包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于辊对板工艺的压印设备，该压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102)，其中柔性母版在压印过程中可压在基板上，并且印版载体保持基板，其中印版载体包括补偿材料(114)。补偿材料的面积大于基板的面积，并且基板的边界与补偿材料的边界不接触。界不接触。界不接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备


[0001]本专利技术涉及一种用于辊对板工艺的压印设备。

技术介绍

[0002]用于辊对板工艺的压印设备是已知的并且包括辊、具有压印图案的柔性母版、印版载体和基板。基板位于印版载体上。柔性印模带有期望产品所需的反转结构(压印图案或浮凸结构)，并且基板和/或柔性母版包含可固化树脂(也称为漆)。在压印工艺期间，柔性母版通过使用辊挤压在基板上，可固化树脂位于其间。在固化期间，树脂例如通过热和/或UV固化，并且在去除柔性母版之后，具有所需产品结构的固化树脂被转移以保留在基板上。
[0003]辊对板压印工艺是一种离散的压印工艺。它不同于连续的辊对辊压印工艺。在辊对辊工艺中，通过使用第二辊来提供压印期间的反压。在辊对板压印工艺中，使用印版载体，并且反压由印版载体直接提供或经由布置在印版载体下方的下部压印辊间接提供。
[0004]根据本专利技术的印版载体是一种包括载体表面的板，其中载体表面的面积大于垂直于载体表面的印版厚度。印版载体的宽度和长度大于基板的面积。
[0005]例如，WO 2016128493中描述了用于辊对板压印设备的已知现有技术。
[0006]文献JP 2016207950涉及一种用于形成精细图案的压印设备。目的在于提高精细图案的转印质量，其中在制造过程中应补偿转印对象的厚度差。
[0007]术语“柔性母版”在本专利技术中用于任何柔性且适合作为压印图案载体的装置。优选地，柔性母版是柔性印模或柔性镍垫片。
[0008]使用辊对板压印设备，可以对顶部有树脂的大面积表面进行压印，以获得可固化的压印产品。这些大面积的表面可以通过使用大印版载体来运输或处理。印版载体的目的是引导和运输基板。具有印版载体可以实现或促进柔性母版和基板的对齐。印版载体还可以对压印辊施加反压。在不同的设置中，反压由位于基板和印版载体下方的下部压印辊提供。
[0009]印版载体尺寸越大，印版载体的平坦表面的制作就越复杂。如果印版载体不是完全平坦的，则在与顶部辊的线压力相结合的压印过程中基板(位于印版载体上方)上的反压将局部地有所不同。这将导致最终产品上的局部厚度变化。另外，如果(大)基板的背面(其与印版载体接触)由于厚度变化、缺陷或污染(例如灰尘颗粒)而不是均匀地平坦的，那么在压印期间也会出现压力变化。此外，压印辊的不平整也会导致压印期间的压力变化。这一切都将导致局部较薄或较厚的残留层厚度。因此，基板的不平整背面会导致基板正面——即漆面——出现可见缺陷并影响压印的最终产品的质量。
[0010]辊对辊压印工艺不使用印版载体。辊对辊压印专注于纹理化膜的生产，而不是在离散基板或产品上复制纹理。在辊对辊压印中，柔性母版与产品的对齐不是问题。

