基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：液体供应单元，其用于向基板上供应发光源和/或处理液；和电压施加单元，其用于向被供应所述发光源的基板施加电压。供应所述发光源的基板施加电压。供应所述发光源的基板施加电压。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年12月23日提交韩国专利局的韩国专利申请号10
‑
2020
‑
0182612的优先权和权益，该专利申请的全部内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种用于处理基板的装置。

技术介绍

[0004]近来，显示器市场从CRT发展到LCD和OLED等各种技术，不断扩展成长。中小型显示器市场由OLED主导。较之LCD，OLED的结构简单，成本低，能够实现柔韧性，从而发展成智能手机的主要显示器。与此相反，大型显示器市场仍然由LCD来主导。因为与中小型不同，大型OLED的制造成本高，CAPEX负担大。
[0005]近来，在大型显示器市场，出现旨在替代OLED的下一代技术。用于取代OLED的下一代技术例如有QD
‑
OLED和QNED。尤其是，QNED具有将作为微大小LED的纳米杆(纳米棒，Nanorod)作为光源的结构。OLED因为是由有机物发光的结构，存在寿命短，老化的问题，但QNED是由作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其包括：液体供应单元，其用于向基板上供应包含发光源的处理液；和电压施加单元，其用于向被供应所述发光源的所述基板施加电压；其中，所述电压施加单元包括：电压施加部件，其设置为与被供应所述发光源的所述基板的电极电接触，与电源连接以向被供应所述发光源的所述电极施加电压；电压释放部件，其设置为与被供应所述发光源的所述基板的电极电接触，释放供应至被供应所述发光源的所述基板的所述电极的电压。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：所述电压施加部件和所述电压释放部件包括与所述基板接触以向所述基板施加电压的至少一个导电销。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于：所述电压施加部件和所述电压释放部件还包括缓冲部件，所述缓冲部件用于在所述导电销接触所述基板时，缓冲施加于所述基板的压力。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于：所述电压施加部件还包括与电源连接的导电板；所述导电板、所述缓冲部件和所述导电销相互电连接。5.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于：所述电压施加部件和所述电压释放部件还包括：外壳，其形成有供所述导电销插入的槽；和移动部件，其用于移动插入所述外壳的所述导电销。6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：所述移动部件沿上下方向移动所述外壳。7.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：所述移动部件沿侧面方向移动所述外壳。8.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：所述移动部件以与所述基板的移动方向平行的旋转轴为中心旋转所述外壳。9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板处理装置，其特征在于：所述装置还包括：工作台单元，其用于向所述基板的下面喷射气体以使所述基板浮起；和夹持单元，其用于夹持浮起的基板，以在所述工作台单元上移动所述基板；所述电压施加单元安装于所述夹持单元并与所述夹持单元一起移动。10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于：所述夹持单元还包括通过真空吸附方式夹持所述浮起的基板的夹具。11.根据权利要求1至8中任一项所述的基板处理装置，其特征在于：所述装置还包括工作台单元，所述工作台单元具备安设所述基板并能与安设的基板一起移动的安设板；所述电压施加单元安装于所述工作台单元并与所述安设板一起移动。12.一种基板处理装置，其包括：液体供应单元，其用于向基板上供应包含具备纳米单元大小的杆状的发光源的处理
液；和电压施加单元，其用于在所述基板上产生电场，以对齐供应至包含电极的基板上的所述发光源；其中，所述电压施加单元包括：电压施加部件，其设置为与被供应所述发光源的基板的电极电接触，与电源连接以向被供应所述发光源的所述电极施加电压；电压释放部件，其设置为与被供应所述发光源...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘载贤，张硕元，李栽，尹奎相，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：