一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统技术方案

本公开提供了一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，该隔振结构包括：隔板，其一侧与所述驱动装置固定连接，另一侧通过一柔性连接件与设备主体连接；减振单元，其与隔板固定连接，用于减弱所述隔板受驱动装置带来的振动。本公开还提供了一种用于激光器的叶轮转子系统。叶轮转子系统。叶轮转子系统。

【技术实现步骤摘要】
一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统


[0001]本公开涉及激光器
，具体涉及一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统。

技术介绍

[0002]在高端光刻领域，高重频准分子激光器对线宽和稳定性要求进一步提高，光学系统对设备机台的稳定性要求也随之更严，轻微的振动也会影响性能参数，另一方面为了提高激光器输出功率，要求脉冲频率继续增加，随之而来的要求通风系统风速也要大幅提高，在设备结构尺寸无法加大的限制之下只能提高叶轮转速，叶轮固有的不平衡量也随转速提高而导致振动加大，目前的叶轮转子系统通过轴承安装在放电腔的腔体内，叶轮的振动直接传递给放电腔，放电腔出光窗口和光学模块之间出现相对的抖动问题，进而影响线宽等光学参数的技术性能。
[0003]针对上述这些问题，本公开通过隔振结构的优化设计将激光器中的叶轮转子系统的放电腔腔体与隔板通过柔性连接件进行连接，避免放电腔腔体与隔板相互间刚性接触，以使叶轮的振动无法直接传递给放电腔腔体。同时，为了保证放电腔腔体和电机整体的密封性，该电机与隔板连接处及腔体与柔性连接件连接处等均采用密封圈进行密封，避免腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，其特征在于，所述隔振结构包括：隔板(10)，其一侧与所述驱动装置(30)固定连接，另一侧通过一柔性连接件(101)与所述设备主体(40)连接；减振单元(20)，其与所述隔板(10)固定连接，用于减弱所述隔板(10)受所述驱动装置(30)带来的振动。2.根据权利要求1所述的隔振结构，其特征在于，所述设备主体(40)包括腔体(401)及工作体(402)，所述腔体(401)外侧与所述隔板(10)通过该柔性连接件(101)连接，所述工作体(402)悬空设于所述腔体(401)中，以使该工作体(402)工作振动时不与所述腔体(401)发生碰撞，所述隔板(10)及腔体(401)设有相对应的通孔，以使所述工作体(402)的转轴穿过所述通孔与所述驱动装置(30)连接。3.根据权利要求2所述的隔振结构，其特征在于，所述隔板下方设置有限位销(102)，所述限位销(102)一端设置于所述腔体(401)上相对应的槽孔内，其用于限制所述工作体(402)工作振动时的振动幅度，以使其不与所述腔体(401)发生碰撞。4.根据权利要求3所述的隔振结构，其特征在于，所述限位销(102)与其对应的所述腔体(401)的槽孔周边间隙小于所述工作体(402)与所述腔体(401)的间距。5.根据权利要求2所述的隔振结构，其特征在于，所述隔板上还设置一常闭气缸，所述腔体(401)上设置有与所述常闭气缸的推杆对应的卡槽，所述常闭气缸用于所述工作体(402)达到预设工作状态前将该推杆推至对应的卡槽内，以使所述隔板(10)与所述腔体(401)固定，在所述工作体(402)的工作状态达到预设工作状态后将该推杆缩回以使所述隔板(10)与所述腔体(401)之间脱离接触。6.根据权利要求5所述的隔振结构，其特征在于，所述工作体(402)的工作状态达到预设工作状态前为所述工...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，刘广义，徐向宇，江锐，丁金滨，冯泽斌，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：