用于真空系统的单向止回阀技术方案

公开了一种真空系统单向阀。该阀具有用于横跨真空系统中的流动路径延伸的挡板，挡板包括孔口（16），孔口的周边包括阀座。阀还包括阀构件（18），其包括从构造成与阀座配合的表面延伸的突起（20），突起延伸穿过孔口；其中，突起包括从该突起向外延伸的固持部分）22并被构造成使得固持部分不能穿过孔口。阀构件和孔口被构造成使得阀构件在关闭位置遮挡孔口并与阀座密封以阻碍从出口端部到入口端部的流体流动，并且在使用中能够移位以远离阀座移动并在打开位置允许流体从入口端部流到出口端部，固持部分被构造成在阀处于打开位置时限制阀构件朝向出口端部的行程。朝向出口端部的行程。朝向出口端部的行程。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空系统的单向止回阀


[0001]本专利技术的领域涉及用于在真空系统中使用的单向阀。

技术介绍

[0002]在真空系统中使用单向阀，以允许流体在一个方向上被泵送，并阻止流体从较高压力区返回到真空区。例如，它们被用作诸如吹泄阀的内部减压阀，或用作干泵中的排气止回阀，或用作消减系统中的单向阀。
[0003]在真空系统内发现的压力差可能较高，并且这些系统需要有效的密封。另外，在许多真空系统中泵送的过程气体在高温下是腐蚀性气体。这些气体限制了适用于这样的系统中密封件的密封材料的数量以及这些密封件的寿命。
[0004]希望提供一种改进的单向阀，其具有对腐蚀性过程气体和热过程气体的改善的抵抗力。

