具有同时图像/视频及事件驱动型感测能力的光学传感器制造技术

技术编号:33880226 阅读:20 留言:0更新日期:2022-06-22 17:10
本申请案涉及一种具有同时图像/视频及事件驱动型感测能力的光学传感器。光学传感器包含像素单元的像素阵列。每一像素单元包含:光电二极管,其用以响应于入射光而光生电荷;及源极跟随器,其用以响应于从所述光电二极管光生的所述电荷而产生图像数据信号。图像读出电路耦合到所述像素单元以读出从所述像素阵列的一行的所述像素单元中的至少一者的源极跟随器产生的所述图像数据信号。事件驱动型电路耦合到所述像素单元以读出响应于来自所述像素阵列的所述像素单元的另一行的所述光电二极管的所述电荷而产生的所述事件数据信号。所述图像读出电路经耦合以读出所述图像数据信号,且所述事件驱动型电路经耦合以从像素阵列同时读出所述事件数据信号。同时读出所述事件数据信号。同时读出所述事件数据信号。

【技术实现步骤摘要】
具有同时图像/视频及事件驱动型感测能力的光学传感器


[0001]本专利技术大体来说涉及图像传感器,且特定来说但非排他地,涉及包含事件感测电路系统的图像传感器。

技术介绍

[0002]图像传感器已变得无处不在且现在广泛用于数码相机、蜂窝式电话、安全相机以及医学、汽车及其它应用中。随着将图像传感器集成到较宽广范围的电子装置中,期望通过装置架构设计以及图像获取处理两者以尽可能多的方式(例如,分辨率、电力消耗、动态范围等)增强所述图像传感器的功能性、性能度量等等。
[0003]典型的图像传感器响应于来自外部场景的图像光入射于图像传感器上而进行操作。图像传感器包含具有光敏元件(例如,光电二极管)的像素阵列,所述光敏元件吸收入射图像光的一部分且在吸收图像光后即刻产生图像电荷。可将由像素光生的图像电荷作为列位线上随着入射图像光而变化的模拟输出图像信号来进行测量。换句话说,所产生的图像电荷的量与图像光的强度成比例,所述图像电荷作为模拟图像信号从列位线被读出且被转换成数字值以提供代表外部场景的信息。

