一种碳化硅片生产用贴膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片生产技术领域，具体是一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的顶部一侧固定连接有顶板，所述顶板的内底部固定连接有固定块，所述固定块的底部固定连接有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板的底部固定连接有贴膜板，所述贴膜板靠近侧板的一侧固定连接有滑杆，所述侧板靠近贴膜版的一侧开设有滑槽，所述滑杆远离贴膜板的一端贯穿滑槽固定连接有单向齿条板，所述滑杆与滑槽呈滑动连接，所述单向齿条板远离滑杆的一侧等距离开设有转动槽，单向齿条板的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿，本实用新型专利技术在进行贴膜工作时，能自动翻面，减少了工作量，保证翻转后位置和第一面的位置对应。第一面的位置对应。第一面的位置对应。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅片生产用贴膜设备


[0001]本技术涉及硅片生产
，特别是涉及一种碳化硅片生产用贴膜设备。

技术介绍

[0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。国内独家碳化硅单晶供应商，在研发、技术、市场开发及商业运作等方面处绝对领先地位，已成功掌握76mm(3英寸)超大宝石级SiC2晶体生长核心技术工艺，达到国际2001年先进水平，在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅由于其优良的性能而可能取代硅作芯片，打破硅芯片由于材料本身性能的瓶颈，将给电子业带来革命性的变革，碳化硅的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，未来手机和笔记本电脑的背景光市场将给碳化硅提供巨大的需求增长，但现有的贴膜设备每次只能贴一面的膜，贴完后需要进行翻面，但是人工翻面不但工作量大，而且翻面后会导致位置发生偏移和第一面的位置不对应，所以需要设计一种能进行自动翻面的贴膜装置。
[0003]因此，现在亟需设计能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅片生产用贴膜设备。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本技术提供了一种碳化硅片生产用贴膜设备。
[0005]本技术为达到上述目的所采用的技术方案是：一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的顶部一侧固定连接有顶板，所述顶板的内底部固定连接有固定块，所述固定块的底部固定连接有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板的底部固定连接有贴膜板，所述贴膜板靠近侧板的一侧固定连接有滑杆，所述侧板靠近贴膜版的一侧开设有滑槽，所述滑杆远离贴膜板的一端贯穿滑槽固定连接有单向齿条板，所述滑杆与滑槽呈滑动连接，所述单向齿条板远离滑杆的一侧等距离开设有转动槽，所述单向齿条板的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿，每个所述活动齿的齿端均贯穿转动槽呈转动连接。
[0006]优选的，所述侧板的内部两侧通过转轴转动连接有齿轮和第一伞齿，所述齿轮与单向齿条板上的活动齿啮合，所述侧板的内侧壁通过支撑块转动连接有第一转杆，所述第一转杆的顶部固定连接有第四伞齿，所述第四伞齿与第一伞齿相啮合，所述第一转杆的底部固定连接有第二伞齿。
[0007]优选的，所述工作台的顶部固定连接有固定环，所述固定环的顶部对称固定连接有固定柱，每个所述固定柱内均转动连接有转动轴，两个所述转动轴共同固定连接有橡胶固定圈。
[0008]优选的，所述第二伞齿靠近橡胶固定圈的一侧设有第三伞齿，所述第三伞齿与第二伞齿啮合，所述第三伞齿远离第二伞齿的一侧固定连接有第二转杆，所述第二转杆的另一端贯穿侧板与靠近侧板的转动轴固定连接。
[0009]优选的，所述固定环的下方开设有翻转槽。
[0010]优选的，所述工作台的顶部对称固定连接有轮架，每个所述轮架的顶端均对称通过转轴转动连接有两个滚轮。
[0011]本技术的有益效果是：本技术能在气缸带动贴膜板进行贴膜的时候，下移时单向齿条板不与齿轮啮合，贴膜完一面后，气缸带动贴膜板上移使单向齿条板上移与齿轮啮合，使第一伞齿转动带动第四伞齿，第四伞齿带动第一转杆转动使第二伞齿转动，第二伞齿带动第三伞齿转动，使第二转杆转动带动橡胶固定圈进行翻转，方便贴膜板下移进行下一次贴膜，实现自动翻面贴膜。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构示意图；
