用于超净间的智能功率模块生产线制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于超净间的智能功率模块生产线，包括前道工序设备组和后道工序设备组，前道工序设备组包括堆叠布置的多台第一设备，堆叠在最上层的第一设备距地面的高度小于后道工序设备组中的设备距地面的最大高度。本实用新型专利技术技术方案，减小了超净间的室内空间体积，降低了维持超净间室内温湿度控制和尘埃颗粒控制所需的电能消耗，降低了电力成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
用于超净间的智能功率模块生产线


[0001]本技术涉及功率半导体制造领域，特别涉及一种用于超净间的智能功率模块生产线。

技术介绍

[0002]智能功率模块(Intelligent Power Module，IPM)是一种将电力电子和集成电路技术结合的功率驱动类半导体产品，兼有GTR(大功率晶体管)高电流、低饱和电压和高耐压的优点，以及MOSFET(场效应晶体管)高输入阻抗、高开关频率和低驱动功率的优点。而且IPM内部集成了逻辑、控制、检测和保护电路，使用起来方便，不仅减少了系统的体积，缩短了开发时间，也增强了系统的可靠性，适应了当今功率器件的发展方向。
[0003]IPM的生产车间是超净间，超净间按从低到高的洁净等级依次可分为：十万级超净间、万级超净间、千级超净间、百级超净间、十级超净间、一级超净间。IPM的生产车间的空间及高度受限于产线的设计方案，各个工序设备的摆放方式和工序设备的尺寸决定了所需生产车间的内部空间大小与高度。
[0004]现有的IPM生产线方案是采用全自动化作业模式，共有前道工序和后道工序。前道的工序一般可分为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超净间的智能功率模块生产线，包括前道工序设备组和后道工序设备组，其特征在于，所述前道工序设备组包括堆叠布置的多台第一设备，堆叠在最上层的所述第一设备距地面的高度小于所述后道工序设备组中的设备距地面的最大高度。2.根据权利要求1所述的用于超净间的智能功率模块生产线，其特征在于，相邻的两所述第一设备之间通过升降输送轨道相接。3.根据权利要求1所述的用于超净间的智能功率模块生产线，其特征在于，所述多台第一设备均为粘晶设备，各台所述粘晶设备分别用于粘贴对应的元件。4.根据权利要求3所述的用于超净间的智能功率模块生产线，其特征在于，所述第一设备的数量为3台，分别为IGBT芯片粘贴设备、FRD芯片粘贴设备和HVIC芯片粘贴设备，所述IGBT芯片粘贴设备、FRD芯片粘贴设备和HVIC芯片粘贴设备由下至上按顺序依次堆叠布置。5.根据权利要求1所述的用于超净间的智能功率模块生产线，其特征在于，还包括第一安装框架，所述第一安装框架具有与所述第一设备一一对应的多层第一装放空间，各个所述第一设备分别安装在对应的所述第一装放...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯宇翔，张土明，左安超，谢荣才，
申请(专利权)人：广东汇智精密制造有限公司，
类型：新型
国别省市：