体(401)上设置有与所述常闭气缸的推杆对应的卡槽，所述常闭气缸用于所述工作体(402)达到预设工作状态前将该推杆推至对应的卡槽内，以使所述隔板(10)与所述腔体(401)固定，在所述工作体(402)的工作状态达到预设工作状态后将该推杆缩回以使所述隔板(10)与所述腔体(401)之间脱离接触。6.根据权利要求5所述的隔振结构，其特征在于，所述工作体(402)的工作状态达到预设工作状态前为所述工...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，刘广义，徐向宇，江锐，丁金滨，冯泽斌，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：