检测系统、检测方法及检测设备技术方案

本申请公开了一种检测系统、检测方法以及检测设备，该检测系统应用于半导体检测设备，所述半导体检测设备中包括至少一个光学元件，该检测系统包括检测装置和处理装置，其中，所述检测装置用于获取所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；所述处理装置用于基于所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号，确定所述至少一个光学元件的使用状态，以便于在保证所述半导体检测设备的检测精度的前提下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命。进而提高光学元件的使用寿命。进而提高光学元件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
检测系统、检测方法及检测设备


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种检测系统、一种检测方法以及一种检测设备。

技术介绍

[0002]随着社会的进步，通讯技术越来越受到人们的重视，为了便于日常生活，人们要求半导体通讯产品变得越来越小巧、轻便，同时功能越来越强大，这就需要半导体芯片拥有“小机身，大功能”，这势必要求半导体行业，尤其是半导体检测行业具有更高的检测精度。
[0003]然而，半导体检测设备中通常包括若干个光学元件，在其使用过程中，长时间、大功率的光照不可避免的会对光学元件产生损伤，一旦有一个光学元件出现损伤，就会影响整个半导体检测设备的检测精度，更何况，在实际应用中，很可能存在多个光学元件同时出现损伤的情况。重点是半导体行业光学元件成本普遍较高，而且更换困难，有时需要专门的技术人员花费大量的时间和精力来进行反复的调试，因此，如何在保证半导体检测设备的检测精度的情况下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命成为本行业亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，应用于半导体检测设备，所述半导体检测设备中包括至少一个光学元件，该检测系统包括：检测装置，所述检测装置用于获取所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；处理装置，所述处理装置用于基于所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号，确定所述至少一个光学元件的使用状态。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述半导体检测设备包括至少两个光学元件，所述检测装置包括至少两个光信号检测元件，所述光信号检测元件与所述光学元件一一对应，用于获取其对应的光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号。3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置用于基于所述光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号的预设参数，确定所述光学元件的使用状态；其中，所述预设参数包括光功率、光斑均匀性、光斑圆度和光斑M2因子中的至少一个。4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置还用于将所述至少一个光学元件的使用状态上传至服务器。5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：显示装置，用于显示所述光学元件的使用状态。6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置还用于在所述光学元件的使用状态满足第一预设条件时，发出第一提示信息。7.根据权利要求6所述的检测系...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，方一，黄有为，魏林鹏，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：