复合电容器制造技术

复合电容器(1)具备多个电容器(10)和绝缘部(20)。多个电容器(10)相互层叠。绝缘部(20)将多个电容器(10)的层叠方向作为中心轴的轴向，覆盖多个电容器(10)的周侧面(11)。多个电容器(10)各自包含支承电极层(100)、多个导电柱状部(110)、电介质层(120)和对置电极层(130)。多个导电柱状部(110)各自具有纳米尺寸的外径。多个电容器(10)包含第1电容器(10A)和第2电容器(10B)。第2电容器(10B)相对于第1电容器(10A)位于上述一侧。第2电容器(10B)与第1电容器(10A)并联地连接。电容器(10A)并联地连接。电容器(10A)并联地连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】复合电容器


[0001]本专利技术涉及复合电容器。

技术介绍

[0002]作为公开了具备具有纳米尺寸的外径的导电柱状部的电容器的文献，有日本专利第5511746号(专利文献1)。在专利文献1记载的电容器中，碳纳米管被取向为从催化剂垫朝上在大致垂直方向上延伸。电介质层沉积在催化剂垫上。此外，电介质层还被覆了碳纳米管各自的外侧。沉积在绝缘基板上的导电性材料的覆盖层(blanket layer)填充相邻的碳纳米管间的空出的空间，覆盖纳米管、绝缘基板以及催化剂垫。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第5511746号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]在想要使专利文献1记载的电容器的静电电容提高的情况下，可考虑在作为导电柱状部的碳纳米管排列的方向上增大电容器。然而，在像这样使静电电容提高了的情况下，从导电柱状部的延伸方向观察时的单位面积的电容密度没有提高。
[0008]此外，专利文献1记载的电容器在上下方向上排列有对置电极。因此，在准备多个上述电容器并将这多个电容器相互层叠了的情况下，多个电容器相互串联地连接。像这样构成的复合电容器作为整体的静电电容不增加。
[0009]本专利技术是鉴于上述的问题点而完成的，目的在于提供一种能够提高从电容器的层叠方向观察时的面积电容密度并且使静电电容增加的复合电容器。
[0010]用于解决技术问题的技术手段
[0011]基于本专利技术的复合电容器具备多个电容器和绝缘部。多个电容器相互层叠。绝缘部将多个电容器的层叠方向作为中心轴的轴向，覆盖多个电容器的周侧面。多个电容器各自包含支承电极层、多个导电柱状部、电介质层和对置电极层。多个导电柱状部各自相对于支承电极层在层叠方向的一侧从支承电极层沿着层叠方向延伸。多个导电柱状部各自具有纳米尺寸的外径。电介质层在支承电极层的上述一侧被覆支承电极层以及多个导电柱状部。对置电极层被覆电介质层，隔着电介质层而与支承电极层以及多个导电柱状部对置。多个电容器包含第1电容器和第2电容器。第2电容器相对于第1电容器位于上述一侧。第2电容器与第1电容器并联地连接。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本专利技术，关于复合电容器，能够提高从电容器的层叠方向观察时的面积电容密度并且使静电电容增加。
附图说明
[0014]图1是示出本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的剖视图。
[0015]图2是示出本专利技术的实施方式1的变形例涉及的复合电容器的剖视图。
[0016]图3是示出比较例涉及的复合电容器的剖视图。
[0017]图4是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中在基板形成了多个导电柱状部的状态的剖视图。
[0018]图5是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中将多个导电柱状部从基板转印到集合支承电极层的状态的剖视图。
[0019]图6是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中在集合支承电极层以及多个导电柱状部被覆了电介质层的状态的剖视图。
[0020]图7是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中在电介质层被覆了对置电极层的状态的剖视图。
[0021]图8是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中将对置电极层平坦化了的状态的剖视图。
[0022]图9是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中将对置电极层进行了分割的状态的剖视图。
