带可移除的插入式模块化系统和集成传感器的抛光箱技术方案

本发明专利技术涉及一种抛光箱(100)，其具有金属套筒(110)和构造成能插入所述套筒且能从所述套筒移除的可移除的插入式模块化系统(120)。套筒移除的可移除的插入式模块化系统(120)。套筒移除的可移除的插入式模块化系统(120)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带可移除的插入式模块化系统和集成传感器的抛光箱


[0001]本专利技术涉及抛光箱领域。

技术介绍

[0002]抛光箱是批量抛光方法的关键部分，它们必须满足几个限制条件，并且必须机械上坚固、易于管理、重量轻。
[0003]然而，内衬会磨损，并因此一方面需要重做甚至更换，另一方面，也不容易遵循抛光箱内的工艺。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出通过抛光箱解决这些缺点中的全部或部分，该抛光箱包括：
[0005]‑
金属套筒；和
[0006]‑
可移除的插入式模块化系统；所述可移除的插入式模块化系统被配置成能插入所述套筒中并能从所述套筒中移除。
[0007]由于这种配置，可以很容易地更换内衬。
[0008]根据一个实施例，金属套筒由铝、铜、硅、镁、钛、镍、锌或这些材料的合金制成。
[0009]由于这种配置，抛光箱重量轻，易于操作和更换。
[0010]根据一个实施例，所述可移除的插入式模块化系统由合成材料制成。
[0011]由于这种配置，有利于将所述可移除的插入式模块化系统插入到所述可移除的套筒中。
[0012]根据一个实施例，所述抛光箱包括一组传感器并且优选地包括至少一个压力传感器和/或至少一个温度传感器。
[0013]根据一个实施例，所述金属套筒包括可变形区域以确定变形的位置。
[0014]由于这种配置，由于压力引起的变形被定位并允许保证基准或承载区域等。
[0015]根据一个实施例，所述金属套筒包括盖，所述盖通过紧固件并且优选地螺钉保持到套筒主体。
[0016]由于这种配置，在拧松阶段，操作员的安全性得到了提高。
[0017]上述实施例和变型可以单独或根据任何技术上可行的组合来采用。
[0018]根据以下描述，将更好地理解本专利技术，并且其优点也将显现，该描述仅作为非限制性示例给出并且参考附图进行，其中相同的附图标记对应于结构和/或功能相同或相似的元件。
附图说明
[0019]下面将使用通过非限制性示例给出的附图更详细地描述本专利技术，其中：
[0020]图1显示了根据一个实施例的抛光箱100；和
[0021]图2示出了根据一个实施例的金属套筒110和可移除的插入式模块化系统120的截
面图。
具体实施方式
[0022]本专利技术涉及一种抛光箱100，如图1所示，包括金属套筒110和可移除的插入式模块化系统120，该金属套筒可由轻金属制成，例如铝、铜、硅、镁、钛、镍、锌或包括这些材料中的至少两种的轻合金，所述可移除的插入式模块化系统构造成能插入到所述套筒中并且能从所述套筒中移除以便能够非常容易地更换内衬。
[0023]抛光箱100因此将有限的重量与良好的机械强度相结合。
[0024]如上所述的可移除的插入式模块化系统120可以由合成材料制成，以便能够更容易地更换其套筒。实际上，抛光箱100因此具有合成材料插件的模块化系统，易于制造和更换。
[0025]此外，如图2所示，所述抛光箱100可以包括一组传感器130，优选地包括测量所述金属套筒110内部压力的至少一个压力传感器131和/或测量所述金属套筒110内部温度的至少一个温度传感器132。实际上，操作者可能对知道压力更感兴趣，因为压力可能非常高并且会引起变形。为此目的，所述金属套筒110包括可变形区域111以定位这种变形。也可以嵌入其它类型的传感器，具体取决于与槽中计划的抛光方法相关的信息。
[0026]此外，为了在打开阶段保护操作者的安全，紧固构件117并且优选螺钉将盖115保持到套筒110的主体116。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种抛光箱(100)，包括：金属套筒(110)；和可移除的插入式模块化系统(120)；所述可移除的插入式模块化系统(120)配置成能插入到所述金属套筒(110)中并且能从所述金属套筒(110)移除；其特征在于，所述金属套筒(110)包括可变形区域(111)以确定变形的位置。2.根据权利要求1所述的抛光箱(100)，其中，所述金属套筒(110)由铝、铜、硅、镁、钛、镍、锌或这些材料的合金制成。3.根据权利要求1或2所述的抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：E，
申请(专利权)人：斯沃奇集团研究和开发有限公司，
类型：发明
国别省市：