一种晶圆放置平台制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆领域，具体的说是一种晶圆放置平台，包括主体和滑动机构，所述滑动机构包括滑动板、滑槽、滑块、支撑柱、固定底座、固定螺栓和防滑垫，所述主体的内壁一侧活动连接有滑动板，所述滑动板的外壁表面一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部固定安装有滑块，所述主体的外壁下端固定安装有支撑柱，所述支撑柱的外壁下端固定安装有固定底座，所述固定底座的外壁上端贯穿固定螺栓；通过第一固定板、升降杆、升降套和第二固定板的设置，可以通过升降杆和升降套的设置对其第一固定板进行一个上下升降的作用，通过上下升降可以拉高第一固定板对其底下的第二固定板进行物品的摆放，可以节省空间，使其可使用面积变大，能摆放更多的物品。物品。物品。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆放置平台


[0001]本技术涉及晶圆领域，具体是一种晶圆放置平台。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；
[0003]晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，大多是晶圆在生产的过程中都会使用到放置晶圆的平台，对其进行一个收纳储存。
[0004]现有的晶圆放置平台在使用过程中不能更好的对其面积进行一个延长变大的问题，以至于导致摆放的空间较小，操作起来极为不便利，并且一次性不能放置较多的物品导致工作效率下降；
[0005]因此，针对上述问题提出一种晶圆放置平台。