技术实现思路

[0004]在一个方面中,本申请案提供一种光学传感器,其包括:多个像素单元,其被布置成像素阵列的若干行及若干列,其中所述像素单元中的每一者包括:多个光电二极管,其经配置以响应于入射光而光生电荷;及源极跟随器晶体管,其经配置以响应于从所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生图像数据信号;图像读出电路,其耦合到所述多个像素单元以读出从所述像素阵列的第一行的所述多个像素单元中的至少第一像素单元的所述源极跟随器晶体管产生的所述图像数据信号;及事件驱动型电路,其耦合到所述多个像素单元以读出响应于从所述像素阵列的所述多个像素单元的第二行的所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生的事件数据信号,其中所述图像读出电路经耦合以读出所述图像数据信号,且所述事件驱动型电路经耦合以从像素阵列同时读出所述事件数据信号。
[0005]在另一方面中,本申请案进一步提供一种堆叠式互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器(CIS)系统,其包括:第一裸片,其包含像素阵列,所述像素阵列包含被布置成若干行及若干列的多个像素单元,其中所述像素单元中的每一者包括:多个光电二极管,其经配置以响应于入射光而光生电荷;及源极跟随器晶体管,其经配置以响应于从所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生图像数据信号;第二裸片,其与所述第一裸片一起堆叠,其中所述第二裸片包括事件驱动型电路,所述事件驱动型电路耦合到所述多个像素单元以读出响应于从所述像素阵列的所述多个像素单元的第二行的所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生的所述事件数据信号;及第三裸片,其与所述第一裸片及所述第二裸片一起堆叠,其中所述第二裸片安置在所述第一裸片与所述第三裸片之间,其中所述第三裸片包括图像读出电路,所述图像读出电路耦合到所述多个像素单元以读出从所述像素阵列的第一
行的所述多个像素单元中的至少第一像素单元的所述源极跟随器晶体管产生的所述图像数据信号,其中所述图像读出电路经耦合以读出所述图像数据信号,且所述事件驱动型电路经耦合以从像素阵列同时读出所述事件数据信号。
附图说明
[0006]参考以下各图描述本专利技术的非限制性及非穷尽性实施例,其中除非另有规定,否则贯穿各个视图,相似参考编号指代相似部件。
[0007]图1图解说明根据本专利技术的教示内容的堆叠式互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器(CIS)系统的一个实例。
[0008]图2A图解说明根据本专利技术的教示内容的具有红(R)色滤光片、绿(G)色滤光片及蓝(B)色滤光片的4C(2x2)贝尔彩色滤光片型式的实例的像素阵列的一个实例。
[0009]图2B图解说明根据本专利技术的教示内容利用4C(2x2)光电二极管合并(binning)读出像素阵列的一个实例。
[0010]图2C图解说明根据本专利技术的教示内容利用4C(2x2)光电二极管分组的2x快速垂直合并及2x数字水平合并读出像素阵列的一个实例。
[0011]图2D图解说明根据本专利技术的教示内容利用与为进行事件驱动型感测而读出的像素阵列多个行包含在相同列中的4C(2x2)光电二极管分组的2x数字水平合并对像素阵列进行同时读出的一个实例。
[0012]图3图解说明根据本专利技术的教示内容的堆叠式CIS系统的一个实例性示意图,所述堆叠式CIS系统具有像素阵列,可利用图像读出电路及事件驱动型电路读出所述像素阵列以同时捕获图像/视频及检测事件。
[0013]图4图解说明根据本专利技术的教示内容的堆叠式CIS系统的另一实例性示意图,所述堆叠式CIS系统具有像素阵列,可利用图像读出电路及事件驱动型电路读出所述像素阵列以同时捕获图像/视频及检测事件。
[0014]图5图解说明根据本专利技术的教示内容的堆叠式CIS系统的又一实例性示意图,所述堆叠式CIS系统具有像素阵列,可利用图像读出电路及事件驱动型电路读出所述像素阵列以同时捕获图像/视频及检测事件。
[0015]贯穿图式的数个视图,对应参考字符指示对应组件。所属领域的技术人员将了解,图中的元件是为简单及清晰起见而图解说明的,且未必按比例绘制。举例来说,为帮助改进对本专利技术的各种实施例的理解,各图中的元件中的一些元件的尺寸可相对于其它元件而被放大。另外,通常未描绘在商业上可行的实施例中有用或必需的常见而众所周知的元件以便促进对本专利技术的这些各种实施例的较不受阻挡的查看。
具体实施方式
[0016]本文中描述针对于具有同时图像/视频捕获及事件驱动型感测能力的混合光学传感器的各种实例。在以下描述中,陈述众多特定细节以便提供对实例的透彻理解。然而,相关领域的技术人员将认识到,本文中所描述的技术可在不具有特定细节中的一或多者的情况下实践或者可利用其它方法、组件、材料等来实践。在其它实例中,未详细展示或描述众所周知的结构、材料或操作以避免使特定方面模糊。
[0017]贯穿本说明书对“一个实例”或“一个实施例”的提及意指结合所述实例所描述的特定特征、结构或特性包含于本专利技术的至少一个实例中。因此,在本说明书通篇的各个位置中短语“在一个实例中”或“在一个实施例中”的出现未必全部指代同一实例。此外,在一或多个实例中可以任何适合方式组合所述特定特征、结构或特性。
[0018]为易于描述,本文中可使用例如“在

之下”、“在

下面”、“在

上方”、“在

下方”、“在

上面”、“上部”、“顶部”、“底部”、“左侧”、“右侧”、“中心”、“中间”等空间相对性术语,以描述如图中所图解说明一个元件或特征相对于另一(些)元件或特征的关系。将理解,除了图中所描绘的定向外,所述空间相对性术语还打算涵盖装置在使用或操作时的不同定向。举例来说,如果旋转或翻转各图中的装置,那么描述为在其它元件或特征“下面”或“之下”或“下方”的元件将被定向为在其它元件或特征“上面”。因此,示例性术语“在

