检测方法及检测系统技术方案

本发明专利技术提供一种检测方法及检测系统，其中，方法包括：获取待测物的图像，得到待处理图像，所述待测物表面具有待测目标，所述待处理图像包括所述待测目标的目标图像；对待处理图像进行划分处理，获取至少一个感兴趣图像，所述感兴趣图像包括至少部分待测目标边缘的目标图像，且所述感兴趣图像在第一方向上包括多个像素；对所述感兴趣图像沿第一方向进行压缩处理，使感兴趣图像在第一方向上的多个像素的灰度值压缩为一个压缩灰度，获取感兴趣图像在第二方向上各像素的压缩灰度得到压缩灰度曲线。通过对所述感兴趣图像进行压缩处理，能够增加所获取的压缩灰度曲线的信噪比，进而提高检测精度。检测精度。检测精度。

【技术实现步骤摘要】
检测方法及检测系统


[0001]本专利技术涉及一种检测方法及检测系统，特别是一种通过图像处理对待测目标进行检测的方法及系统。

技术介绍

[0002]在半导体检测中，通常需要对待测目标的关键尺寸进行检测。通过对待测目标进行成像，从待测目标的图像中获得待测目标的关键尺寸是检测领域常用的技术手段。
[0003]传统技术中测量关键尺寸采用的方法是：先利用模板匹配等找到待测尺寸的大概感兴趣区域，然后在感兴趣区域范围内用边缘提取的算法(例如：canny等)计算出边缘的位置，再用最小二乘等算法拟合得出关键尺寸信息。
[0004]然而，随着半导体器件关键尺寸的缩小，对关键尺寸测量的精度不断提高，传统的测量方法很难满足半导体检测的要求。本专利技术的技术方案提供一种检测方法，能够提高检测精度。

技术实现思路

[0005]为解决以上问题，本专利技术提出了一种检测方法，通过对图像进行压缩处理，能够提高压缩灰度图像的信噪比，从而提高检测精度。
[0006]本专利技术的技术方案提供了一种检测方法，其特征在于，包括：获取待测物的图像，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测方法，其特征在于，包括：获取待测物的图像，得到待处理图像，所述待测物表面具有待测目标，所述待处理图像包括所述待测目标的目标图像；对待处理图像进行划分处理，获取至少一个感兴趣图像，所述感兴趣图像包括至少部分待测目标边缘的目标图像，且所述感兴趣图像在第一方向上包括多个像素；对所述感兴趣图像沿第一方向进行压缩处理，使感兴趣图像在第一方向上的多个像素的灰度值压缩为一个压缩灰度，获取感兴趣图像在第二方向上各像素的压缩灰度得到压缩灰度曲线，所述第二方向与第一方向不同；根据所述压缩灰度曲线，获取所述目标图像的边缘点的位置信息。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，对所述感兴趣图像沿第一方向进行压缩处理的步骤包括：选取所述感兴趣图像的第二方向上的任一像素，得到参考点；对所述感兴趣图像在过所述参考点的第一方向上的所有像素进行线性组合，得到所述参考点的压缩灰度；重复获取所述参考点和压缩灰度的步骤，获取所述感兴趣图像的第二方向上的多个像素的压缩灰度，得到所述压缩灰度曲线。3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述线性组合包括：过所述参考点的第一方向上的所有像素的灰度求和，平均值或加权值；所述第一方向为直线，所述第二方向垂直于所述第一方向。4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述压缩灰度曲线，获取所述目标图像的边缘点的位置信息的步骤包括：对所述感兴趣图像进行分区处理，获取所述目标图像的边缘区；对一个或多个边缘区感兴趣图像的分别执行边缘点获取操作，获取所述边缘区的目标图像边缘点的位置信息。5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述感兴趣图像包括：位于第二方向上的第一数量的分离的边缘点，所述第一数量为多个；所述分区处理的步骤包括：根据所述压缩灰度曲线获取目标图像的边缘点的初始位置信息；根据所述边缘点的初始位置信息，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区。6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述感兴趣图像包括所述目标图像分别位于第二方向上的第一数量的分离的边缘点；根据所述边缘点的初始位置信息，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区的步骤包括：根据所述边缘点的初始位置信息，获取所述目标图像的初始中心；根据所述目标图像的预设尺寸及所述初始中心点，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区。7.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，根据所述压缩灰度曲线获取目标图像边缘点的初始位置信息的步骤包括：获取所述压缩灰度曲线各点的梯度；根据所述压缩灰度曲线各像素的梯度与各像素位置的对应关系，得到梯度曲线；根据所述梯度曲线获取所述初始位置信息。8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，根据所述梯度曲线获取所述初始位置信息的步骤包括：获取各像素的梯度中排前第二数量的梯度对应的像素位置，得到第二数量个边缘点的初始位置信息；或者，对所述梯度曲线进行函数拟合，获取第一拟合函数；获取所述第一拟合函数的极值点；获取梯度值排前第二数量的极值点的梯度对应的位置，得到所述边缘点的初始位置信息，所述第一数量小于或等于所述第二数量。
9.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述边缘点获取操作包括：获取所述边缘区的感兴趣图像的压缩灰度曲线的梯度，得到边缘梯度；获取边缘区各像素的边缘梯度与对应像素的位置之间的关系曲线，得到边缘梯度曲线；根据所述边缘梯度曲线在边缘区中获取边缘点的位置信息。10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，根据所述边缘梯度曲线在边缘区中获取边缘点的位置信息的步骤包括：获取每个边缘区中最大的边缘梯度对应的像素位置，得到边缘点的位置信息；或者，获取边缘区中梯度值排前第三数量的边缘梯度对应的像素位置，得到备选边缘点；利用拟合函数对所述备选边缘点的梯度进行拟合，得到拟合曲线；获取拟合曲线上梯度最大值对应的位置，得到所述边缘点的位置信息；所述第三数量为多个。11....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，吕肃，李青格乐，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：