本发明专利技术提供一种张网装置及张网方法，所述张网装置包括导轨单元和夹持单元。所述导轨单元包括两个导轨，两个所述导轨沿第一方向设置且并列排布于所述目标框架的相对两侧。所述夹持单元包括两对以上夹持件，每对所述夹持件对称设置于两个所述导轨上，用于夹持沿第二方向设置的所述掩模条的两端。其中，每对所述夹持件被配置为在两个所述导轨上沿第一方向同步移动，以将所述掩模条运输至所述目标框架上的待固定区域，且每对所述夹持件分别在两个所述导轨上沿第二方向移动，以移动和\或拉伸所述掩模条。因此，本发明专利技术通过设置两对以上的夹持件，以实现在张网焊接过程中同时对两个以上的掩模条进行固定，大大提高张网焊接的效率，降低产品的时间成本。低产品的时间成本。低产品的时间成本。
【技术实现步骤摘要】
张网装置及张网方法
[0001]本专利技术涉及集成电路制造
，特别涉及一种张网装置及张网方法。
技术介绍
[0002]张网设备是OLED(有机发光二极管又称有机电致发光显示，Organic Light
‑
Emitting Diode)有机材料蒸镀产线的关键设备。它负责将高精度的金属掩模片固定在框架上，使得金属掩模片在后续的工作过程中保持图像位置正确、不变形、不扭曲。其中，常用的金属掩模片是由薄金属板制成，可分为两大类：分条金属掩模片和整张金属掩模片。分条金属掩模片是将一张金属掩模片分割成多个金属掩模条，按照一定的顺序分别焊接在框架上；而整张金属掩模片为将这个金属掩模片一次性张网焊接，相比于分条金属掩模片，整张金属掩模片的精度要差很多，只适用于对张网精度要求比较低的工艺。
[0003]在现有的工艺中，因张网设备只具有一个夹爪系统，所以在张网焊接过程中，需要逐一焊接，夹爪系统也是串行工作，工作周期非常长，完成一整张金属掩模片的张网焊接约需要21小时～2.5天的时间，效率极低，严重制约着OLED生产效率。
[0004]因此，需要一种新的张网装置以及方法，以解决张网焊接过程中效率低下的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种张网装置及张网方法，以解决张网焊接过程中效率低下的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种张网装置，用于将掩模条固定于目标框架上，所述张网装置包括：导轨单元和夹持单元；
[0007]所述导轨单元包括两个导轨，两个所述导轨沿第一方向设置且并列排布于所述目标框架的相对两侧；
[0008]所述夹持单元包括两对以上夹持件，每对所述夹持件对称设置于两个所述导轨上，用于夹持沿第二方向设置的所述掩模条的两端，且所述第二方向垂直于所述第一方向；
[0009]其中，每对所述夹持件被配置为，在两个所述导轨上沿第一方向同步移动，以将所述掩模条运输至所述目标框架上的待固定区域；以及，在两个所述导轨上沿第二方向移动，以移动和\或拉伸所述掩模条。
[0010]可选的，在所述的张网装置中，所述张网装置还包括龙门架结构；所述龙门架结构包括第一支架、第二支架和第三支架；其中，
[0011]所述第一支架沿第二方向设置，所述第二支架和所述第三支架沿第一方向设置且分别排布于两个所述导轨远离所述目标框架的一侧；
[0012]所述第一支架沿第一方向可移动地设置于所第二支架和所述第三支架上。
[0013]可选的，在所述的张网装置中，所述第一支架的数量大于或等于1个。
[0014]可选的，在所述的张网装置中，所述张网装置还包括焊接单元，用于将所述掩模条焊接至所述目标框架上；所述焊接单元可移动地设置于所述第一支架上。
[0015]可选的，在所述的张网装置中，所述焊接单元包括第一激光焊接头和第二激光焊接头；其中，所述第一激光焊接头和所述第二激光焊接头被配置为，在所述第一支架上沿第二方向移动，以分别对应所述掩模条的两端，将所述掩模条焊接至所述目标框架上。
[0016]可选的，在所述的张网装置中，所述张网装置还包括检测单元，所述检测单元可移动地设置于所述第一支架上，所述检测单元用于检测所述目标框架的位置、所述掩模条的位置以及所述掩模条焊接于所述目标框架上的焊接位置。
[0017]可选的，在所述的张网装置中，所述检测单元包括第一测量件和第二测量件；其中，所述第一测量件和所述第二测量件均包括第一镜组、第二镜组和第三镜组；
[0018]所述第一镜组用于检测所述目标框架的位置；
[0019]所述第二镜组用于检测所述掩模条的位置，以使所述掩模条对准所述夹持件的夹取位置；
[0020]所述第三镜组用于检测所述掩模条的位置，以使所述掩模条对准所述目标框架上的焊接位置。
[0021]可选的，在所述的张网装置中，所述张网装置还包括定位单元；所述定位单元包括第一激光干涉仪组、第二激光干涉仪组以及第三激光干涉仪组；其中，
[0022]所述第一激光干涉仪组用于检测所述第一支架的位置；
[0023]所述第二激光干涉仪组用于检测所述检测单元和所述焊接单元的位置；
[0024]所述第三激光干涉仪组用于检测所述夹持单元的位置。
[0025]可选的，在所述的张网装置中，所述张网装置还包括上版台和对准台；所述上版台和所述对准台沿第二方向设置且并列排布于所述导轨单元的一端；其中，所述上版台用于放置所述掩模条；所述对准台用于调整所述掩模条的位置，以使所述掩模条置于所述夹持件的夹取位置。
