一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统技术方案

技术编号:33873896 阅读:39 留言:0更新日期:2022-06-18 11:15
本申请涉及偏振测量系统,尤其是涉及一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统,其技术方案要点是:偏振测量系统包括起偏臂、检偏臂和载物台,还包括支撑架、固定在支撑架上的转轴,以及两个角度调整机构,其中一个角度调整机构用于驱动起偏臂围绕转轴定轴转动,起偏臂与载物台之间的夹角范围大于等于0

【技术实现步骤摘要】
一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统


[0001]本申请涉及偏振测量系统,尤其是涉及一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统。

技术介绍

[0002]偏振测量技术是一种能够对样品进行表征的先进技术,其基本原理是将偏振光投射至样品,通过测量样品散射光、反射光或透射光的偏振态,以获得偏振光在经过散射、反射或透射后的强度和偏振属性等,进而从中提取样品的微观形态、物理性质和化学性质等信息。
[0003]相关技术中记载的一种偏振测量系统包括起偏臂、检偏臂,以及用于放置待检测样品的载物台,该测量系统仅能测量样品在某一特定角度下的散射光束偏振态,进而就只能检测样品在某一方向上的微光形态、物理性质和化学性质,而当需要对各向异性的样品在不同方向上的信息进行检测时,就涉及到对样品散射光、反射光以及透射光的偏振态测量研究,这就需要不断的调节起偏臂和检偏臂之间的夹角,以及起偏臂与载物台之间的夹角,相关技术中的偏振测量调节过程操作复杂繁琐,不利于样品的偏振测量。

技术实现思路

[0004]为了便于对样品的散射光、反射光或透射光进行偏振态测量,本申请提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统,包括起偏臂(1)、检偏臂(2)和载物台(3),其特征在于:还包括支撑架(4)、固定在支撑架(4)上的转轴(5),以及两个角度调整机构(6),其中一个角度调整机构(6)用于驱动起偏臂(1)围绕转轴(5)定轴转动,起偏臂(1)与载物台(3)之间的夹角范围大于等于0
°
且小于等于90
°
;另一角度调整机构(6)驱动检偏臂(2)围绕转轴(5)定轴转动,检偏臂(2)与载物台(3)之间的夹角范围大于等于0
°
且小于等于90
°
;当起偏臂(1)与载物台(3)之间的夹角、检偏臂(2)与载物台(3)之间的夹角均为0
°
时,起偏臂(1)与检偏臂(2)相互对射。2.根据权利要求1所述的一种大入射角度范围调整的偏振态测量系统,其特征在于:角度调整机构(6)包括与转轴(5)转动连接的转臂(61)、铰接于转臂(61)上的第一滑块(62)、与第一滑块(62)滑动连接的第一滑轨(63)、与第一滑轨(63)固定连接的第二滑块(64),以及与第二滑块(64)滑动连接的第二滑轨(65);第二滑轨(65)的两端分别向载物台(3)的正上方和载物台(3)的水平一侧延伸,第二滑轨(65)上设置有用于驱动第二滑块(64)沿第二滑轨(65)延伸方向往复移动的驱动组件(66)。3.根据权利要求2所述的一种大入射角度范围调整的偏振态测量...

【专利技术属性】
技术研发人员:孟永宏杨良朱宗洋
申请(专利权)人:北京量拓科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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