一种超快声光晶体的键合结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种超快声光晶体的键合结构，包括由下至上依次设置的声光介质层、键合层、电声换能器，电声换能器远离键合层的一侧设置有电极层，电极层电性连接有外部电子设备，电声换能器，包括处于同一平面的电声换能器A片和电声换能器B片，电声换能器A片与电声换能器B片长度不同，电声换能器A片与电声换能器B片除长度不同外其余尺寸参数相同；电极层，包括第一电极层和第二电极层，第一电极层固接在电声换能器A片上，第二电极层固接在电声换能器B片上，第一电极层与第二电极层尺寸不同。本实用新型专利技术能够实现使得光束只在一个电极上集中传播，不会造成因为光束扩散、光斑变大而引起的开关速度低问题。引起的开关速度低问题。引起的开关速度低问题。

【技术实现步骤摘要】
一种超快声光晶体的键合结构


[0001]本技术涉及激光技术光学器件
，特别是涉及一种超快声光晶体的键合结构。

技术介绍

[0002]常见的声光介质和电声换能器之间通过电子束蒸发Cr/In薄膜形成金属键合层结构，从而实现声光器件声阻抗的匹配。为了将外部电信号通过电声换能器传导进声光介质完成能量转换，常见电声换能器表面是由左右两片相同晶片组成，且每片晶片表面会各镀一层相同面积的电极层面形成电性导通。一般器件工作频率低则电极层面积较大，而超快声光器件为了实现上升/下降沿＜10ns，电极层面积需要大大缩小，如果依旧采取常规电声换能器两片晶片组合方式，则因为两片晶片电极层之间存在一定距离，光束在电极之间传播会扩散，光斑变大，造成开关速度低，同时单片晶片表面因电极层面积小造成金丝焊接操作难度较大，容易引起的电性不良、效率转换异常等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种超快声光晶体的键合结构，以解决上述现有技术存在的问题，能够实现使得光束只在一个电极上集中传播，不会造成因为光束扩散、光斑变大而引起的开关速度低问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种超快声光晶体的键合结构，包括由下至上依次设置的声光介质层、键合层、电声换能器，所述电声换能器远离所述键合层的一侧设置有电极层，所述电极层电性连接有外部电子设备，
[0005]电声换能器，包括处于同一平面的电声换能器A片和电声换能器B片，所述电声换能器A片与所述电声换能器B片长度不同，所述电声换能器A片与所述电声换能器B片除长度不同外其余尺寸参数相同；
[0006]电极层，包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层固接在所述电声换能器A片上，所述第二电极层固接在所述电声换能器B片上，所述第一电极层与所述第二电极层尺寸不同。
[0007]优选的，所述电声换能器B片的长度小于所述电声换能器A片的长度。
[0008]优选的，所述第二电极层的面积小于所述第一电极层的面积。
[0009]优选的，所述第一电极层面积为所述第二电极层面积的10倍。
[0010]优选的，所述第一电极层通过金丝与所述外部电子设备电性连接，所述第二电极层通过另一所述金丝与地面接触。
[0011]优选的，所述电声换能器A片为LN材质。
[0012]优选的，所述键合层包括两相对设置的Cr材料层，两所述Cr材料层之间设置有两In材料层，所述Cr材料层和所述In材料层均与所述声光介质层平行设置。
[0013]本技术公开了以下技术效果：
[0014]1.电声换能器A片与电声换能器B片的长度尺寸不同，相对于现有技术中由两个电极层的电声能量转换，本技术仅通过电声换能器A片上的第一电极层进行电声能量转换，使得转换能量更为集中，而光束只在第一电极层上集中传播，不会造成因为光束扩散、光斑变大而引起的开关速度低的问题，从而方便电极层上的金丝焊接操作，使得电性和效率转换上更优更稳定的作用。
[0015]2.由于电声换能器B片上的第二电极层主要起到电性导通作用，因而材料可较多选择，如LN材料、玻璃或者金属(铜)等均可，从而可以降低使用成本，扩大选材范围。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为键合结构的分解结构的立体图；
[0018]图2为键合结构与外部电子设备连接关系示意图；
[0019]图3为超快声光晶体电性传导和实现电声产能转换示意图；
[0020]图4为现有技术中光束在电声产能转换形成的“相位光栅”传播现象与采用本技术制备的电声产能转换形成的“相位光栅”传播现象的示意图；
[0021]其中，1
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声光介质层，2
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键合层，21
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Cr材料层，22
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In材料层，3
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电声换能器A片，4
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电声换能器B片，5
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第一电极层，6
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第二电极层，7
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外部电子设备，8
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金丝，9
‑
地面。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0024]如图1
‑
4所示，本技术提供一种超快声光晶体的键合结构，包括由下至上依次设置的声光介质层1、键合层2、电声换能器，电声换能器远离键合层2的一侧设置有电极层，电极层电性连接有外部电子设备7，电声换能器，包括处于同一平面的电声换能器A片3和电声换能器B片4，电声换能器A片3与电声换能器B片4长度不同，电声换能器A片3与电声换能器B片4除长度不同外其余尺寸参数相同；电极层，包括第一电极层5和第二电极层6，第一电极层5固接在电声换能器A片3上，第二电极层6固接在电声换能器B片4上，第一电极层5与第二电极层6尺寸不同。
[0025]电声换能器A片3与电声换能器B片4的厚度和宽度均相同，两者仅在长度上不相同，同时，第一电极层5与第二电极层6的面积不相同。
[0026]外部电子设备7向电声换能器A片3提供电性号，外部电子设备7提供外部电信号传输给电声换能器A片3，电声换能器A片3产生超声振动，将电信号转换为超声波，由于电声换
能器A片3和声光介质层1是通过键合层2压合在一起的，超声波经过键合层2高效的传输到声光介质层1，从而超声波在声光介质层1中形成类似于“相位光栅”，该“相位光栅”能有效将外部输入的光束进行衍射。由于键合层2为金属层，外部电信号通过键合层2传导至电声换能器B片4上，由电声换能器B片4直接接地。
[0027]现有技术中，电声换能器A片3和电声换能器B片4厚度、宽度以及长度相同，电声换能器A片3和电声换能器B片4上的电极层也相同，外部输入的光束经过现有技术中的声光介质层1后，+1级衍射光的光束发生扩散，光斑变大。而本技术中电声换能器A片和电声换能器B片厚度和宽度相同，长度方向上电声换能器A片3和电声换能器B片4不相同，电声换能器A片3上的第一电极层5和电声换能器B片4的第二电极层6也不相同。外部输入的光束经过本技术的声光晶体中的声光介质层1，形成的+1级衍射光不存在上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超快声光晶体的键合结构，包括由下至上依次设置的声光介质层(1)、键合层(2)、电声换能器，所述电声换能器远离所述键合层(2)的一侧设置有电极层，所述电极层电性连接有外部电子设备(7)，其特征在于，电声换能器，包括处于同一平面的电声换能器A片(3)和电声换能器B片(4)，所述电声换能器A片(3)与所述电声换能器B片(4)长度不同，所述电声换能器A片(3)与所述电声换能器B片(4)除长度不同外其余尺寸参数相同；电极层，包括第一电极层(5)和第二电极层(6)，所述第一电极层(5)固接在所述电声换能器A片(3)上，所述第二电极层(6)固接在所述电声换能器B片(4)上，所述第一电极层(5)与所述第二电极层(6)尺寸不同。2.根据权利要求1所述的超快声光晶体的键合结构，其特征在于：所述电声换能器B片(4)的长度小于所述电声换能器A片(3)的长度。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王烨，周敢，
申请(专利权)人：腾景科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：