【技术实现步骤摘要】
用于调节粒子束显微镜的方法和粒子束显微镜
[0001]本专利技术涉及用于调节粒子束显微镜的方法。具体地，本专利技术涉及用于调节一个或多个粒子束聚焦在要检查的物体上的那些粒子束显微镜的方法。
技术介绍
[0002]这样的粒子束显微镜的示例是扫描电子显微镜，在扫描电子显微镜中，聚焦的电子束扫描要检查的物体的待成像区域，并且以取决于聚焦的粒子束的偏转的方式来检测由入射电子束在物体处产生的二次电子或反向散射电子，以便生成物体的扫描区域的电子显微镜图像。
[0003]粒子束由粒子束源产生，可能穿过聚光透镜、像散校正器或其他束整形元件，并通过物镜聚焦在物体上。为了获得粒子束显微镜的高分辨率，粒子束必须最大可能程度地聚焦在物体上，即，由聚焦的粒子束在物体表面上照亮的区域(“束斑”)应尽可能小。为此，粒子束显微镜及其粒子光学部件进行了调节，目的是获得与物体的表面重合的像平面，在像平面中，粒子源由光学系统成像。在将物体布置成距物镜给定距离的情况下，这可以通过改变粒子束显微镜的焦点设置直到粒子源在物体表面上的束斑或图像尽可能小来实现。例...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于调节粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：粒子束源，用于生成粒子束；物镜，用于将该粒子束聚焦在物体上；第一偏转装置，用于偏转该粒子束，其中，该第一偏转装置布置在该粒子束的在该粒子束源与该物镜之间的束路径上；以及第二偏转装置，用于偏转该粒子束，其中，该第二偏转装置布置在该粒子束的在该第一偏转装置与该物体之间的束路径上；其中，该方法包括以下措施：在该第一偏转装置的给定激励和第一焦点设置下记录第一粒子显微镜图像；在该第一偏转装置的给定激励和不同于该第一焦点设置的第二焦点设置下记录第二粒子显微镜图像；基于该第一粒子显微镜图像、该第二粒子显微镜图像和提前已知的函数关系确定该第一偏转装置的新激励，该函数关系表示当根据该第一偏转装置的激励改变该焦点设置时记录的粒子显微镜图像的位移；以及以该第一偏转装置的新激励记录至少一个第三粒子显微镜图像；其中，记录该第一图像包括使用该粒子束扫描该物体的待成像的第一区域，其中，记录该第二图像包括使用该粒子束扫描该物体的待成像的第二区域，其中，该扫描包括改变该第二偏转装置的激励并保持该第一偏转装置的激励，其中，该物体的待成像的第一扫描区域和该物体的待成像的第二扫描区域均在该物体上具有几何形心，并且其中，在未被激励的第二偏转装置的情况下，该粒子束被引导到该物体上的位置，该位置与该待成像的第一扫描区域的形心和该待成像的第二扫描区域的形心的距离均小于10μm。2.根据权利要求1所述的方法，其中，设置该焦点设置包括设置用于加速该粒子束的高电压和/或设置该物镜的激励。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，从该第一焦点设置开始设置该第二焦点设置包括改变用于加速该粒子束的高电压，其中该物镜的激...
【专利技术属性】
技术研发人员：S迪默，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。