[0013]图2为本技术的正视结构示意图；
[0014]图3为本技术的俯视结构示意图;
[0015]图4为本技术的内部结构示意图;
[0016]图5为本技术的单向齿条板内部结构示意图。
[0017]附图标记说明：1、工作台；2、轮架；3、滚轮；4、固定环；5、固定柱；6、橡胶固定圈；7、侧板；8、顶板；9、贴膜板；10、滑槽；11、固定块；12、气缸；13、滑杆；14、单向齿条板；15、齿轮；16、第一伞齿；17、第二伞齿；18、第一转杆；19、第三伞齿；20、第二转杆；21、翻转槽；22、转动槽；23、活动齿；24、第四伞齿；25、转动轴。
具体实施方式
[0018]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0019]如图1
‑
5所示，本技术提供了一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台1，所述工作台1的顶部固定连接有侧板7，所述侧板7的顶部一侧固定连接有顶板8，所述顶板8的内底部固定连接有固定块11，所述固定块11的底部固定连接有气缸12，所述气缸12的伸缩杆贯穿顶板8的底部固定连接有贴膜板9，所述贴膜板9靠近侧板7的一侧固定连接有滑杆13，所述侧板7靠近贴膜版的一侧开设有滑槽10，所述滑杆13远离贴膜板9的一端贯穿滑槽10固定连接有单向齿条板14，所述滑杆13与滑槽10呈滑动连接，所述单向齿条板14远离滑杆13的一侧等距离开设有转动槽22，所述单向齿条板14的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿23，每个所述活动齿23的齿端均贯穿转动槽22呈转动连接，单向齿条板14内的活动齿23通过转轴转动连接，在单向齿条板14下移时活动齿23转动不带动齿轮15转动，当上移时活动齿23被限位与齿轮15啮合使齿轮15转动，从而实现每下压一次使其连动带动橡胶固
定圈6翻转一次。
[0020]进一步的，所述侧板7的内部两侧通过转轴转动连接有齿轮15和第一伞齿16，所述齿轮15与单向齿条板14上的活动齿23啮合，所述侧板7的内侧壁通过支撑块转动连接有第一转杆18，所述第一转杆18的顶部固定连接有第四伞齿24，所述第四伞齿24与第一伞齿16相啮合，所述第一转杆18的底部固定连接有第二伞齿17，支撑块能使第一转杆18稳定转动。
[0021]进一步的，所述工作台1的顶部固定连接有固定环4，所述固定环4的顶部对称固定连接有固定柱5，每个所述固定柱5内均转动连接有转动轴25，两个所述转动轴25共同固定连接有橡胶固定圈6，橡胶固定圈6能对硅片进行固定，方便进行固定和取出。
[0022]进一步的，所述第二伞齿17靠近橡胶固定圈6的一侧设有第三伞齿19，所述第三伞齿19与第二伞齿17啮合，所述第三伞齿19远离第二伞齿17的一侧固定连接有第二转杆20，所述第二转杆20的另一端贯穿侧板7与靠近侧板7的转动轴25固定连接，通过第一转杆18上的第二伞齿17和第四伞齿24能实现单向齿条板14上下移动带动橡胶固定圈6进行翻转。
[0023]进一步的，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的顶部固定连接有侧板（7），所述侧板（7）的顶部一侧固定连接有顶板（8），所述顶板（8）的内底部固定连接有固定块（11），所述固定块（11）的底部固定连接有气缸（12），所述气缸（12）的伸缩杆贯穿顶板（8）的底部固定连接有贴膜板（9），所述贴膜板（9）靠近侧板（7）的一侧固定连接有滑杆（13），所述侧板（7）靠近贴膜版的一侧开设有滑槽（10），所述滑杆（13）远离贴膜板（9）的一端贯穿滑槽（10）固定连接有单向齿条板（14），所述滑杆（13）与滑槽（10）呈滑动连接，所述单向齿条板（14）远离滑杆（13）的一侧等距离开设有转动槽（22），所述单向齿条板（14）的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿（23），每个所述活动齿（23）的齿端均贯穿转动槽（22）呈转动连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用贴膜设备，其特征在于：所述侧板（7）的内部两侧通过转轴转动连接有齿轮（15）和第一伞齿（16），所述齿轮（15）与单向齿条板（14）上的活动齿（23）啮合，所述侧板（7）的内侧壁通过支撑块转动连接有第一转杆（18），所述第一转杆（18）...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有群，陈辉，贺贤汉，周杰，章磊，孙大方，
申请(专利权)人：安徽微芯长江半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：