[0026]可选的，在所述的张网装置中，所述上版台和所述对准台间隔排布，且所述上版台和所述对准台之间的区域构成一避让区域，所述避让区域用于当各对所述夹持件夹取所述掩模条的作业时序冲突时，部分所述夹持件移动至所述避让区域，以使每对夹持件逐一夹取所述掩模条。
[0027]可选的，在所述的张网装置中，所述上版台和所述对准台的数量大于或等于1个。
[0028]基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种张网方法，包括：
[0029]步骤一：每对夹持件夹取掩模条，并分别沿导轨移动至对应的待固定区域；
[0030]步骤二：每对所述夹持件移动和\或拉伸所述夹取的所述掩模条，以对准所述待固定区域，并将所述掩模条放置于所述待固定区域上；
[0031]步骤三：将所述掩模条固定于所述待固定区域上。
[0032]可选的，在所述的张网方法中，在执行所述步骤二之前，检测所述掩模条相对于所述待固定区域的位置，以确定所述夹持件移动和\或拉伸所述掩模条的位移量和\或形变量。
[0033]可选的，在所述的张网方法中，所述张网方法还包括重复执行步骤一至步骤三，直至完成所有预设的所述掩模条的固定。
[0034]综上所述，本专利技术提供一种张网装置及张网方法，所述张网装置包括导轨单元和夹持单元。所述导轨单元包括两个导轨，两个所述导轨沿第一方向设置且并列排布于所述
目标框架的相对两侧。所述夹持单元包括两对以上夹持件，每对所述夹持件对称设置于两个所述导轨上，用于夹持沿第二方向设置的所述掩模条的两端。其中，每对所述夹持件被配置为在两个所述导轨上沿第一方向同步移动，以将所述掩模条运输至所述目标框架上的待固定区域，且每对所述夹持件分别在两个所述导轨上沿第二方向移动，以移动和\或拉伸所述掩模条。因此，本专利技术通过设置两对以上的夹持件，以实现在张网焊接过程中能够同时对两个及以上的掩模条进行固定，从而大大提高了张网焊接的效率，降低了产品的时间成本。
附图说明
[0035]图1是本专利技术实施例中的一种张网装置的结构示意图；
[0036]图2是本专利技术实施例中的金属掩模条示意图；
[0037]图3是本专利技术实施例中的一种张网装置的结构示意图；
[0038]其中，附图标记说明如下：
[0039]10
‑
目标框架；20
‑
掩模条；...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种张网装置，用于将掩模条固定于目标框架上，其特征在于，所述张网装置包括：导轨单元和夹持单元；所述导轨单元包括两个导轨，两个所述导轨沿第一方向设置且并列排布于所述目标框架的相对两侧；所述夹持单元包括两对以上夹持件，每对所述夹持件对称设置于两个所述导轨上，用于夹持沿第二方向设置的所述掩模条的两端，且所述第二方向垂直于所述第一方向；其中，每对所述夹持件被配置为，在两个所述导轨上沿第一方向同步移动，以将所述掩模条运输至所述目标框架上的待固定区域；以及，在两个所述导轨上沿第二方向移动，以移动和\或拉伸所述掩模条。2.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括龙门架结构；所述龙门架结构包括第一支架、第二支架和第三支架；其中，所述第一支架沿第二方向设置，所述第二支架和所述第三支架沿第一方向设置且分别排布于两个所述导轨远离所述目标框架的一侧；所述第一支架沿第一方向可移动地设置于所第二支架和所述第三支架上。3.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述第一支架的数量大于或等于1个。4.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括焊接单元，用于将所述掩模条焊接至所述目标框架上；所述焊接单元可移动地设置于所述第一支架上。5.根据权利要求4所述的张网装置，其特征在于，所述焊接单元包括第一激光焊接头和第二激光焊接头；其中，所述第一激光焊接头和所述第二激光焊接头被配置为，在所述第一支架上沿第二方向移动，以分别对应所述掩模条的两端，将所述掩模条焊接至所述目标框架上。6.根据权利要求4所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括检测单元，所述检测单元可移动地设置于所述第一支架上，所述检测单元用于检测所述目标框架的位置、所述掩模条的位置以及所述掩模条焊接于所述目标框架上的焊接位置。7.根据权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述检测单元包括第一测量件和第二测量件；其中，所述第一测量件和所述第二测量件均包括第一镜组、第二镜组和第三镜组；所述第一镜组用于检测所述目标框架的位置；所述第二镜组用于检测所述掩...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓伟，黄元昊，宋涛，袁剑峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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