[0023]图10是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中将集合支承电极层和电介质层进行了分割的状态的剖视图。
[0024]图11是示出在本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的制造方法中在多个电容器各自设置了绝缘部的状态的剖视图。
[0025]图12是示出本专利技术的实施方式2涉及的复合电容器的剖视图。
[0026]图13是示出本专利技术的实施方式3涉及的复合电容器的剖视图。
[0027]图14是示出本专利技术的实施方式4涉及的复合电容器的剖视图。
具体实施方式
[0028]以下，参照附图对本专利技术的各实施方式涉及的复合电容器进行说明。在以下的实施方式的说明中，对于图中的相同或相应的部分标注相同的附图标记，不再重复其说明。
[0029](实施方式1)
[0030]图1是示出本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器的剖视图。如图1所示，本专利技术的实施方式1涉及的复合电容器1具备多个电容器10和绝缘部20。多个电容器10相互层叠。绝缘部20将多个电容器10的层叠方向作为中心轴的轴向，覆盖多个电容器10的周侧面11。
[0031]首先，对多个电容器10全部共同的结构进行说明。如图1所示，多个电容器10各自包含支承电极层100、多个导电柱状部110、电介质层120和对置电极层130。
[0032]支承电极层100可以是平板状、箔状或薄膜状。若支承电极层100为平板状，则制造复合电容器1时的支承电极层100的操作变得容易，复合电容器1的设计变得容易。若支承电极层100为箔状，则制造复合电容器1时的支承电极层100的操作变得容易。若支承电极层100为薄膜状，则能够将复合电容器1低高度化。
[0033]从多个电容器10的层叠方向观察支承电极层100时的支承电极层100的外形以及面积能够考虑电容器10的静电电容来适当设计。在从上述层叠方向观察支承电极层100时，
支承电极层100具有矩形、角部弯曲的矩形、或者椭圆形的外形。在从上述层叠方向观察时，支承电极层100也可以形成有孔。
[0034]构成支承电极层100的材料没有特别限定。支承电极层100例如由铜等金属构成。在支承电极层100由金属构成的情况下，通过使其他导电构件和支承电极层100相互接触，从而能够容易地构成导电路径。此外，在支承电极层100由金属构成的情况下，能够使支承电极层100的电阻值比较低，并且能够提高耐热性。
[0035]支承电极层100也可以具有用于与多个导电柱状部110等其他导电构件连接而构成导电路径的布线。在支承电极层100具有布线的情况下，支承电极层100的布线以外的部分也可以由绝缘材料构成。支承电极层100的布线以外的部分也可以由陶瓷构成。在支承电极层100的布线以外的部分由陶瓷构成的情况下，支承电极层100的机械特性提高。
[0036]多个导电柱状部110各自被支承电极层100支承。多个导电柱状部110各自相对于支承电极层100在层叠方向的一侧从支承电极层100沿着层叠方向延伸。在本实施方式中，多个导电柱状部110各自设置为从支承电极层100的表面上延伸，但也可以设置为从支承电极层100的内部向外侧延伸。此外，在本实施方式中，多个导电柱状部110各自由与构成支承电极层100的构件相互不同的构件构成，但多个导电柱状部110各自也可以与支承电极层100一起由一体的构件构成。
[0037]多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种复合电容器，其中，所述复合电容器具备：相互层叠的多个电容器；和绝缘部，将所述多个电容器的层叠方向作为中心轴的轴向，覆盖所述多个电容器的周侧面，所述多个电容器各自包含：支承电极层；多个导电柱状部，相对于所述支承电极层在所述层叠方向的一侧从所述支承电极层沿着所述层叠方向延伸，并且，具有纳米尺寸的外径；电介质层，在所述支承电极层的所述一侧被覆所述支承电极层以及所述多个导电柱状部；和对置电极层，被覆所述电介质层，隔着所述电介质层而与所述支承电极层以及所述多个导电柱状部对置，所述多个电容器包含：第1电容器；和第2电容器，相对于所述第1电容器位于所述一侧，所述第2电容器与所述第1电容器并联地连接。2.根据权利要求1所述的复合电容器，其中，所述多个电容器中的至少一者的所述支承电极层贯通所述绝缘部，并被引出到所述绝缘部的与电容器侧相反侧。3.根据权利要求1或2所述的复合电容器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田真己，清水康弘，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：