射频多维度线圈半自动成型设备制造技术

本公开涉及一种射频多维度线圈半自动成型设备。射频多维度线圈半自动成型设备，包括：底座，设有成型槽体，所述成型槽体用于嵌入线圈以成型所述线圈；第一成型机构，包括定位件和第一推块，所述定位件和第一推块分别位于所述线圈的端部的两侧；第二成型机构，包括第二推块，所述第二推块位于所述定位件的上方。上述的射频多维度线圈半自动成型设备通过将射频线嵌入底座的成型槽体内形成线圈，通过第一成型机构使得线圈的端部沿竖直方向延伸，然后，通过第二程序机构实现线圈的端部沿水平方向延伸，从而完成对射频多维度线圈的半自动成型加工作业，有效提高了射频多维度线圈的成型精度和成型效率。精度和成型效率。精度和成型效率。

【技术实现步骤摘要】
射频多维度线圈半自动成型设备


[0001]本公开属于离子源部件加工设备领域，尤其是一种射频多维度线圈半自动成型设备。

技术介绍

[0002]本部分的陈述仅仅是提供了与本公开公开相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。
[0003]离子源是一门用途广，类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术。霍尔离子源作为一种十分常用的离子源类型。多应用于薄膜沉积领域，作为沉积辅助部件，提高薄膜物理特性。
[0004]射频多维度线圈是射频源阳极提供磁场的一个重要配件。而射频源的多维度的铜线圈要求精度，射频源中特别重要特殊的配件。由于产量又不是特别高，用大型设备加工需要配上高额的模具费用，用手工加工精度差效率又低。

技术实现思路

[0005]鉴于以上内容，有必要提供一种射频多维度线圈半自动成型设备，可以低成本地完成射频多维度线圈的制作。
[0006]为此，本公开首先提供了一种射频多维度线圈半自动成型设备，包括：
[0007]底座，设有成型槽体，所述成型槽体用于嵌入线圈以成型所述线圈；
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频多维度线圈半自动成型设备，其特征在于，包括：底座，设有成型槽体，所述成型槽体用于嵌入线圈以成型所述线圈；第一成型机构，包括定位件和第一推块，所述定位件和第一推块分别位于所述线圈的端部的两侧，用于夹挤所述端部直至所述端部沿竖直方向延伸；第二成型机构，包括第二推块，所述第二推块位于所述定位件的上方，用于在所述定位件的上方推挤所述端部直至所述端部位于所述定位件上方的部分沿水平方向延伸。2.如权利要求1所述的射频多维度线圈半自动成型设备，其特征在于，所述成型槽体沿底座的侧面延伸并且呈螺旋状结构。3.如权利要求2所述的射频多维度线圈半自动成型设备，其特征在于，所述定位件包括固定块和调节块，所述固定块连接于所述底座，所述调节块通过连接件连接于所述固定块以夹挤所述线圈的端部。4.如权利要求3所述的射频多维度线圈半自动成型设备，其特征在于，所述第一推块和所述调节块至少之一设有第一槽体，所述第一槽体沿竖直方向延伸，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴秋生，刘伟基，邵立伟，冀鸣，黄毅，黄德皇，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：