下面”及“在
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学传感器,其包括:多个像素单元,其被布置成像素阵列的若干行及若干列,其中所述像素单元中的每一者包括:多个光电二极管,其经配置以响应于入射光而光生电荷;及源极跟随器晶体管,其经配置以响应于从所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生图像数据信号;图像读出电路,其耦合到所述多个像素单元以读出从所述像素阵列的第一行的所述多个像素单元中的至少第一像素单元的所述源极跟随器晶体管产生的所述图像数据信号;及事件驱动型电路,其耦合到所述多个像素单元以读出响应于从所述像素阵列的所述多个像素单元的第二行的所述多个光电二极管光生的所述电荷而产生的事件数据信号,其中所述图像读出电路经耦合以读出所述图像数据信号,且所述事件驱动型电路经耦合以从像素阵列同时读出所述事件数据信号。2.根据权利要求1所述的光学传感器,其中所述像素阵列的所述列包含第一像素单元列,其中所述第一像素单元列包含所述像素阵列的由所述图像读出电路从中读出所述图像数据信号的所述第一行的所述多个像素单元中的所述至少所述第一像素单元,且其中所述第一像素单元列进一步包含所述像素阵列的由所述事件驱动型电路从中同时读出所述事件数据信号的所述第二行的所述多个像素单元中的一者。3.根据权利要求2所述的光学传感器,其中所述像素阵列的由所述事件驱动型电路从中同时读出所述事件数据信号的所述第二行是所述像素阵列的由所述事件驱动型电路从中同时读出所述事件数据信号的多个行中的一者。4.根据权利要求3所述的光学传感器,其中所述像素阵列的由所述事件驱动型电路经耦合以从中同时读出事件数据信号的所述多个行包含八个像素单元。5.根据权利要求1所述的光学传感器,其中所述像素阵列包含在第一裸片中,其中所述事件驱动型电路包含在第二裸片中,其中所述图像读出电路包含在第三裸片中,其中所述第一裸片、所述第二裸片及所述第三裸片被堆叠在一起以形成堆叠式互补金属氧化物半导体CMOS图像传感器CIS。6.根据权利要求1所述的光学传感器,其中所述像素单元中的每一者进一步包括:多个转移晶体管,其耦合到所述多个光电二极管;浮动扩散部,其耦合到所述多个转移晶体管,其中所述源极跟随器晶体管经配置以响应于通过所述多个转移晶体管从所述多个光电二极管转移到所述浮动扩散部的所述电荷而产生所述图像数据信号;复位晶体管,其耦合到所述浮动扩散部;及行选择晶体管,其耦合在所述源极跟随器晶体管与所述图像读出电路之间,其中所述读出电路经配置以通过所述行选择晶体管读出从所述源极跟随器晶体管产生的所述图像数据信号。7.根据权利要求6所述的光学传感器,其进一步包括耦合在所述复位晶体管与电压电源之间的模式选择开关,其中所述模式选择开关经配置以响应于模式选择信号而将所述复位晶体管耦合到所
述电压电源,且其中所述事件驱动型电路耦合到所述复位晶体管以通过所述复位晶体管读出所述事件数据信号。8.根据权利要求7所述的光学传感器,其中所述事件驱动型电路包括:转换器电路,其耦合到所述复位晶体管以将所述事件数据信号的光电流转换成电压;电压缓冲电路,其耦合到所述转换器电路以缓冲所述转换器电路的输出;及比较器与握手电路,其耦合到所述电压缓冲电路以响应于所述电压缓冲电路的输出而产生事件驱动型输出信号。9.根据权利要求8所述的光学传感器,其中所述转换器电路包括:第一晶体管,其源极耦合到所述复位晶体管且漏极耦合到所述电压电源;第二晶体管,其栅极耦合到所述第一晶体管的所述源极及所述复位晶体管且源极耦合到接地;及第三晶体管,其漏极耦合到所述第一晶体管的栅极及第一电流源且源极耦合到所述第二晶体管的漏极。10.根据权利要求9所述的光学传感器,其中所述电压缓冲电路包括第四晶体管,所述第四晶体管的栅极耦合到所述第三晶体管的所述漏极及所述第一晶体管的所述栅极且源极耦合到第二电流源。11.根据权利要求6所述的光学传感器,其中所述事件驱动型电路包括:电流放大器,其输入耦合到所述多个光电二极管中的每一者的阳极以从所述多个光电二极管接收所述事件数据信号的光电流;转换器电路,其耦合到所述电流放大器以将所述电流放大器的输出转换成电压;电压缓冲电路,其耦合到所述转换器电路以缓冲所述转换器电路的输出;及比较器与握手电路,其耦合到所述电压缓冲电路以响应于所述电压缓冲电路的输出而产生事件驱动型输出信号。12.根据权利要求11所述的光学传感器,其中所述转换器电路包括:第一晶体管,其源极耦合到所述电流放大器的所述输出且漏极耦合到电压电源;第二晶体管,其栅极耦合到所述第一晶体管的所述源极及所述电流放大器的所述输出且源极耦合到接地;及第三晶体管,其漏极耦合到所述第一晶体管的栅极及第一电流源且源极耦合到所述第二晶体管的漏极。13.根据权利要求12所述的光学传感器,其中所述电压缓冲电路包括第四晶体管,所述第四晶体管的栅极耦合到所述第三晶体管的所述漏极及所述第一晶体管的所述栅极且源极耦合到第二电流源。14.根据权利要求13所述的光学传感器,其中所述电流放大器包括:第五晶体管,其漏极耦合到所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极以从所述多个光电二极管接收所述事件数据信号的所述光电流且源极耦合到电压参考;第六晶体管,其栅极耦合到所述第五晶体管的栅极、源极耦合到所述电压参考且漏极耦合到所述电流放大器的所述输出;及第一运算放大器,其第一输入耦合到参考电压、第二输入耦合到所述第五晶体管的所