技术实现思路

[0005]第一方面提供了一种真空系统单向阀，其包括：挡板，其用于横跨所述真空系统中的流动路径延伸，所述挡板包括孔口，所述孔口的周边包括阀座；阀构件，其包括从构造成与所述阀座配合的表面延伸的突起，所述突起延伸穿过所述孔口；其中，所述突起包括从所述突起向外延伸的固持部分并被构造成使得所述固持部分不能穿过所述孔口；所述阀构件和孔口被构造成使得所述阀构件在关闭位置遮挡所述孔口并与所述阀座密封，以阻碍从出口端部到入口端部的流体流动，并且在使用中能够移位以远离所述阀座移动并在打开位置允许流体从所述入口端部流到所述出口端部；所述固持部分被构造成当所述阀处于所述打开位置时限制阀构件朝向所述出口端部的行程。
[0006]本专利技术的专利技术人认识到，在许多真空系统的环境中密封既具有挑战性又昂贵。特别是，诸如弹性体材料的许多常规密封材料在高温下和通过腐蚀性气体而劣化。这样的高温腐蚀性环境通常是在真空系统中发现的环境。单向阀常规地具有在开启和关闭位置之间自由移动的阀构件或主体。常规地，这样的阀形成为两个部件，这两个部件之间具有密封件，以允许阀主体插入并固持在阀内。
[0007]本专利技术的专利技术人认识到，尽管在阀和真空系统之间需要密封件，但是可以避免在阀的外部封壳中的任何附加的密封件。考虑到这一点，他们提供了一种具有简单构造的阀，使得阀构件由延伸穿过孔口的元件固持，允许止回阀由较少的零件形成，并具有相应地较少的密封要求。
[0008]在一些实施例中，所述外部封壳由所述挡板的外周边构成。
[0009]尽管在一些情况下阀的外部封壳作为环形构件从入口延伸到出口，并提供包含挡板(具有孔口)和可移动阀构件的空间，但在一些情况下外部封壳仅为挡板的外径，并且在这种情况下阀构件将在挡板附接到其上的真空组件内移动。这样的布置减少了将阀附接到阀组件所需的密封件的数量，并且还导致非常紧凑的阀。然而，在这种情况下，阀组件应当
被设计成使得挡板附接到其上的部分使得阀构件具有在其内移动的空间，使得阀构件可以在打开位置和关闭位置之间移动，在打开位置，阀构件不与挡板和孔口接触，在关闭位置，阀构件与挡板密封并关闭孔口。
[0010]在一些实施例中，所述阀的所述外部封壳被构造成支撑用于与所述真空系统密封的密封件。
[0011]在挡板构件的外周边形成阀的外部封壳的情况下，则该外周边可以被构造成保持可能为O形环的密封件，以便它可以被密封到真空组件并以方便的方式保持固定。
[0012]在一些实施例中，所述单向阀还包括：构造成与所述真空系统密封地配合的外部封壳，所述外部封壳形成为单件，并包括入口端部和出口端部，所述入口端部和出口端部经由所述孔口流体连通，所述孔口限定通过所述阀的贯通通道。
[0013]具有单个外部封壳减少将止回阀附接到真空系统所需的密封件的数量。
[0014]在一些实施例中，所述外部封壳包括连接所述入口端部和出口端部的环形壁。
[0015]该阀在入口和出口之间提供可由阀构件打开或遮挡的流动通道。在一些实施例中，该流动通道由包括环形壁的外部封壳提供，其中流体流过由壁包围的内部空间。
[0016]在一些实施例中，所述外部封壳包括基本上圆柱形的形状。
[0017]在其它实施例中，所述外部封壳具有朝向中心部分增加的横截面。
[0018]一种实用的形状可以是坚固、易于制造并且能够包含阀构件并提供流体流动通道的圆柱体。当阀构件被构造成阻塞流体流动路径并且当相当大的孔口被用来改善流体传导性时，则需要同样相当大的阀构件。在这种情况下，朝向孔口和阀构件所在的中心部分增加阀的直径可能是有利的。当处于打开位置时，这为流体围绕阀构件流动提供了额外的空间，并改善了传导性。
[0019]在一些实施例中，所述入口端部和出口端部包括从所述环形壁向外延伸的凸缘，用于与所述真空系统的导管配合。
[0020]外部封壳可以包括在任一端部处的凸缘，用于通过夹紧装置附接到真空系统。
[0021]在一些实施例中，所述外部封壳包括中心部分，该中心部分向外延伸到所述凸缘的外径。
[0022]如前所述，朝向中心部分增加外部封壳的直径可能是有利的。在任一端部处具有用于将阀附接到真空系统的凸缘也可能是有利的。将中间直径增加一定量，使朝向中间的直径与凸缘的直径大小相似，这允许阀具有增加的传导性，但直径不超过由凸缘的尺寸决定的最大直径。
[0023]在一些实施例中，所述阀座包括弹性体材料。
[0024]专利技术人认识到，弹性体材料是一种有效的密封材料，但在高温和一些腐蚀性环境下很脆弱。他们意识到，在阀座上而不是在阀构件上提供这样的材料允许材料保持在更受控制的温度下，因为材料将始终与壳体接触。
[0025]由于阀主体在气流中并且在其大部分操作中远离壳体，其中气流是热气流，所以阀构件将会加热，并且除非由特别耐热的材料制成，否则可能被损坏。
[0026]此外，对于许多阀构件，阀构件和阀座之间的接触表面可以在整个外表面上的任何地方，从而在阀座上提供密封材料允许使用减少量的密封材料。
[0027]在一些实施例中，所述弹性体材料包括在所述出口端部处围绕所述孔口的周边的
涂层。
[0028]弹性体材料可以用来在阀构件和阀座之间提供有效密封。当弹性体材料安装在阀座上时，该材料应当覆盖阀构件将接触的区域。在一些情况下，该材料在孔口的出口端部处的孔口的周边周围。备选地，弹性体材料可以是附接到孔口的环形插入件，再次在出口端部处的孔口的周边周围提供覆盖。在这种情况下，使用可以安装到孔口的单独的弹性体插入件。
[0029]在一些实施例中，所述突起从其延伸的所述表面包括弯曲表面。
[0030]尽管与阀座密封的阀构件的下表面可以具有多种形式，但可能有利的是它是弯曲的，可能是半球形形状的，因为这样的形式将很好地与孔口密封，并且还将以稍微不同的取向与阀构件密封。这可以帮助阻碍来自过程气体的沉积物在阀构件上的积聚。
[0031]在一些实施例中，所述固持部分的长度大于所述孔口的直径。
[0032]为了防止固持部分通过孔口，可能的情况是，垂直于突起的固持部分的至少一个尺寸长于孔口的直径。
[0033]在一些实施例中，所述阀构件由陶瓷材料形成，而在其它本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空系统单向阀，包括：挡板，其用于横跨所述真空系统中的流动路径延伸，所述挡板包括孔口，所述孔口的周边包括阀座；阀构件，其包括从构造成与所述阀座配合的表面延伸的突起，所述突起延伸穿过所述孔口；其中所述突起包括从所述突起向外延伸的固持部分，并且被构造成使得所述固持部分不能穿过所述孔口；所述阀构件和孔口被构造成使得所述阀构件在关闭位置遮挡所述孔口并与所述阀座密封以阻碍从出口端部到入口端部的流体流动，并且在使用中能够移位以远离所述阀座移动并在打开位置允许流体从所述入口端部流到所述出口端部；所述固持部分被构造成当所述阀处于所述打开位置时限制所述阀构件朝向所述出口端部的行程。2.根据权利要求1所述的真空系统单向阀，所述挡板包括构造成与所述真空系统密封的外周边。3.根据权利要求1所述的真空系统单向阀，并且还包括：外部封壳，其被构造成与所述真空系统密封地配合，所述外部封壳形成为单件，并包括入口端部和出口端部，所述入口端部和出口端部经由所述孔口流体连通，所述孔口限定通过所述阀的贯通通道。4.根据权利要求3所述的真空系统单向阀，其中，所述外部封壳包括连接所述入口端部和出口端部的环形壁。5.根据权利要求4所述的真空系统单向阀，其中，所述外部封壳包括基本上圆柱形的形状。6.根据权利要求4所述的真空系统单向阀，其中，所述外部封壳具有朝向中心部分增加的横截面。7.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统单向阀，其中，所述阀座包括弹性体材料。8.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统单向阀，其中，所述突起从其延伸的所述表面包括弯曲表面。9.根据权利要求1至6中的任一项所述的真空系统单向阀，其中，所述阀构件包括构造成与所述阀座配合的弯曲密封表面；并且围绕所述孔口的所述挡板的所述表面的至少一部分朝向所述阀的所述入口端部倾斜，使得所述孔口朝向所述出口端部比朝向所述入口更大。10.根据权利要求9所述的真空系统单向阀，其中，所述倾斜表面的沿直径对置的部分所对的角度在45
°
和100
°
之间、优选地在55
°
和70
°
之间。11.根据权利要求9或10所述的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：