一种石墨舟清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟清洗装置，括底板、设置在底板上的加工箱以及设置在底板底部的水箱，所述加工箱的内部设置有加工槽，所述加工槽的内壁上对称设置有侧板，所述侧板上活动设置有喷水架，所述加工槽的内部顶端面上活动设置有夹持架，所述夹持架与设置在加工箱外侧的导架活动配合，所述水箱的内部设置有与加工槽连通的集污室，所述集污室与加工槽的连通处设置有防溅板，所述集污室的内部设置有过滤室，所述过滤室的旁侧设置有净水室，所述底板的底部设置有支腿，所述水箱的外壁上设置有进水管，所述水箱的一侧端面设置有密封板。该石墨舟清洗装置，结构简单，清洗效果好，且易于实现，可广泛推广。可广泛推广。可广泛推广。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟清洗装置


[0001]本技术属于太阳能电池制备
，具体涉及一种石墨舟清洗装置。

技术介绍

[0002]等离子体增强化学气象沉积是硅太阳能电池制造工艺中不可缺少的一部分，随着PECVD技术的不断改进，管式PECVD在提高太阳能电池的效率上有了显著提高。太阳能电池片制作工艺中，PECVD镀膜工序所用的石墨舟在运行过程中，都会有氮化硅附着在石墨舟内表面，累计到一定厚度会影响电池片的镀膜效果，因此需要定期把石墨舟表面的氮化硅清洗掉。
[0003]现有的石墨舟清洗设备在使用时无法对不同大小的石墨舟进行夹持固定，且在清洗的过程中不能保证对石墨舟进行全方位的清洗，从而导致清洗效果较差，为此，提出一种石墨舟清洗装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种石墨舟清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石墨舟清洗装置，包括底板、设置在底板上的加工箱以及设置在底板底部的水箱，所述加工箱的内部设置有加工槽，所述加工槽的内壁上对称设置有侧板，所述侧板上活本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟清洗装置，包括底板(1)、设置在底板(1)上的加工箱(107)以及设置在底板(1)底部的水箱(102)，其特征在于：所述加工箱(107)的内部设置有加工槽(10)，所述加工槽(10)的内壁上对称设置有侧板(125)，所述侧板(125)上活动设置有喷水架(129)，所述加工槽(10)的内部顶端面上活动设置有夹持架(11)，所述夹持架(11)与设置在加工箱(107)外侧的导架(108)活动配合，所述水箱(102)的内部设置有与加工槽(10)连通的集污室(100)，所述集污室(100)与加工槽(10)的连通处设置有防溅板(121)，所述集污室(100)的内部设置有过滤室(122)，所述过滤室(122)的旁侧设置有净水室(123)。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置，其特征在于：所述底板(1)的底部设置有支腿(101)，所述水箱(102)的外壁上设置有进水管(105)，所述水箱(102)的一侧端面设置有密封板(103)。3.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置，其特征在于：所述加工箱(107)的外壁上设置有与水箱(102)连通的第一输水管(104)、第二输水管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王健，
申请(专利权)人：无锡鼎炻电子工程有限公司，
类型：新型
国别省市：