消减设备中操作条件的优化制造技术

公开了一种优化消减设备中的操作条件的方法和一种消减设备，这种消减设备被配置为处理来自加工工具的流出物流。优化被配置为处理来自加工工具的流出物流的消减设备中的操作条件的方法包括：确定当处理流出物流时由消减设备产生的一氧化碳的浓度；以及响应于一氧化碳的浓度来调整消减设备的操作参数。以此方式，可通过响应于所产生的一氧化碳的量简单地调整消减装置的操作参数来控制消减装置的性能，以在消减设备内创造改进消减装置内被处理的化合物的移除的条件，同时减少不期望的副产物，且不需要对流出物流的含量的预先了解。且不需要对流出物流的含量的预先了解。且不需要对流出物流的含量的预先了解。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】消减设备中操作条件的优化


[0001]本专利技术的领域涉及一种优化消减设备中的操作条件的方法以及一种消减设备，该消减设备被配置为处理来自加工工具的流出物流。

技术介绍

[0002]消减设备是已知的，并且通常用于处理来自制造加工工具的流出气流，该制造加工工具用于例如半导体或平板显示器制造业。在这种制造过程中，残余的有害和/或全球变暖气体保留在从加工工具泵送的流出气流中。由于它们的性质并且因为已知它们对环境有不利影响，它们也可能是不希望的，应该在流出气体释放到大气中之前从流出气体中移除它们。
[0003]已知的消减设备，例如辐射燃烧器，使用燃烧从流出气流中移除不期望的化合物，以满足来自消减设备的排气流中的目标浓度。典型地，流出气流是氮气流，其含有残余气体，例如氢气、氨、四乙氧基硅烷(TEOS)和/或一氧化二氮以及取决于在加工工具中进行的加工步骤的其他化合物。燃料气体和/或氧化剂气体与流出气流混合，并且该气流混合物被输送到燃烧室中，该燃烧室被有小孔的气体燃烧器的离开表面在侧向包围。燃料气体和空气被同时供应给有小孔的燃烧器，以在出射表面实现无焰本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种优化消减设备中的操作条件的方法，所述消减设备被配置成处理来自半导体加工工具的流出物流，所述方法包括:确定当处理所述流出物流时由所述消减设备产生的一氧化碳的浓度；以及响应于所述一氧化碳浓度，调整所述消减设备的操作参数。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定包括测量所述消减设备的排气中存在的所述一氧化碳的浓度。3.根据权利要求1或2的方法，其中所述确定包括用红外光谱仪测量所述一氧化碳的浓度。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述操作参数包括燃料/氧化剂比率。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述调整包括改变所述燃料/氧化剂比率以降低所述一氧化碳的浓度。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述调整包括确定改变所述燃料/氧化剂比率是否会降低所述一氧化碳的浓度，如果是，则保持这种变化。7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述调整包括确定改变所述燃料/氧化剂比率是否会增加所述一氧化碳的浓度，如果是，则逆转这种变化。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述调整包括改变所述氧化剂的供应。9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述调整包括增加所述氧化剂供应，确定所述一氧化碳的浓度是否增加，如果增加，则减少所述氧化剂的供应。10...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：