一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统及方法技术方案

本发明专利技术属于电子化学技术领域，具体公开了一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的制备系统，包括依次通过管道连通的溶液储罐、第一反应釜、第二反应釜、电解槽和反渗透装置；所述溶液储罐通过管道连接有甲醇纯化装置和三甲胺纯化装置；所述第一反应釜通过管道连接有碳酸二甲脂纯化装置；所述第二反应釜通过管道连接有高纯水储罐。本发明专利技术从原材料进行纯化，生产过程进行控制，并对生成的四甲基碳酸氢铵进行处理，可以得到高纯度的四甲基碳酸氢铵，进而制备电子级四甲基氢氧化铵，使生产的四甲基氢氧化铵达到电子级。的四甲基氢氧化铵达到电子级。的四甲基氢氧化铵达到电子级。

【技术实现步骤摘要】
一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统及方法


[0001]本专利技术属于电子化学
，特别涉及一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵制备系统及方法

技术介绍

[0002]四甲基氢氧化铵，简称TMAH，是一种有机碱，因其在较低的加热温度下即可分解变为气体，作为催化剂来应用不残留，在工业上有广泛的应用，如可用于硅橡胶、硅树脂和硅油等有机硅产品合成中的催化剂。因TMAH独特的热分解性质，在电子化学品行业，主要用做印刷电路板的光刻显影剂，硅晶片蚀刻剂以及微电子芯片制造中的清洗剂。
[0003]目前生产四甲基氢氧化铵的方法主要为电解法。分二步制成：第一步四甲基碳酸氢铵的合成；第二步通过离子膜电解的方法将四甲基碳酸氢铵转化为最终产品四甲基氢氧化铵。
[0004]而目前市场上售卖的四甲基碳酸氢氨都是工业级的，含有较高的杂质离子，无法满足生产电子级四甲基氢氧化铵的要求。用于有机硅单体催化聚合时,严重影响有机硅产品特性,更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。用工业级四甲基碳酸氢铵生产四甲基氢氧化铵要达到电子级要求，后续提纯工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的制备系统，其特征在于，包括依次通过管道连通的原料储罐(4)、第一反应釜(5)、第二反应釜(10)、电解槽(15)和反渗透装置(16)；所述原料储罐(4)包括碳酸二甲酯储罐、三甲胺储罐和甲醇储罐；所述碳酸二甲酯储罐、所述三甲胺储罐和所述甲醇储罐分别通过管道与所述第一反应釜(5)连接；所述碳酸二甲酯储罐与所述第一反应釜(5)之间设置有第一纯化装置，所述第一纯化装置分别与所述碳酸二甲酯储罐和所述第一反应釜(5)通过管道连接；所述三甲胺储罐与所述第一反应釜(5)之间设置有第二纯化装置，所述第二纯化装置分别与所述三甲胺储罐和所述第一反应釜(5)通过管道连接；所述甲醇储罐与所述第一反应釜(5)之间设置有第三纯化装置，所述第二纯化装置分别与所述甲醇储罐和所述第一反应釜(5)通过管道连接；所述第二反应釜(10)通过管道连接有高纯水储罐(11)；所述第一反应釜(5)用于进行脱甲基化反应；所述第二反应釜(10)用于进行水解反应。2.根据权利要求1所述的一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的制备系统，其特征在于，所述第一纯化装置包括水洗装置(3)；所述第二纯化装置为精馏装置(2)；所述第三纯化装置为萃取精馏装置(1)。3.根据权利要求2所述的一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的制备系统，其特征在于，所述萃取精馏装置(1)中的萃取剂选自二甲基亚砜、N
‑
甲基二乙醇胺、1,3
‑
二甲基
‑2‑
咪唑啉酮中的至少一种。4.根据权利要求1所述的一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的制备系统，其特征在于，所述第一反应釜(5)和所述第二反应釜(10)之间设置有第一减压蒸馏罐(6)和第二常压蒸馏罐(7)；所述第一反应釜(5)、第一减压蒸馏罐(6)、第二常压蒸馏罐(7)和所述第二反应釜(10)通过管道连接；优选地，所述系统还包括第一收集塔(8)和第二收集塔(9)；所述第一收集塔(8)与第一减压蒸馏罐(6)通过管道连接；所述第二收集塔(9)与第二常压蒸馏罐(7)通过管道连接；所述第一收集塔(8)用于收集脱甲基化反应产物中的三甲胺；所述第二收集塔(9)用于收集脱甲基化反应产物中的甲醇。5.根据权利要求1所述的一种从碳酸二甲酯直接生产电子级四甲基氢氧化铵的提纯系统，其特征在于，所述系统还包括第二减压蒸馏罐(12)和离子交换吸附装置(13)；所述第二反应釜(10)、所述第二减压蒸馏罐(12)、所述离子交换吸附装置(13)和电解槽(15)依次通过管道连接；优选地，所述离子交换吸附装置(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：元刚，鲍鑫，蔡阿丽，张凯，张晓东，
申请(专利权)人：西安吉利电子新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：