【技术实现步骤摘要】
尺寸缩减的微机电转换器
[0001]本专利技术涉及一种尺寸缩减的微机电转换器。特别地,本专利技术涉及一种包括压力检测装置、压力产生装置和空间分隔元件的微机电转换器;压力检测装置适于检测所产生的压力变化并提供响应于所检测到的压力变化的输出信号,其中,压力检测装置包括麦克风筒和信号处理单元;压力产生装置适于产生响应于其振动的压力变化;空间分隔元件包括一个或多个开口。
技术介绍
[0002]在过去十年中,将呈振动传感器形式的微机电转换器集成到诸如助听器和耳塞等听力装置中的情况显著增加。将微机电转换器(振动传感器)集成到助听器中有诸多益处——包括通过骨传导拾音的降噪以及通过敲击对听力装置的控制。
[0003]例如,可以在EP 3 342 749 A2中发现现有技术的微机电转换器的示例,其涉及振动传感器形式的微机电转换器,该微机电转换器包括独立式和自足式的MEMS麦克风和附接在其上的子组件。MEMS是微机电系统的缩写。当微机电转换器受到振动时,该子组件适于产生压力变化,而MEMS麦克风适于检测压力变化和将所检测到的压力变化转换
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机电转换器,包括:1)压力检测装置,所述压力检测装置适于检测所产生的压力变化并提供响应于所检测到的压力变化的输出信号,其中,所述压力检测装置包括麦克风筒(3)和信号处理单元(4),2)压力产生装置,所述压力产生装置适于产生响应于其振动的压力变化,和3)包括一个或多个开口的空间分隔元件(6、29),其中,所述麦克风筒(3)至少部分地布置在所述空间分隔元件(6、29)的第一开口中。2.根据权利要求1所述的微机电转换器,其中,所述空间分隔元件(6、29)包括至少与所述信号处理单元(4)电连接的第一PCB(6)。3.根据权利要求2所述的微机电转换器,其中,所述第一PCB(6)包括一个或多个开口。4.根据权利要求3所述的微机电转换器,其中,所述麦克风筒(3)至少部分地布置在所述第一PCB(6)中的第一开口中,并且所述麦克风筒(3)使用密封件(23)固定到所述第一PCB(6)。5.根据权利要求3所述的微机电转换器,其中,所述信号处理单元(4)至少部分地布置在所述第一PCB(6)的第二开口中。6.根据权利要求1所述的微机电转换器,其中,所述压力产生装置包括悬挂构件(10)和固定至所述悬挂构件的可动质量体(9)。7.根据权利要求6所述的微机电转换器,其中,所述可动质量体(9)包括适于容纳所述麦克风筒(3)的至少一部分的凹口(14)。8.根据权利要求7所述的微机电转换器,其中,所述微机电转换器还包括第二PCB(7),所述第二PCB(7)包括布置在其外表面上的多个接触区。9.根据权利要求8所述的微机电转换器,其中,所述第二PCB(7)相对于所述第...
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