【技术实现步骤摘要】
波导-光纤耦合装置及其制作方法、光传输系统
[0001]本申请涉及光通信
，特别是涉及一种波导-光纤耦合装置的制作方法、光传输系统及波导-光纤耦合装置。
技术介绍
[0002]伴随着信息与通信技术的快速发展，数据带宽需求呈现爆发式增长，信息传输速率也越来越快，而传统基于铜线路的电互连技术由于其固有功耗大、散热难、损耗高、带宽低、电磁干扰强、互连密度低等缺陷，在高频高速应用领域中表现出极大的局限性。有机光波导具有功耗低、带宽高、容量大、抗电磁干扰强、互连密度高等优点，将有机光波导埋入传统PCB板内，构建光电混合互连系统，可以有效解决电互连方式在大容量高速信号传输领域中所面临的技术瓶颈。如今，光互连技术已经逐渐取代电互连技术，有望被广泛应用于超级计算机、数据中心核心骨干网等领域的路由器与处理器背板信号互连中，是各国竞相角逐的下一代高速通信核心技术。
[0003]有机光波导与光纤耦合是各种集成光学器件走向实用化的关键技术之一。耦合方法有耦合器件嵌入、45
°
镜反射、波导光栅阵列等方式。但是这些方法工...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种波导-光纤耦合装置的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供含有包层薄膜的衬底基板；在所述衬底基板的包层薄膜一侧上形成芯层波导薄膜，通过显影蚀刻或激光烧蚀或压印的方式同时加工出波导阵列及与之相连接的锥形沟槽阵列；在所述锥形沟槽阵列远离所述波导阵列的一端分别加工出第一凹槽和第二凹槽，以固定光纤带。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述衬底基板的包层薄膜一侧上形成芯层波导薄膜，通过显影蚀刻或激光烧蚀或压印的方式同时加工出波导阵列及与之相连接的锥形沟槽阵列的步骤具体包括：通过显影蚀刻或激光烧蚀或压印的方式去除掉以所述波导阵列和所述锥形沟槽阵列连接处为轴线的波导线路一侧的所述芯层波导薄膜形成波导阵列，在轴线另一侧去除掉所述锥形沟槽阵列处的所述芯层波导薄膜形成所述锥形沟槽阵列。3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述锥形沟槽阵列远离所述波导阵列的一端分别加工出第一凹槽和第二凹槽之后的步骤包括：将所述光纤带的纤芯部分嵌入所述锥形沟槽阵列中，使其与所述波导阵列对接。4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述将光纤带的纤芯部分嵌入所述锥形沟槽阵列中，使其与所述波导阵列对接之前的步骤包括：通过激光束对所述锥形沟槽阵列、所述第一凹槽和所述第二凹槽进行扫蚀处理。5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述所述在所述锥形沟槽阵列远离所述波导阵列的一端分别加工出第一凹槽和第二凹槽之后的步骤包括：将所述光纤带剥除涂覆层的部分放入所述第一凹槽，将所述光纤带放入所述第二凹槽。6.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述将所述光纤带放入第二凹槽之后的步骤包括：将包层胶涂覆到所述光纤带与所述锥形沟槽阵列的间隙内，通过所述包层胶固定并填充凹槽缝隙以进行固化。7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓锋，王国栋，缪桦，姚腾飞，王锐，李永凯，
申请(专利权)人：深南电路股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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