湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法技术

本发明专利技术涉及一种湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法，过滤器包括：外壳、滤芯以及气体吹扫件。滤芯设置于外壳的内部，滤芯内部设有第一流道，滤芯的外壁面与外壳的内壁面间隔设置配合形成第二流道。气体吹扫件设置于第一流道和/或第二流道的内部，气体吹扫件用于通入带压气体，并将气体喷向第一流道的壁面和/或滤芯的外壁面。上述的过滤器，在使用一段时间后需要对其滤芯进行清洁工作时，将带压气体通入到气体吹扫件，气体吹扫件相应将气体喷向第一流道的壁面和/或滤芯的外壁面，从而便能清除滤芯上的被清洁物，对滤芯能有效清洁，保证滤芯的过滤效果，提高滤芯的使用寿命，进而提高制程药液品质。制程药液品质。制程药液品质。

【技术实现步骤摘要】
湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法


[0001]本专利技术涉及过滤器的清洗
，特别是涉及一种湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法。

技术介绍

[0002]过滤器，尤其是湿式清洗机台的过滤器，其作用是过滤制程药液中的杂质，但过滤器长时间使用后，过滤器的滤芯容易发生堵塞现象。由于滤芯堵塞或被杂质粘附到一定程度，过滤效果变差，影响制程精度和良率。此外，一些特殊杂质(如丙酮，丙酮能溶于药液中的异丙醇)附着在滤芯上时，将影响到过滤后药液的纯度和品质。另外，由于其杂质与药液互溶的性质和当前机台的构造，只能通过更换滤芯来解决问题，然而更换滤芯将大幅增加成本，同时也对制程效果和良率产生不利影响。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法，它能够及时地对滤芯进行有效清洁，能保证滤芯的过滤效果与使用寿命。
[0004]其技术方案如下：一种过滤器，所述过滤器包括：外壳与滤芯，所述滤芯设置于所述外壳的内部，所述滤芯内部设有第一流道，所述滤芯的外壁面与所述外壳的内壁面间隔设置配合形成第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤器，其特征在于，所述过滤器包括：外壳与滤芯，所述滤芯设置于所述外壳的内部，所述滤芯内部设有第一流道，所述滤芯的外壁面与所述外壳的内壁面间隔设置配合形成第二流道；气体吹扫件，所述气体吹扫件设置于所述第一流道和/或所述第二流道的内部，所述气体吹扫件用于通入带压气体，并将所述气体喷向所述第一流道的壁面和/或所述滤芯的外壁面。2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述气体吹扫件为管件，所述管件的管壁上设有至少两个喷气孔，至少两个所述喷气孔沿着所述管件的延伸方向依次间隔设置。3.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述管件的延伸方向平行于所述滤芯的中心轴线；所述喷气孔为至少三个，至少三个所述喷气孔等间隔地设置于所述管件上。4.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述管件为至少两个；至少一个所述管件设置于所述第一流道中，至少另一个所述管件设置于所述第二流道中；或者，所有所述管件设置于所述第一流道或所述第二流道中。5.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述管件贯穿及伸出到所述外壳的外部，并与位于所述外壳外部的气体供应装置相连通。6.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，位于所述第一流道内的所述管件为第一管件，所述第一管件通入的气体为高纯氮气；位于所述第二流道内的所述管件为第二管件，所述第二管件通入的气体为液态二氧化碳。7.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述第二流道中的所述管件为至少两个，并绕所述滤芯间隔布置。8.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述过滤器还包括驱动机构；所述驱动机构与所述滤芯相连，用于驱动所述滤芯绕其中心轴线转动；和/或，所述驱动机构与位于所述第一流道内的气体吹扫件相连，用于驱动所述第一流道内的气体吹扫件绕其中心轴线转动；和/或，所述驱动机构与位于所述第二流道内的气体吹扫件相连，用于驱动所述第二流道内的气体吹扫件能绕所述滤芯的中心轴线在所述第二流道内周向运动。9.根据权利要求8所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯设有与其中心轴线同轴设置的转轴，所述转轴贯穿所述外壳伸出到所述外壳的外部并与所述驱动机构的动力输出轴相连。10.根据权利要求9所述的过滤器，其特征在于，所述外壳上设有轴孔，以及设置于所述轴孔处的第一密封轴承，所述转轴可转动地设置于所述第一密封轴承中。11.根据权利要求10所述的过滤器，其特征在于，所述轴孔处还设有套设于所述转轴外...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱苏凯，黄焱誊，丁光明，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：