技术实现思路

[0006]为了弥补现有技术的不足，现有的晶圆放置平台在使用过程中不能更好的对其面积进行一个延长变大的问题，以至于导致摆放的空间较小，操作起来极为不便利，并且一次性不能放置较多的物品导致工作效率下降的问题，本技术提出一种晶圆放置平台。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种晶圆放置平台，包括主体和滑动机构，所述滑动机构包括滑动板、滑槽、滑块、支撑柱、固定底座、固定螺栓和防滑垫，所述主体的内壁一侧活动连接有滑动板，所述滑动板的外壁表面一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部固定安装有滑块，所述主体的外壁下端固定安装有支撑柱，所述支撑柱的外壁下端固定安装有固定底座，所述固定底座的外壁上端贯穿固定螺栓，所述固定底座的外壁下端固定安装有防滑垫；
[0008]所述主体的外壁上端设置有若干个第一固定板，所述第一固定板的外壁下端焊接有升降套，所述升降套的内壁活动连接有升降杆，所述升降杆的外壁下端连接有第二固定板。
[0009]优选的，所述第一固定板通过升降杆和升降套与第二固定板之间构成升降结构，且升降杆和升降套的中心线相重合。
[0010]优选的，所述第一固定板的外壁上端设置有耐磨层。
[0011]优选的，所述第一固定板的外壁上端表面开设有若干个固定槽。
[0012]优选的，所述第一固定板的外壁上端连接有第一防护板，且第一防护板的外壁下端设置有第一合页。
[0013]优选的，所述滑动板通过滑槽和滑块与主体之间构成滑动结构，且滑块在滑槽的内壁呈等间距分布。
[0014]优选的，所述固定底座通过固定螺栓与支撑柱之间螺纹连接，且固定螺栓设置有两组，且两组固定螺栓以支撑柱的中轴线对称设置。
[0015]优选的，所述防滑垫与固定底座之间构成胶粘结构，且防滑垫的内壁一侧与固定底座的外壁一侧相贴合。
[0016]本技术的有益之处在于：
[0017]1.本技术通过滑动板、滑槽、滑块、支撑柱、固定底座、固定螺栓和防滑垫的设置，滑槽和滑块的设置，可以对其滑动板进行一个拉伸的作用，可以使其的可使用面积变大，使用起来更为方便，其次固定底座的设置可以对其主体起到一个固定支撑的作用，防止其摆放不稳定导致倒塌等问题的发生，防滑垫的设置可以防止固定底座在摆放时因桌腿打滑造成的倾倒等问题的发生，该设计给使用者使用带来便利，使其使用起来更为便利；
[0018]2.本技术通过第一固定板、升降杆、升降套和第二固定板的设置，可以通过升降杆和升降套的设置对其第一固定板进行一个上下升降的作用，通过上下升降可以拉高第一固定板对其底下的第二固定板进行物品的摆放，可以节省空间，使其可使用面积变大，能摆放更多的物品。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]图1为本技术的主视结构示意图；
[0021]图2为本技术的滑动结构示意图；
[0022]图3为本技术的升降结构示意图；
[0023]图4为本技术的螺纹连接示意图；
[0024]图5为本技术的图1中A处结构放大图。
[0025]图中：1、主体；2、第一固定板；3、升降杆；4、升降套；5、第二固定板；6、耐磨层；7、固定槽；8、第一防护板；9、第一合页；10、第二防护板；11、第二合页；12、滑动机构；1201、滑动板；1202、滑槽；1203、滑块；1204、支撑柱；1205、固定底座；1206、固定螺栓；1207、防滑垫。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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5所示，一种晶圆放置平台，包括主体1和滑动机构12，滑动机构12包括滑动板1201、滑槽1202、滑块1203、支撑柱1204、固定底座1205、固定螺栓1206和防滑垫1207，主体1的内壁一侧活动连接有滑动板1201，滑动板1201的外壁表面一侧开设有滑槽
1202，滑槽1202的内部固定安装有滑块1203，主体1的外壁下端固定安装有支撑柱1204，支撑柱1204的外壁下端固定安装有固定底座1205，固定底座1205的外壁上端贯穿固定螺栓1206，固定底座1205的外壁下端固定安装有防滑垫1207；
[0028]主体1的外壁上端设置有若干个第一固定板2，第一固定板2的外壁下端焊接有升降套4，升降套4的内壁活动连接有升降杆3，升降杆3的外壁下端连接有第二固定板5。
[0029]本实施例，第一固定板2通过升降杆3和升降套4与第二固定板5之间构成升降结构，且升降杆3和升降套4的中心线相重合，通过第一固定板2、升降杆3和升降套4的设置，可以起到一个升降的作用，能够使其存放的面积得到一定的提升。
[0030]本实施例，第一固定板2的外壁上端设置有耐磨层6，通过耐磨层6的设置，可以在其使用的使用，起到一个防护作用，防止其在长期使用的情况下对其外壁造成磨损，影响其的使用。
[0031]本实施例，第一固定板2的外壁上端表面开设有若干个固定槽7，通过固定槽7的设置，可以对其生产的晶圆进行一个固定的作用，防止晶圆在放置平台上晃动造成洒落等问题的发生。
[0032]本实施例，第一固定板2的外壁上端连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆放置平台，其特征在于：包括主体(1)和滑动机构(12)，所述滑动机构(12)包括滑动板(1201)、滑槽(1202)、滑块(1203)、支撑柱(1204)、固定底座(1205)、固定螺栓(1206)和防滑垫(1207)，所述主体(1)的内壁一侧活动连接有滑动板(1201)，所述滑动板(1201)的外壁表面一侧开设有滑槽(1202)，所述滑槽(1202)的内部固定安装有滑块(1203)，所述主体(1)的外壁下端固定安装有支撑柱(1204)，所述支撑柱(1204)的外壁下端固定安装有固定底座(1205)，所述固定底座(1205)的外壁上端贯穿固定螺栓(1206)，所述固定底座(1205)的外壁下端固定安装有防滑垫(1207)；所述主体(1)的外壁上端设置有若干个第一固定板(2)，所述第一固定板(2)的外壁下端焊接有升降套(4)，所述升降套(4)的内壁活动连接有升降杆(3)，所述升降杆(3)的外壁下端连接有第二固定板(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆放置平台，其特征在于：所述第一固定板(2)通过升降杆(3)和升降套(4)与第二固定板(5)之间构成升降结构，且升降杆(3)和升降套(4)的中心线...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓辉，周永昌，董琪琪，
申请(专利权)人：飞锃半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：