一种扩散炉的炉门密封结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散炉的炉门密封结构，包括炉体、炉管、石英炉门和金属炉门，石英炉门的内侧板与外侧板之间设有第一隔板和第二隔板，第一隔板与第二隔板平行设置，第一隔板与石英炉门的内侧板之间形成第一保温腔，第一保温腔内设有第一保温材料；第一隔板与第二隔板之间形成第二保温腔，第二保温腔内设有第二保温材料；第二隔板与石英炉门的外侧板之间形成第三保温腔，第三保温腔内设有第三保温材料；金属炉门的第四保温腔内设置第四保温材料。本实用新型专利技术对扩散炉的炉门处结构进行优化设计，采用多层保温结构，能够增强炉门与炉管、炉体连接处的密封性和保温性，减少炉管内温度差异，避免炉门粘连等问题。避免炉门粘连等问题。避免炉门粘连等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉的炉门密封结构


[0001]本技术涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种扩散炉的炉门密封结构。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。在半导体扩散工艺中，恒温区温度分布均匀性是对扩散炉的基本要求。目前的扩散炉内温度分布不均匀，尤其是炉门处的温度与炉内温度差异较大，不利于产品稳定性，还会带来炉门粘连的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种扩散炉的炉门密封结构，增强炉门与炉管、炉体连接处的密封性和保温性，减少炉管内温度差异，避免炉门粘连。
[0004]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种扩散炉的炉门密封结构，包括炉体、炉管、石英炉门和金属炉门，所述炉管设于所述炉体的内部，所述石英炉门、所述金属炉门设于所述炉体与炉管的炉门端，所述金属炉门位于所述石英炉门的外侧，所述金属炉门与所述石英炉门固定连接；所述石本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉的炉门密封结构，其特征在于：包括炉体、炉管、石英炉门和金属炉门，所述炉管设于所述炉体的内部，所述石英炉门、所述金属炉门设于所述炉体与炉管的炉门端，所述金属炉门位于所述石英炉门的外侧，所述金属炉门与所述石英炉门固定连接；所述石英炉门具有相对的内侧板和外侧板，所述石英炉门的外侧板与所述金属炉门的内侧连接；所述石英炉门的内侧板与外侧板之间设有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板与所述第二隔板平行设置，所述第一隔板与所述石英炉门的内侧板之间形成第一保温腔，所述第一保温腔内设有第一保温材料；所述第一隔板与所述第二隔板之间形成第二保温腔，所述第二保温腔内设有第二保温材料；所述第二隔板与所述石英炉门的外侧板之间形成第三保温腔，所述第三保温腔内设有第三保温材料。2.如权利要求1所述的扩散炉的炉门密封结构，其特征在于：所述炉体的炉门端端面设有一圈定位凹槽，所述金属炉门的内侧面设有一圈定位凸环，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，李杨，
申请(专利权)人：江苏沃宏装备有限公司，
类型：新型
国别省市：