【技术实现步骤摘要】
一种显微镜样品台
[0001]本专利技术涉及显微镜
，特别涉及一种显微镜样品台。
技术介绍
[0002]电子显微技术是利用电子光学系统进行显微成像与原位分析的技术。电子显微镜的特点在于：在极高的放大倍率下，可以直接观察样品的形貌结构和样品成分；具有很高的分辨率，可直接分辨原子，进行纳米尺度的晶体结构及成分分析；发展方向趋向多功能、综合性。
[0003]电子显微镜样品台是电子显微镜系统中用于承载待测样品的装置。现有技术的电子显微镜样品台大多是通过使用较大的XY轴移动行程实现一次对多个样品进行观测，导致电子显微镜体积较大，尤其样品室体积较大。同时，现有技术的样品台承载的样品数量依然有限，当观测样品数量较多时，需要人工频繁更换样品，并在每次更换样品之后重新进行设备抽真空、重新调试样品观测位置及焦距等操作；另外现有技术在更换样品过程中，仍需人工进行锁定并确认样品安装是否稳固，防止观测过程中样品托脱落，缺少可以将样品托自动锁定、解锁及夹紧的装置，导致影响观测效果、效率低下、浪费时间和人力。
技术实现思路
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显微镜的样品台，其特征在于，包括：底座；设置于底座上的三维运动机构，所述三维运动机构能够沿着第一方向、第二方向、以及第三方向运动；设置在三维运动机构上的并能绕与所述第三方向平行的轴旋转的支撑结构；设置于所述支撑结构上的样品托放置部；所述支撑结构包括锁定机构，通过所述锁定机构以固定样品托。2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述支撑结构包括：设置于所述三维运动机构上并能绕与所述第三方向平行的轴旋转的第四支撑结构。3.根据权利要求1
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2任一项权利要求所述的样品台，其特征在于：所述锁定机构包括至少两个爪头和分别与所述爪头连接的复位部件。4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于：所述支撑结构包括第五驱动机构，所述第五驱动机构用于驱动锁定结构的锁定或解锁。5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于：所述第五驱动机构包括传动部件、转向部件、动力部件，所述传动部件的一端在锁定状态下与所述爪头接触并驱动所述爪头沿所述支撑结构的截面中心向外移动，在解锁状态下脱离爪头，传动部件的另一端与转向部件连接，转向部件一端与传动部件连接，另一端连接动力部件。6.根据权利要求1
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5任一项权利要求所述的样品台，其特征在于，所述三维运动机构包括第一运...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹峰，栗宽，卢诗毅，李希全，孙思嘉，姚一帆，卢志钢，张齐容，刘纪凯，孙飞，
申请(专利权)人：中国科学院生物物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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