陶瓷加热器制造技术

本发明专利技术提供一种陶瓷加热器，其目的在于使其容易达成目标温度分布。作为解决方案，陶瓷加热器(10)具备：具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板(20)；以及设置于陶瓷板(20)的与晶片载置面相反侧的面的轴(40)。在陶瓷板(20)的内部埋设有第一电阻发热体(21)及第二电阻发热体(22)。在从上方观察陶瓷板(20)时，在圆周方向上相互面对的第一折回部(21b)、(21c)彼此的间隙(第一间隙(21d))与在圆周方向上相互面对的第二折回部(22b)、(22c)彼此的间隙(第二间隙(22d))配置为不重叠。(22d))配置为不重叠。(22d))配置为不重叠。

【技术实现步骤摘要】
陶瓷加热器


[0001]本专利技术涉及陶瓷加热器。

技术介绍

[0002]在半导体制造装置中，采用用于加热晶片的陶瓷加热器。作为这样的陶瓷加热器，已知有所谓的双区加热器。作为这种双区加热器，已知如专利文献1所公开的那样，在陶瓷板中，将内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体埋设于同一平面，对各电阻发热体分别独立地施加电压，由此独立地控制来自各电阻发热体的发热。内周侧电阻发热体配线于中央的圆形区域，外周侧电阻发热体配线于该圆形区域的外侧的环状区域。在从设置于陶瓷板的中央部的一对端子分别到外周侧电阻发热体的端部为止的区间设置有跨接线。另一方面，在专利文献2中公开了在陶瓷板中的不同的2个面分别埋设有电阻发热体的陶瓷加热器。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
133195号公报
[0006]专利文献2：国际公开第2020/153079号小册子

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]在专利文献1的陶瓷加热器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷加热器，具备：圆盘状的陶瓷板，其具有晶片载置面；轴，其设置于所述陶瓷板的与所述晶片载置面相反侧的面；第一电阻发热体，其在所述陶瓷板的内部埋设于与所述晶片载置面平行的第一面，且呈从设置于被所述轴包围的区域的一对第一端子的一方到另一方以一笔写的要领在多个第一折回部折回的形状；以及第二电阻发热体，其在所述陶瓷板的内部埋设于与所述晶片载置面平行且与所述第一面不同的第二面，且呈从设置于被所述轴包围的区域的一对第二端子的一方到另一方以一笔写的要领在多个第二折回部折回的形状，在从上方观察所述陶瓷板时，在圆周方向上相互面对的所述第一折回部彼此的间隙与在圆周方向上相互面对的所述第二折回部彼此的间隙配置为不重叠。2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，所述陶瓷板以所述陶瓷板的同心圆为边界分为内区和外区，所述第一电阻发热体和所述第二电阻发热体中的一方是所述内区的发热量比所述外区的发热量多的内区偏重型发热体，所述第一电阻发热体和所述第二电阻发热体中的另一方是所述外区的发热量比所述内区的发热量多的外区偏重型发热体。3.根据权利要求2所述的陶瓷加热器，其中，所述内区偏重型发热体未配置于所述外区，而配置于所述内区，所述外区偏...

【专利技术属性】
技术研发人员：原朋弘，海野丰，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：