一种硅片上下料系统技术方案

技术编号:33687359 阅读:22 留言:0更新日期:2022-06-05 23:00
本实用新型专利技术公开了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片分合装置和搬运装置,所述导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构,上料导片组件控制硅片上料工序,下料导片组件控制硅片下料工序,横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转,所述硅片分合装置包括硅片翻转机构、硅片横移机构以及硅片偏移机构,所述硅片横移机构和硅片偏移机构控制硅片翻转机构的移动,所述硅片翻转机构控制对硅片的吸取以及翻转,所述搬运装置控制硅片的流转,本实用新型专利技术实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程。机装置的下料流程。机装置的下料流程。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片上下料系统


[0001]本技术属于光伏领域,涉及一种硅片上下料系统。

技术介绍

[0002]现有技术中,硅片从主机到导片机的下料过程以及从导片机到主机的上料料过程是单独运行的,结构复杂,成本高,同时两组系统占地空间大,此技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足,提供一种硅片上下料系统。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用以下技术方案:一种硅片上下料系统,其特征在于:包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置,导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置,并控制花篮的内部流转,硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合,搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转。
[0005]进一步的;所述导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构,上料导片组件控制硅片上料工序,下料导片组件控制硅片下料工序,横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转。
[0006]进一步的;所述上料导片组件包括上料来料对接输送机构、上料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片上下料系统,其特征在于:包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置,导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置,并控制花篮的内部流转,硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合,搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转。2.根据权利要求1所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构,上料导片组件控制硅片上料工序,下料导片组件控制硅片下料工序,横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转。3.根据权利要求2所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述上料导片组件包括上料来料对接输送机构、上料缓存输送机构、上料花篮升降机构、上料花篮输送机构、上料硅片输送机构、上料硅片缓存机构以及上料接片机构,上料花篮输送机构位于上料花篮升降机构下侧,下料导片组件包括下料来料对接输送机构、下料缓存输送机构、下料花篮升降机构、下料花篮输送机构、下料硅片输送机构、下料硅片缓存机构以及下料接片机构,下料花篮输送机构位于下料花篮升降机构下侧,横移输送机构分别与上料花篮输送机构、下料花篮输送机构连接,花篮经上料花篮输送机构、横移输送机构以及下料花篮输送机构在上料导片组件和下料导片组件间流转。4.根据权利要求3所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述硅片翻转装置包括硅片翻转机构、硅片横移机构以及硅片偏移机构,硅片横移机构以及硅片偏移机构控制硅片翻转机构在水平方向移动,对硅片进行搬运,硅片翻转机构控制硅片翻转,硅片横移机构包括硅片横移动力组件,硅片偏移机构包括硅片偏移动力组件,硅片横移动力组件、硅片偏移动力组件和动力组件采用滚珠丝杆传动,硅片翻转机构包括纵移组件,纵移组件包括动力组件,动力组件控制吸取组件相对于纵移组件进行竖向移动。5.根据权利要求4所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述硅片翻转机构包括吸取组件,吸取组件包括翻转电机和吸取构件,翻转电机和吸取构件控制硅片翻转,吸取构件设置有两组,一组翻转电机连接两组吸取构件,一组吸取构件包括第一吸取板和吸盘,另一组吸取构件包括第二吸取板和吸盘,翻转电机输出轴分别连接第一吸取板和第二吸取板,若干吸盘依次安装在第一吸取板和第二吸取板,第一吸取板和第二吸取板上的吸盘间距与两组上料接片机构的间距相配,吸盘将硅片的吸取或放置,进而实现将硅片导出或导入导片机装置,第二吸取板相对于第一吸取板发生水平翻转,第二吸取板翻转前后,第二吸取板和第一吸取板保持平行,第二吸取板将从上料接片机构吸取的硅片进行翻转,为后续硅片背对背合片进行预处理,通过第二吸取板将处于背对背的硅片进行翻转,使导入下料接片机构的硅片朝向一致。6.根据权利要求1所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述搬运装置包括花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、硅片规整机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构、石英舟定位移动机构、石英舟翻转搬运组件和石英舟托输送机构,花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构以及石英舟定位移动机构控制硅片的搬运流转,硅片规整机构对花篮硅片顶升机构顶升以及石英舟硅片顶升机构内的硅片进行调整,石英舟翻转搬运组件对石英舟进行搬运和翻转,石英舟托输送机构与主机连接,控制硅片输入或输出主机。7.根据权利要求6所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述花篮定位移动机构设
置有两组,包括用于承载花篮的承托组件和用于移动承托组件的驱动组件,驱动组件驱动承托组件,用于硅片的搬运;花篮硅片顶升机构包括承载机架和顶升组件,承载机架包括顶升动力组件,顶升动力组件控制顶升组件升降,顶升组件包括顶升连接板和顶升件,顶升件包括顶升框架组件、顶齿固定板和顶齿组件,顶齿组件通过顶齿固定板安装在顶升框架板,顶齿组件由若干顶齿构成,一组顶齿设置有若干插槽,硅片导入或导出插槽。8.根据权利要求7所述的一种硅片上下料系统,其特征在于:所述顶升件设置有两组,且呈水平对称方式安装在顶升连接板的两端,两组顶升件的间距与两组吸取构件的间距相配,顶升组件将硅片从承托组件顶升或将硅片流转至承托组件,顶升框架组件由两组水平对称分布的顶升框架板构成,一组顶升件设置有两组顶齿组件,一组顶齿组件与一组顶升...

【专利技术属性】
技术研发人员:林佳继周欢时祥
申请(专利权)人:拉普拉斯无锡半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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