一种合成石英玻璃沉积用节能插板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板。该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。源的目的。源的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种合成石英玻璃沉积用节能插板


[0001]本技术涉及石英加工设备
，具体为一种合成石英玻璃沉积用节能插板。

技术介绍

[0002]气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；
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为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；
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为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体；
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2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内；
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过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除，
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真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内；
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加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制。
[0003]目前为了使沉积炉内部在靶面上熔融的玻璃在边部固化定型，通用两种方法：一种是炉底为敞开式，另一种是炉底全封闭形式；敞开式炉底对炉外散失大量辐射热和对流热，且室内需要恒温，造成能源的巨大浪费，同时给室内控温、炉内压力控制以及打砣机滑台热防护造成很大压力；而全封闭式虽然阻隔了热量外散，但坩埚约束需要有足够高度，造成气流反弹紊乱、尾气排出受阻进而导致砣料质量下降和砣料长度较短，同时无法适应为了得到径向均匀性更好而增加的靶杆径向摆动要求，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种合成石英玻璃沉积用节能插板，以解决上述
技术介绍
中提出的炉底为敞开式和炉底全封闭形式的冷却定型方式易造成能源的浪费同时无法满足砣料摆动要求的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案，一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板，且第一挡板和第二挡板的左右两侧均设置有第一气缸，所述第一挡板和第二挡板上均开设有弧形缺口，且第二挡板上开设有观察孔，所述导轨内部插设有第二滑块，且第二滑块一侧与第一气缸相连接。
[0006]优选的，所述楼板顶部设置有沉积炉，且沉积炉内部插设有砣料，所述砣料下端连接有支撑杆，且砣料上端设置有燃烧器。
[0007]优选的，所述第一挡板下端设置有打砣机，且打砣机一侧设置有滑台，并且滑台顶部开设有滑槽，滑槽内部插设有第一滑块。
[0008]优选的，所述沉积炉一侧设置有观察窗，且沉积炉的另一侧设置有热电偶，并且热电偶和观察窗下端均设置有废气口。
[0009]优选的，所述支撑杆外壁开设有螺纹，且支撑杆外壁螺纹连接有固定套筒。
[0010]优选的，所述滑台一侧设置有第二气缸，且第二气缸一侧与第一滑块相连接，所述第一滑块顶部设置有螺纹杆，且螺纹杆上端设置有支撑杆。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。
附图说明
[0012]图1为本技术一种合成石英玻璃沉积用节能插板结构示意图；
[0013]图2为本技术一种合成石英玻璃沉积用节能插板第一挡板和第二挡板仰视图；
[0014]图3为本技术一种合成石英玻璃沉积用节能插板第一挡板左视图；
[0015]图4为本技术一种合成石英玻璃沉积用节能插板滑台右视图。
[0016]图中：1、观察窗，2、废气口，3、楼板，4、节能插板主体，5、第一挡板，6、沉积炉，7、燃烧器，8、热电偶，9、砣料，10、支撑杆，11、第一气缸，12、第二挡板，13、第二气缸，14、固定套筒，15、打砣机，16、螺纹杆，17、第一滑块，18、滑台，19、观察孔，20、导轨，21、光栅尺，22、第二滑块。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板3，楼板3底部设置有节能插板主体4，且节能插板主体4包括导轨20、光栅尺21、第一挡板5、第二挡板12、第一气缸11、第二滑块22和观察孔19，楼板3顶部设置有沉积炉6，楼板3与沉积炉6通过螺栓固定连接，且沉积炉6内部插设有砣料9，砣料9下端连接有支撑杆10，且砣料9上端设置有燃烧器7，沉积炉6与燃烧器7为螺纹连接；沉积炉6一侧设置有观察窗1，沉积炉6左侧开设有观察窗1，且沉积炉6的另一侧设置有热电偶8，沉积炉6右侧插设有热电偶8，并且热电偶8和观察窗1下端均设置有废气口2，废气口2与沉积炉6为一体连接；支撑杆10外壁开设有螺纹，且支撑杆10外壁螺纹连接有固定套筒14，固定套筒14下端螺纹连接有螺纹杆16，从而便于插设支撑杆10，以及支撑杆10的固定；第一挡板5下端设置有打砣机15，且打砣机15一侧设置有滑台18，打砣机15右侧通过螺栓与滑台18固定，并且滑台18顶部开设有滑槽，滑槽内部插设有第一滑块17，滑台18与第一滑块17结构相吻合；滑台18一侧设置有第二气缸13，滑台18右侧外壁通过螺栓与第二气缸13外壁固定，且第二气缸13一侧与第一滑块17相连接，第二气缸13左侧通过螺栓与第一滑块17固定连接，第一滑块17顶部设置有螺纹杆16，第一滑块17与螺纹杆16焊接固定，且螺纹杆16上端设置有支撑杆10；楼板3底部设置有导轨20和第一气缸11，楼板3与导轨20和第一气缸11之间均通过滚珠丝杠连
接，第一气缸11和导轨20均设置再滚珠丝杠的螺纹上，滚珠丝杠可以驱动导轨20直线运动，且导轨20内侧设置有光栅尺21，第一挡板5和第二挡板12底部均设置有一个光栅尺21，光栅尺21底部与第一挡板5和第二挡板12均通过螺栓固定，导轨20底部设置有第一挡板5和第二挡板12，导轨20与第一挡板5和第二挡板12均为滑动连接，第一挡板5和第二挡板12的材质均由耐高温隔热材料如氧化铝纤维板和金属托架构成组成，且第一挡板5和第二挡板12的左右两侧均设置有第一气缸11，第一挡板5和第二挡板12均与第一气缸11通过螺栓固定，第一气缸11可以推动第一挡板5和第二挡板12自动在导轨20内部滑动，第一挡板5和第二挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板(3)，其特征在于：所述楼板(3)底部设置有节能插板主体(4)，且节能插板主体(4)包括导轨(20)、光栅尺(21)、第一挡板(5)、第二挡板(12)、第一气缸(11)、第二滑块(22)和观察孔(19)，所述楼板(3)底部设置有导轨(20)和第一气缸(11)，且导轨(20)内侧设置有光栅尺(21)，所述导轨(20)底部设置有第一挡板(5)和第二挡板(12)，且第一挡板(5)和第二挡板(12)的左右两侧均设置有第一气缸(11)，所述第一挡板(5)和第二挡板(12)上均开设有弧形缺口，且第二挡板(12)上开设有观察孔(19)，所述导轨(20)内部插设有第二滑块(22)，且第二滑块(22)一侧与第一气缸(11)相连接。2.根据权利要求1所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板，其特征在于：所述楼板(3)顶部设置有沉积炉(6)，且沉积炉(6)内部插设有砣料(9)，所述砣料(9)下端连接有支撑杆(10)，且砣料(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海亮，徐秀杰，崔超，牛纯富，
申请(专利权)人：陕西士成海普新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：