测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种测试装置及测试方法，包括置放晶圆于测试装置的工作平台上，再经由该测试装置的移动组件，将该测试装置的电路板相对该工作平台位移，以令该电路板的至少两个测试端口分别检测该晶圆的两个芯片，且该两测试端口具有不同的测试功能，故于晶圆检测过程中，仅以单一测试装置即可进行多项检测作业。仅以单一测试装置即可进行多项检测作业。仅以单一测试装置即可进行多项检测作业。

【技术实现步骤摘要】
测试装置及测试方法


[0001]本专利技术有关一种电性检测装置，尤指一种可用于探针卡的测试装置及测试方法。

技术介绍

[0002]目前晶圆于入料时需进行多种电性测试，以判定晶圆中的各芯片的品质等级。
[0003]然而，于目前的测试机台及对应的探针卡中，单一测试站仅能进行一种电性测试，若受测晶圆需进行多种电性测试时，就需架设多处测试站以完成晶圆的入料检验，故于现况中，多处测试站的检测作业需增加机台的购置费用，大幅增加该晶圆的制程成本及制程时间。
[0004]此外，每完成一个测试站，将获取一个记录数据，而经过多处测试站后，即可储存多份记录数据于数据库中，以供该晶圆的后续制程应用。
[0005]然而，该晶圆的后续制程若需应用该些记录数据时，需先进行该数据库的撷取动作及数据整合动作，故当累积多次撷取动作及数据整合动作后，也严重影响该晶圆的后续制程的时间，造成产能瓶颈。
[0006]因此，如何克服上述现有技术的种种问题，实已成目前亟欲解决的课题。

技术实现思路

[0007]为解决上述问题，本专利技术提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，包括：工作平台，其供置放多个目标物；一电路板，其具有多个测试端口，其中，该多个测试端口具有不同的测试功能；以及移动组件，其相对该工作平台位移该电路板，以令该多个测试端口检测该工作平台上不同的该目标物。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该测试装置还包括通讯连接该电路板的分析处理装置，以整合该多个测试端口对于单一该目标物的测试结果。3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，该分析处理装置将该多个测试端口对于单一该目标物的测试结果整合成该目标物的品质等级。4.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该多个测试端口的至少两者呈间隔并排配置或并排邻接配置。5.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该多个目标物为阵列排设，且该多个测试端口的至少两者对应不同排的该目标物而呈对角线方向配置。6.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该多个测试端口的至少两者的中心之间的轴向间隔距离为n个目标物的宽度，且n为正整数。7.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该多个目标物为阵列排设，以令该移动组件的移动路径基于该阵列的各排而呈类S形路径。8.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该多个目标物为阵列排设，以令移动组件的移动路径基于该阵列的各排而呈同向路径。9.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该移动组件基于该工作平台多轴向移动该电路板。10.一种测...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁文钦，萧博文，谢承财，陈承韶，
申请(专利权)人：矽品精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：