一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，花岗岩底座的四个边角均设有通孔，通孔的上端设有防撞击衬垫，每个通孔内均贯穿有伸缩杆，每个伸缩杆的下端均嵌于底柱的活动槽内，每个伸缩杆均通过信号线连接驱动总控装置，每侧两个相对应的伸缩杆之间设有安装板，每侧安装板上均设有第一气浮移动机构，两侧第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，第二气浮移动机构上设有工作台，本实用新型专利技术结特设的四个伸缩杆能够带动第一气浮机构和第二气浮机构，以及工作台进行上下移动，同时特设的第一气浮机构能够进行前后移动，第二气浮机构能够进行左右移动，从而实现精密定位和精确运动载物。从而实现精密定位和精确运动载物。从而实现精密定位和精确运动载物。

【技术实现步骤摘要】
一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台


[0001]本技术涉及气浮运动平台术领域，具体为一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台。

技术介绍

[0002]气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构；现有技术中，用于移动的气浮轴承都是卡接在滑块中，但是这样的结构连接，在移动过程中不够稳定；还有就是用于固定工件的工作台，只能做前后左右的移动，无法带动工件进行升降调节。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫，所述通孔的下端设有底柱，每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆，每个所述伸缩杆的下端均嵌于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座（1），其特征在于：所述花岗岩底座（1）的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫（11），所述通孔的下端设有底柱（12），每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆（13），每个所述伸缩杆（13）的下端均嵌于底柱（12）的活动槽（121）内，每个所述伸缩杆（13）均通过信号线连接驱动总控装置（131），所述驱动总控装置（131）固定在花岗岩底座（1）下方，每侧所述两个相对应的伸缩杆（13）之间设有安装板（132），每侧所述安装板（132）上均设有第一气浮移动机构（3），两侧所述第一气浮移动机构（3）之间设有第二气浮移动机构（4），所述第二气浮移动机构（4）上设有工作台（5）。2.根据权利要求1所述的一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：每侧所述第一气浮移动机构（3）包括两个第一支撑块（32），两个所述第一支撑块（32）分别固定于安装板（132）的两侧，两个所述第一支撑块（32）之间固定有第一滑行块（33），所述第一滑行块（33）上套有第一气浮轴承（331）；每侧所述第一滑行块（33）侧边的安装板（132）上均设有第一拖链（34），所述第一拖链（34）连接着第一直线电机（341），所述第一直线电机（341）连接第一连接板（342），所述第一连接板（342）固定在第一气浮轴承（331）的一侧，所述第一气浮轴承（331）的另一侧设有第一固定板（332），两侧所述第一固定板（332）相对设置，两侧所述第一固定板（332）之间固定有支撑板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐锦标，钱园，吴晓峰，廖福，
申请(专利权)人：江苏准信自动化科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：