一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路制造技术

本发明专利技术涉及一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路，包括第一待测器件Q1、第一待测二极管D1、负载电感L、母线电源Vbus、测试脉冲发生器P2和数字存储示波器DSO；母线电源Vbus经串联的高速开关模块、负载电感L及第一待测器件Q1接地，负载电感L与第一待测二极管D1并联，第一待测二极管D1正极连接第一待测器件Q1集电极，第一待测器件Q1栅极和发射极与测试脉冲发生器P2连接，数字存储示波器DSO检测第一待测器件Q1的电压和电流；高速开关模块在测试脉冲发生器P2的测试双脉冲前后控制连通或微秒级关断母线电源Vbus供电。本发明专利技术在测试脉冲结束微秒时间内撤除母线高压供电，保证功率模块不过流烧毁。率模块不过流烧毁。率模块不过流烧毁。

【技术实现步骤摘要】
一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路


[0001]本专利技术涉及半导体测试
，特别与一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路有关。

技术介绍

[0002]功率半导体产品在测试阶段中，普遍采用双脉冲测试方法，实现对产品的动态电参数测试，诸如开关延时、反向恢复、安全工作区等等各种性能。
[0003]常用的动态测试配置包括测量仪器（主要是数字存储示波器、脉冲发生器、数字直流电源）、产品测试电路板，测试电路板上安装有产品引脚连接器、电源和DC电容接线柱、负载电感、脉冲信号输入端子、示波器测量端子、电流测量线圈等，通过手动触发或程序控制完成动态参数测试过程。
[0004]具体测试电路如图1所示，大容量充放电电容Cap作为高压测试电源，提供母线电压Vbus，在高压测试电源两端串联负载电感L和待测器件DUT，在负载电感L两端并联待测二极管D，待测器件DUT的栅极和发射极上连接脉冲发生器Pulse generator，数字存储示波器DSO输入端连接待测器件DUT的示波器测量端子、电流测量线圈，分别连接测量导通电压Vce 和导通电流本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路，其特征在于：包括第一待测器件Q1、第一待测二极管D1、负载电感L、母线电源Vbus、测试脉冲发生器P2和数字存储示波器DSO；母线电源Vbus通过串联的高速开关模块、负载电感L及第一待测器件Q1接地，负载电感L与第一待测二极管D1并联，第一待测二极管D1正极与第一待测器件Q1的集电极相连，第一待测器件Q1的栅极和发射极与测试脉冲发生器P2连接，数字存储示波器DSO检测第一待测器件Q1的电压和电流；高速开关模块在测试脉冲发生器P2的测试双脉冲产生之前控制连通母线电源Vbus供电，并在测试双脉冲完成后实现微秒级断开母线电源Vbus供电。2.如权利要求1所述的一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路，其特征在于：所述的高速开关模块包括离线开关单元，离线开关单元包括开关脉冲发生器P1、离线功率器件Q3、离线浮动电源、离线耦合器OC1和离线放大器A1；离线功率器件Q3的集电极连接母线电源Vbus，发射极连接负载电感L；离线耦合器的输入端连接直流电源Vdd和开关脉冲发生器P1，离线耦合器OC1的输出端连接离线浮动电源和离线功率器件Q3的发射极；同时离线浮动电源通过离线放大器A1连接至离线功率器件Q3的栅极。3.如权利要求2所述的一种用于功率器件动态测试的高速开关保护电路，其特征在于：所述的高速开关模块还包括旁路开关单元，旁路开关单元包括旁路功率器件Q4、旁路直流电源、旁路耦合器OC2、触发延迟控制器T和旁路放大器A2；旁路功率器件Q4的集电极连接至离线功率器件Q3的发射极，旁路功率器件Q4的发射极接地；旁路耦合器OC2的输入端连接直流电源Vdd和开关脉冲发生器P1，旁路耦合器OC2的输出端连接旁路直流电源和旁路功率器件Q4的发射极；同时旁路直流电源通过依次串连触发延迟控制器T和旁路放大器A2接至旁路功...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖洪志，易兑运，郑科科，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：