一种合成石英玻璃沉积用节能插板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板。该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。源的目的。源的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种合成石英玻璃沉积用节能插板


[0001]本技术涉及石英加工设备
，具体为一种合成石英玻璃沉积用节能插板。

技术介绍

[0002]气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；
⑴
为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分；
⑵
为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体；
⑶
2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内；
⑷
过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除，
⑸
真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内；
⑥
加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制。
[0003]目前为了使沉积炉内部在靶面上熔融的玻璃在边部固化定型，通用两种方法：一种是炉底为敞开式，另一种是炉底全封闭形式；敞开式炉底对炉外散失本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板(3)，其特征在于：所述楼板(3)底部设置有节能插板主体(4)，且节能插板主体(4)包括导轨(20)、光栅尺(21)、第一挡板(5)、第二挡板(12)、第一气缸(11)、第二滑块(22)和观察孔(19)，所述楼板(3)底部设置有导轨(20)和第一气缸(11)，且导轨(20)内侧设置有光栅尺(21)，所述导轨(20)底部设置有第一挡板(5)和第二挡板(12)，且第一挡板(5)和第二挡板(12)的左右两侧均设置有第一气缸(11)，所述第一挡板(5)和第二挡板(12)上均开设有弧形缺口，且第二挡板(12)上开设有观察孔(19)，所述导轨(20)内部插设有第二滑块(22)，且第二滑块(22)一侧与第一气缸(11)相连接。2.根据权利要求1所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板，其特征在于：所述楼板(3)顶部设置有沉积炉(6)，且沉积炉(6)内部插设有砣料(9)，所述砣料(9)下端连接有支撑杆(10)，且砣料(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海亮，徐秀杰，崔超，牛纯富，
申请(专利权)人：陕西士成海普新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：