一种线性等离子处理器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线性等离子处理器，包括具有空腔的外壳，外壳的底部开设有若干个与空腔连通的喷口，外壳的顶部开设有进气孔；外壳的空腔内设置有第一缓冲板和位于第一缓冲板下方的第二缓冲板，第一缓冲板和第二缓冲板将空腔分割为由上至下依次设置的第一缓冲腔、第二缓冲腔及第三缓冲腔，第一缓冲板和第二缓冲板上均贯穿设置有缓冲通口，第一缓冲板上安装有导电铜排板；外壳的空腔内还设置有若干个分别与若干个喷口对应的等离子发生组件。本实用新型专利技术通过螺旋通道的设置，注入气体可在陶瓷管处形成螺旋气流，电离后可形成火焰状的热气流通过喷口喷射出去，如此能提高处理效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种线性等离子处理器


[0001]本技术涉及等离子
，尤其涉及一种线性等离子处理器。

技术介绍

[0002]等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到击穿电压时，气体分子被电离，产生包括电子、离子、原子和原子团在内的混合体。以氮气为例，当对氮气进行电离后，可以产生包括大量的氮原子在内的氮基活性物质，氮基等离子体照射被处理物的表面，可以使附着于被处理物表面上的有机污染物“C”元素的分子分离，并变成二氧化碳后被清除；同时还可以提高被处理物的接触性能，从而可以提高接合强度和可靠性。
[0003]在玻璃面板加工过程中，则会使用上述原理对玻璃面板表面进行清洁处理以改善表面活性、提高表面张力。现有用于玻璃等离子处理的设备多选用常压等离子机，它通过等离子喷枪能对小宽度的玻璃面板进行有效的等离子处理，而当玻璃面板宽度较大时，尤其是超过80mm时，则需要安装多个等离子喷枪方能处理充分。但多个等离子喷枪同时作用，不可避免地会出现叠加处理或者漏处理，从而极易造成玻璃表面处理不均的问题。另外，现有常压等离子机的等离子喷枪在使用中易出现运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线性等离子处理器，其特征在于：包括具有空腔的外壳(29)，外壳(29)的底部开设有若干个与空腔连通的喷口(1)，外壳的顶部开设有进气孔(2)；外壳的空腔内设置有第一缓冲板(3)和位于第一缓冲板(3)下方的第二缓冲板(4)，第一缓冲板(3)和第二缓冲板(4)将空腔分割为由上至下依次设置的第一缓冲腔(5)、第二缓冲腔(6)及第三缓冲腔(7)，第一缓冲板(3)和第二缓冲板(4)上均贯穿设置有缓冲通口(11)，第一缓冲板(3)上安装有导电铜排板(10)；外壳(29)的空腔内还设置有若干个分别与若干个喷口(1)对应的等离子发生组件，等离子发生组件包括高压电容棒(8)和陶瓷管(12)；高压电容棒(8)的顶端与导电铜排板(10)相连，高压电容棒(8)的底端位于第三缓冲腔(7)内，高压电容棒(8)的外围设置有电容绝缘套筒(9)，电容绝缘套筒(9)的上下两端分别连接在第一缓冲板(3)和第二缓冲板(4)上；陶瓷管(12)具有贯穿陶瓷管(12)顶端的安装槽(13)，安装槽(13)内安装有导气柱(15)，导气柱(15)的外表面开设有若干个螺旋通道(16)，陶瓷管(12)的底端开设有与喷口(1)和安装槽(13)均连通的通孔(14)；等离子发生组件还包括弹性件(17)，弹性件(17)的上下两端分别作用于高压电容棒(8)和导气柱(15)，使得：导气柱(15)及陶瓷管(12)抵接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王嘉伟，洪秀，
申请(专利权)人：深圳市兴泰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：