述漏极及所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极且输出耦合到所述第五晶体管的栅极及所述第六晶体管的所述栅极。15.根据权利要求6所述的光学传感器,其中所述事件驱动型电路包括:电流放大器,其输入耦合到所述多个光电二极管中的每一者的阳极以从所述多个光电二极管接收所述事件数据信号的光电流;积分器,其耦合到所述电流放大器以对所述电流放大器的输出进行积分;及比较器与握手电路,其耦合到所述积分器以响应于所述积分器的输出而产生事件驱动型输出信号。16.根据权利要求15所述的光学传感器,其中所述事件驱动型电路进一步包括模式选择开关,所述模式选择开关耦合到所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极、所述电流放大器的所述输入及接地,其中所述模式选择开关经配置以将所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极耦合到接地或所述电流放大器的所述输入中的一者。17.根据权利要求15所述的光学传感器,其中所述电流放大器包括:第五晶体管,其源极耦合到所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极以从所述多个光电二极管接收所述事件数据信号的所述光电流且漏极耦合到电压电源;第六晶体管,其栅极耦合到所述第五晶体管的栅极、漏极耦合到所述电压电源且源极耦合到第三电流源及所述电流放大器的所述输出;及第一运算放大器,其第一输入耦合到参考电压、第二输入耦合到所述第五晶体管的所述漏极及所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极且输出耦合到所述第五晶体管的所述栅极及所述第六晶体管的所述栅极。18.根据权利要求17所述的光学传感器,其中所述积分器包括:第二运算放大器,其输入电容性地耦合到所述电流放大器的所述输出;电容器,其耦合在所述第二运算放大器的所述输入与所述第二运算放大器的输出之间;及复位开关,其耦合在所述第二运算放大器的所述输入与所述第二运算放大器的所述输出之间。19.根据权利要求18所述的光学传感器,其中所述比较器与握手电路包括:第一阈值检测电路,其耦合到所述第二运算放大器以响应于所述第二运算放大器的所述输出而产生第一阈值检测输出信号;第二阈值检测电路,其耦合到所述第二运算放大器以响应于所述第二运算放大器的所述输出而产生第二阈值检测输出信号;及握手协议电路,其耦合到所述第一阈值检测电路及所述第二阈值检测电路以响应于所述第一阈值检测输出信号及所述第二阈值检测输出信号而控制所述复位开关的切换,其中所述事件驱动型输出信号包括所述第一阈值检测输出信号及所述第二阈值检测输出信号。20.根据权利要求6所述的光学传感器,其中所述多个光电二极管中的每一者的所述阳极安置在其中安置有所述像素单元的第一裸片的p掺杂区中。21.根据权利要求20所述的光学传感器,其中由所述事件驱动型电路从所述多个光电二极管读出的所述事件数据信号的光电流包括空穴电流。
22.根据权利要求6所述的光学传感器,其中所述像素单元利用其中安置有所述像素单元的第一裸片中环绕所述像素单元中的每一者的全深沟槽隔离DTI结构彼此隔离。23.根据权利要求6所述的光学传感器,其中所述复位晶体管、所述源极跟随器晶体管及行选择晶体管利用安置在其中安置有所述像素单元的第一裸片中的全深沟槽隔离DTI结构与所述多个光电二极管及所述多个转移晶体管隔离。24.根据权利要求23所述的光学传感器,其中所述复位晶体管、所述源极跟随器晶体管及行选择晶体管由鳍式场效晶体管FinFET构成。25.一种堆叠式互补金属氧化物半导体CMOS图像传感器CIS系统,其包括:第一裸片,其包...

【专利技术属性】
技术研发人员:高哲代铁军傅玲秦晴A
申请(专利权)人:豪威科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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