一种用于半导体无尘室的除尘风机系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。本实用新型专利技术的目的在于提供一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。提高除尘效果且降低成本。提高除尘效果且降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体无尘室的除尘风机系统


[0001]本技术涉及除尘
，具体涉及一种用于半导体无尘室的除尘风机系统。

技术介绍

[0002]现有的无尘室除尘效果较为一般，但在半导体加工制造业中，对无尘室的空气清洁度都有较高的要求，因此，需要对无尘室的PM2.5进行严格的管控，才能保证半导体的质量，现提出一种用于半导体无尘室的除尘风机系统用于提高半导体无尘室的空气清洁度。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，所述风机本体采用高压静电除尘，除尘效果好，效率高，且控制盒还连接有移动终端还可以远程进行监控和操作，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。
[0006]优选地，所述控制盒包括控制盒体和设置在所述控制盒体内的CPU模块、DI模块及DO模块，所述DI模块用于实时接收所述尘埃监测器的监测数据和所述定位模块的定位数据，并将监测数据和定位数据传输到CPU模块进行分析处理，所述CPU模块通过所述DO模块控制移动底座的移动和所述风机本体的运行，所述CPU模块通过无线通信模块连接所述移动终端。
[0007]优选地，所述控制盒还包括传输模块，所述传输模块用于所述CPU模块与DI模块、DO模块间的数据传输，所述传输模块采用FPC数据连接器。
[0008]优选地，还包括若干警报器，所述警报器与所述尘埃监测器相邻设置，且其通过所述无线通信模块与所述控制盒电连接。
[0009]优选地，所述无线通信模块为WAN/LAN、4G、5G及WIFI中的一种或者其中两种、三种的组合。
[0010]优选地，所述定位模块采用GPS定位器。
[0011]优选地，所述移动终端为计算机、智能手机或平板电脑。
[0012]采用上述技术方案后，本技术与
技术介绍
相比，具有如下优点：
[0013]本技术一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置
若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，所述风机本体采用高压静电除尘，除尘效果好，效率高，且控制盒还连接有移动终端还可以远程进行监控和操作，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。
附图说明
[0014]图1为本技术结构框图；
[0015]图2为本技术风机和控制盒结构示意图。
具体实施方式
[0016]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0017]在本技术中需要说明的是，术语“上”“下”“左”“右”“竖直”“水平”“内”“外”等均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示本技术的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0018]实施例
[0019]请参考图1和图2所示，本技术公开了一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机1、控制盒2、监测装置、无线通信模块及移动终端，风机1包括移动底座11和风机本体12，移动底座11用于带动风机本体12移动，移动底座11上还设有定位模块13用于定位风机1的位置，监测装置包括若干尘埃监测器，控制盒通过无线通信模块与风机、监测装置及移动终端电连接。
[0020]控制盒2包括控制盒体和设置在控制盒体内的CPU模块、DI模块及DO模块，DI模块用于实时接收尘埃监测器的监测数据和定位模块的定位数据，并将监测数据和定位数据传输到CPU模块进行分析处理，CPU模块通过DO模块控制移动底座11的移动和风机本体12的运行，CPU模块通过无线通信模块连接移动终端。
[0021]控制盒2还包括传输模块，传输模块用于CPU模块与DI模块、DO模块间的数据传输，传输模块采用FPC数据连接器。
[0022]还包括若干警报器，警报器与尘埃监测器相邻设置，且其通过无线通信模块与控制盒电连接，当尘埃监测器监测到该区域的尘埃达到一定值时，警报器发出报警。
[0023]无线通信模块为WAN/LAN、4G、5G及WIFI中的一种或者其中两种、三种的组合。
[0024]定位模块采用GPS定位器，实时定位风机1的位置，便于控制各个风机1到各个位置进行除尘任务。移动终端为计算机、智能手机或平板电脑。其中风机本体12采用高压静电除尘风机，除尘效果好，效率高。
[0025]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。2.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述控制盒包括控制盒体和设置在所述控制盒体内的CPU模块、DI模块及DO模块，所述DI模块用于实时接收所述尘埃监测器的监测数据和所述定位模块的定位数据，并将监测数据和定位数据传输到CPU模块进行分析处理，所述CPU模块通过所述DO模块控制移动底座的移动和所述风机本体的运行，所述CPU模块通过无线通信模块连接所述移动终端。3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐志铭，
申请(专利权)人：漳州浦飞速机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：