技术实现思路

[0011]因此，本专利技术的目的是补偿或至少最大限度地减小现有技术的辊对板压印设备的
缺点。
[0012]该目的通过一种用于辊对板工艺的压印设备来实现，其中印版载体包括补偿材料，其中基板位于补偿材料上方，其中补偿材料的面积大于基板的面积并且基板的边界和补偿材料的边界不接触。由于补偿材料的使用，基板和/或印版载体和/或压印辊的不均匀平坦度的缺点可以通过补偿材料来减轻或减小。
[0013]基板位于补偿材料上方与补偿材料的边界区域相距一定距离处。优选地，基板边界到补偿材料边界的距离为至少3mm，优选至少0.5cm，更优选至少3cm，最优选至少5cm，最优选至少10cm。
[0014]补偿材料的边界区域是指补偿材料的侧面和边缘。如果使用圆形补偿材料，则该圆形材料仅具有一个侧面，并且基板位于距该一个侧面一定距离处。
[0015]根据本专利技术的第一构思，补偿材料的尺寸大于基板的尺寸，并且基板以基板与补偿材料的侧面相距一定距离的方式位于补偿材料上方。这意味着，基板的边界和补偿材料的边界不(彼此)接触。基板优选地位于补偿材料的中心区域中，并且基板的侧面不与补偿材料的侧面成一直线或基板突出超过补偿材料。侧面载体支承件可以在基板旁边被放置在相同的补偿材料上，或者侧面载体支承件可以由补偿材料制成。
[0016]特别是对于非方形基板，基板上的压力将会变化，因为下面的层(例如印版载体)不是等分的基板和侧面载体支承件。例如，在作为基板的圆形晶片的起点处，几乎没有补偿材料，并且辊将无法弯曲。在作为基板的圆形晶片的中间，辊可能会弯曲。此处基板上的压力会更高。如果基板和侧面支承件下方没有补偿材料，则圆形基板的中间和侧面的压力将相等。因此，尺寸比基板大的补偿材料——其中基板位于距补偿材料的边界区域一定距离的位置处——是特别有利的。
[0017]该目的还通过一种用于辊对板工艺的压印设备来实现，该压印设备包括柔性母版、印版载体和基板，其中柔性母版在压印过程中可压在基板上并且印版载体保持基板，其中印版载体包括形式为包含流体的附加层的补偿材料。
[0018]术语补偿材料是指具有可逆压力补偿特性的每种材料。在本专利技术的一种形式中，补偿材料是流体。流体以附加层的形式存在，该附加层优选与印版载体直接共形接触。术语“直接接触”是指附加层与印版载体机械接触。例如，附加层被放置在基板与印版载体之间。在一个优选实施例中，流体是气体或液体。作为气体，优选氩气、氮气或空气。水、油、丙烯酸酯流体或可固化的丙烯酸酯流体是优选的液体介质。在又一优选实施例中，流体是粘弹性流体。流体形式的附加层是指流体形成由流体本身构成的层或流体被充填到包裹物中并且基板位于包裹物上或基板位于流体本身之上或其中。此外，附加层也可以是一种充填了流体的垫。流体形式的附加层不是指一种用于在压印过程中将基板保持在印版载体上的适当位置的凹陷。由于流体而产生了一种流体床，该流体床能够补偿压印过程中不同的压力变化。
[0019]流体以附加层的形式存在，该附加层优选与印版载体间接共形接触。流体可以存在于容器中，以将流体保持在适当位置。例如，流体存在于袋中，从而形成具有可逆压力补偿特性的球囊或水床。流体可以是气体或液体。
[0020]在文献JP 2016 20 7950中，公开了吸入孔的使用。由于吸入孔，基板通过吸力保持正确位置。根据该文献，由流体制成的层不是由吸入孔产生的。
[0021]一种流体系统可用于产生附加层形式的补偿材料，该附加层包括作为补偿材料的类似空气床的流体，通过该空气床，基板以非接触方式安装，同时具有补偿反压。在又一示例中，流体系统用于产生作为补偿材料的液体床，基板通过该液体床无接触地安装，同时具有补偿反压。所提到的空气床和/或液体床可以存在于共形容器中，从而形成球囊或液体床，以将流体保持在适当位置。
[0022]在本专利技术的另一种形式中，补偿材料是柔性材料。
[0023]术语“柔性”是指材料可以被可逆地压缩。这意味着与玻璃或金属相比，柔性材料具有弹性。优选地，柔性材料具有根据ASTM E111测量的0.1吉帕斯卡(GPa)与10吉帕斯卡(GPa)之间的杨氏模量，更优选0.5吉帕斯卡与5吉帕斯卡之间的杨氏模量。例如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于辊对板工艺的压印设备，所述压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102)，其中所述柔性母版(105)在压印过程中能压在所述基板(102)上并且所述印版载体(101)保持所述基板(102)，其中所述印版载体(101)包括补偿材料，其特征在于，所述基板(102)位于所述补偿材料上方，其中所述补偿材料的面积大于所述基板(102)的面积并且所述基板(102)的边界和所述补偿材料的边界不接触。2.一种用于辊对板工艺的压印设备，所述压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102)，其中所述柔性母版(105)在压印过程中能压在所述基板(102)上并且所述印版载体(101)保持所述基板(102)，其中所述印版载体(101)包括形式为包括流体的附加层的补偿材料。3.根据权利要求1所述的压印设备，其中，所述补偿材料是柔性材料(114)。4.根据权利要求1或2所述的压印设备，其中，所述印版载体(101)具有至少一个空腔(112)，所述基板(102)能位于所述空腔中。5.根据前述权利要求中的至少一项所述的压印设备，其中，所述基板(102)能嵌入所述补偿材料中。6.根据前述权利要求中的至少一项所述的压印设备，其中，所述印版载体(101)包括至少一个第一印版载体部分(101A)和至少一个第二印版载体部分(101B)，其中所述第一印版载体部...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：莫福托尼克斯控股有限公司，
类型：发明
国别省市：