【技术实现步骤摘要】
检测方法及检测系统
[0001]本专利技术涉及一种检测方法及检测系统，特别是一种通过图像处理对待测目标进行检测的方法及系统。
技术介绍
[0002]在半导体检测中，通常需要对待测目标的关键尺寸进行检测。通过对待测目标进行成像，从待测目标的图像中获得待测目标的关键尺寸是检测领域常用的技术手段。
[0003]传统技术中测量关键尺寸采用的方法是：先利用模板匹配等找到待测尺寸的大概感兴趣区域，然后在感兴趣区域范围内用边缘提取的算法(例如：canny等)计算出边缘的位置，再用最小二乘等算法拟合得出关键尺寸信息。
[0004]然而，随着半导体器件关键尺寸的缩小，对关键尺寸测量的精度不断提高，传统的测量方法很难满足半导体检测的要求。本专利技术的技术方案提供一种检测方法，能够提高检测精度。
技术实现思路
[0005]为解决以上问题，本专利技术提出了一种检测方法，通过对图像进行分区处理，能够提高图像的信噪比，从而提高检测精度。
[0006]本专利技术的技术方案提供了一种检测方法，包括：获取待测物的图像，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检测方法，其特征在于，包括：获取待测物的图像，得到待处理图像，所述待测物表面具有待测目标，所述待处理图像包括所述待测目标的目标图像和目标图像外部的非目标图像；根据所述待处理图像获取感兴趣图像，所述感兴趣图像具有第二方向，所述第二方向自所述目标图像延伸至非目标图像；根据所述感兴趣图像的像素灰度值，获取所述第二方向上的像素位置与灰度的对应关系，得到灰度曲线；根据所述灰度曲线对所述感兴趣图像进行分区处理，获取所述目标图像的边缘区；对一个或多个边缘区的感兴趣图像分别执行边缘点获取操作，获取所述边缘区的目标图像边缘点的位置信息。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述分区处理的步骤包括：根据所述灰度曲线获取目标图像的边缘点的初始位置信息；根据边缘点的初始位置信息，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区。3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，根据边缘点的初始位置信息，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区的步骤包括：根据所述边缘点的初始位置信息，获取所述目标图像的初始中心；根据所述目标图像的预设尺寸及所述初始中心点，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区。4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述目标图像为圆形，所述预设尺寸为目标图像的预设直径或预设半径；根据所述目标图像的预设尺寸及所述初始中心，在所述感兴趣图像中获取目标图像的边缘区的步骤包括：获取以所述初始中心为圆心，以预设半径为半径的圆所在的预定宽度的区域，得到所述边缘区。5.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，根据所述灰度曲线获取目标图像边缘点的初始位置信息的步骤包括：获取所述灰度曲线各像素的梯度；根据所述灰度曲线各像素的梯度与各像素位置的对应关系，得到梯度曲线；根据所述梯度曲线获取所述初始位置信息。6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述感兴趣图像包括所述目标图像分别位于第二方向上的第一数量的分离的边缘点；根据所述梯度曲线获取所述初始位置信息的步骤包括：获取各像素的梯度中排前第一数量的梯度对应的像素位置，得到两个边缘点的初始位置信息；或者，对所述梯度曲线进行函数拟合，获取排前第二数量的梯度对应的位置，得到所述边缘点的初始位置信息，所述第二数量小于或等于所述第一数量。7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述边缘点获取操作包括：获取所述边缘区的感兴趣图像的灰度曲线的梯度，得到边缘梯度；获取边缘区各像素的边缘梯度与对应像素的位置之间的关系曲线，得到边缘梯度曲线；根据所述边缘梯度曲线在边缘区中获取边缘点的位置信息。8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，根据所述边缘梯度曲线在边缘区中获取边缘点的位置信息的步骤包括：获取每个边缘区中最大的边缘梯度对应的像素位置，得到边缘点的位置信息；或者，
获取边缘区中排前第三数量的边缘梯度对应的像素位置，得到备选边缘点；利用拟合函数对所述备选边缘点的梯度进行拟合，得到拟合曲线；获取拟合曲线上梯度最大值对应的位置，得到所述边缘点的位置信息。9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述拟合函数包括：高斯，二次曲线或co...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，吕肃，李青格乐，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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