一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用，该装置由坩埚和加热组件组成，坩埚由坩埚体和坩埚盖组成，坩埚体和坩埚盖之间形成坩埚空腔；所述的加热组件位于坩埚空腔内，由加热体和支撑板组成，加热体固定在支撑板上，支撑板与坩埚体下底面接触，使热量传输至加热体上。本发明专利技术所述的装置能够大幅度的提高坩埚装置中心的温度，无须额外的加热设备即可对坩埚体中的中心区域的氮化铝多晶料进行加热，使得坩埚装置内的氮化铝多晶料受热更加均匀，有效的提高物质传输效率，提高氮化铝多晶料的利用率，有利于大尺寸的氮化铝晶体的生长。体的生长。体的生长。

【技术实现步骤摘要】
一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用


[0001]本专利技术涉及一种坩埚菌及晶体制备
，具体涉及一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用。

技术介绍

[0002]氮化铝晶体是一种物理化学性质优异的第三代半导体材料，它具有高熔点、高击穿强度、极好的压电特性，高导热性，极其稳定等优异的物理化学性能，被认为是制备高频/高压器件、高电子迁移率晶体管（HEMT）、深紫外光器件（Deep
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UV）、声表面波器件（SAW）和紫外线杀菌器件（UVC）的最佳材料之一。物理气相传输法已经被证明是最适合制备大尺寸的氮化铝晶体的方法，其原理是，将氮化铝多晶料放置在坩埚装置内，使用中频感应加热的方式，对其进行加热，在高温下，氮化铝多晶料不停的升华，最后到达处于低温位置的氮化铝籽晶处，完成生长过程。
[0003]中频感应加热炉是一种通过中频电流，在感应圈中产生高密度的磁力线，并切割感应圈里盛放的坩埚装置，在坩埚装置中产生很大的涡流，涡流产生焦耳热使得坩埚装置温度升高，通过多种传热方式，将热量传递到坩埚装置内部，从而加热氮化铝多晶料，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于提高物质传输效率的坩埚装置，其特征在于，由坩埚和加热组件组成，坩埚由坩埚体和坩埚盖组成，坩埚体和坩埚盖之间形成坩埚空腔；所述的加热组件位于坩埚空腔内，由加热体和支撑板组成，加热体固定在支撑板上，支撑板与坩埚体下底面接触，使热量传输至加热体上。2.根据权利要求1所述的用于提高物质传输效率的坩埚装置，其特征在于，所述的支撑板和加热体可拆卸。3.根据权利要求1所述的用于提高物质传输效率的坩埚装置，其特征在于，所述的坩埚体为带底的中空圆柱，支撑板的直径与坩埚体底面内表面的直径相等；所述的加热体为固定在支撑板向上凸起的直立结构。4.根据权利要求3所述的用于提高物质传输效率的坩埚装置，其特征在于，所述的加热体数量为5~20个，由加热主体和向下的加热主体凸起组成，且加热体间互不接触。5.根据权利要求3所述的用于提高物质传输效率的坩埚装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝霄鹏，要笑刚，邵永亮，吴拥中，
申请(专利权)人：齐鲁工业大学，
类型：发明
国别省市：