一种MEMS加速度计的自检电路制造技术

本发明专利技术提供了一种MEMS加速度计的自检电路，包括电流检测模块、比较器模块、逻辑门模块和参考电压模块；所述电流检测模块串联在MEMS加速度计的电源供电电路中；所述比较器模块包括高电平阈值比较电路、低电平阈值比较电路和电流阈值比较电路，所述高电平阈值比较电路和所述低电平阈值比较电路分别串接在所述MEMS加速度计与所述逻辑门模块之间，所述电流阈值比较电路串接在所述电流检测模块与所述逻辑门模块之间；所述参考电压模块分别连接所述高电平阈值比较电路、所述低电平阈值比较电路和所述电流阈值比较电路。本发明专利技术电路组成简单，采集电压和电流两种信号进行判断，无需在内部安装振动激励源，也不影响加速度传感器正常工作信号的实时传输。作信号的实时传输。作信号的实时传输。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS加速度计的自检电路


[0001]本专利技术涉及加速度计检测
，具体是一种MEMS加速度计的自检电路。

技术介绍

[0002]加速度计，也叫加速度传感器，是一种利用加速度敏感芯体将加速度信号转换成相应比例的电压信号输出的一种力学传感器，在轨道转向架、飞机驾驶舱或其他内燃动力机械中，都需要加速度传感器来测量振动状况。为判断加速度敏感芯体是否正常，需要对加速度芯体进行自检。目前实现加速度传感器自检的方法主要是通过在传感器内部安装激励装置如电动马达或利用压电陶瓷的正压电效应产生振动，使得加速度敏感芯体产生振动信号，继而通过采集振动信号并做相应的信号分析来实现自检。
[0003]目前这种加速度传感器自检的方法主要缺陷在于：
[0004]1、内部安装振动激励源，使得组装变得复杂，且振动激励源需占据一定空间，无形中增大了体积。
[0005]2、因需要对振动信号进行分析，实现自检功能的电路将变得更为复杂。
[0006]3、在实现自检时间里，导致加速度传感器间断工作，影响加速度传感器正常工作信号的实时传输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS加速度计的自检电路，其特征在于：包括电流检测模块、比较器模块、逻辑门模块和参考电压模块；所述电流检测模块串联在MEMS加速度计的电源供电电路中；所述比较器模块包括高电平阈值比较电路、低电平阈值比较电路和电流阈值比较电路，所述高电平阈值比较电路和所述低电平阈值比较电路分别串接在所述MEMS加速度计与所述逻辑门模块之间，所述电流阈值比较电路串接在所述电流检测模块与所述逻辑门模块之间；所述参考电压模块分别连接所述高电平阈值比较电路、所述低电平阈值比较电路和所述电流阈值比较电路。2.如权利要求1所述的一种MEMS加速度计的自检电路，其特征在于：所述MEMS加速度计包括加速度敏感芯体U1，加速度敏感芯体U1具有电源输入端VDD、电压信号输出端OUT和接地端GND；所述电流检测模块进一步包括监控芯片U2和采样电阻R1，所述监控芯片U2为电压输出电流并联监控芯片，包括输入端IN+、输入端IN
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和输出端OUT，所述采样电阻R1串接在所述电源供电电路和所述加速度敏感芯体U1的电源输入端VDD之间，输入端IN+连接在所述电源供电电路和采样电阻R1之间，输入端IN
‑
则连接在采样电阻R1和所述加速度敏感芯体U1的电源输入端VDD之间；所述电源供电电路提供的电源经过监控芯片U2后给所述加速度敏感芯体U1供电，电流经过采样电阻R1产生压降，由监控芯片U2将该压降转换成对应比例的电压输出。3.如权利要求2所述的一种MEMS加速度计的自检电路，其特征在于：所述参考电压模块包括电源端VCC、接地端GND，低电平参考信号输出端，高电平参考信号输出端和转换电压参考信号输出端，还包括电阻R2、R3、R4、R5、R6和R7；R2和R5，R3和R6，R4和R7均串接在电源...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈昌鹏，周明杰，周富强，翁新全，许静玲，柯银鸿，刘瑞林，
申请(专利权)人：厦门乃尔电子有限公司，
类型：发明
国别省市：