基板保持板和曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板保持板和曝光装置。基板保持板具有基板保持表面。基板保持板包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。至少突起的最上表面是粗糙表面。基部或突起具有第一部分。突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。距离D小于该顶部和与该顶部相邻的底部之间的高度差H。差H。差H。

【技术实现步骤摘要】
基板保持板和曝光装置


[0001]本专利技术涉及基板保持板和曝光装置。

技术介绍

[0002]用于制造各种电子设备的诸如玻璃或硅的基板布置在基板保持板的保持表面上并由基板保持板保持。
[0003]有效的是使基板保持板的保持表面粗糙化。
[0004]日本专利特开No.2006
‑
64992公开了一种基板保持板，其呈支撑基板的支持表面和不支撑基板的非支撑表面均为粗糙表面且这些粗糙表面由氧化铝制成的形式。
[0005]在日本专利特开No.2006
‑
64992的基板保持板中，存在形成于基板保持板的支撑表面处的粗糙表面因与基板接触而被磨损和磨平的问题。
[0006]本专利技术提供了一种能够抑制粗糙表面磨损的基板保持板。
[0007]本专利技术还提供了一种能够减少基板保持板的表面处的光反射的基板保持板。

技术实现思路

[0008]第一方面提供了一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。基部和突起中的每一个的最上表面是算术平均粗糙度Ra为0.4μm以上的粗糙表面。基部或突起具有第一部分。至少突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。所述距离D小于所述顶部和与所述顶部相邻的底部之间的高度差H。
[0009]第二方面提供了一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：具有第一部分的基部构件；第二部分，其相对于第一部分设置在基板保持表面侧并且硬度高于第一部分的硬度；和第三部分，其相对于第二部分设置在基板保持表面侧并且折射率低于第二部分的折射率。第二部分的折射率n2与第一部分的折射率n1之间的差n2
‑
n1小于第二部分的折射率n2与第三部分的折射率n3之间的差n2
‑
n3。
[0010]第三方面提供了一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：具有第一部分的基部构件；第二部分，其相对于第一部分设置在基板保持表面侧并且硬度高于第一部分的硬度；和第三部分，其由多孔材料制成并且相对于第二部分设置在基板保持表面侧。
[0011]第四方面提供了一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：具有第一部分的基部构件；和第二部分，其相对于第一部分设置在基板保持表面侧并且硬度高于第一部分的硬度。第一部分的材料的氧含量为25at％以上。第二部分的材料的碳含量或氮含量为25at％以上。第一部分具有含氮区，含氮区的氮含量在距第二部分100nm以内的范围内为1at％以上。
[0012]本专利技术的进一步特征将根据以下参照附图对示例性实施例的描述而变得明显。
附图说明
[0013]图1A至1E是基板保持板的透视图。
[0014]图2A至2C是示出了基板保持板的示意图。
[0015]图3A至3C是示出了基板保持板的示意图。
[0016]图4A和4B是示出了基板保持板的示意图。
[0017]图5A和5B是示出了基板保持板的示意图。
[0018]图6A和6B是示出了基板保持板的示意图。
[0019]图7A和7B是示出了基板保持板的示意图。
[0020]图8A至8C是示出了基板保持板的示意图。
[0021]图9是曝光装置的示意图。
具体实施方式
[0022]下面，将参照附图描述本专利技术的实施例。然而，下面描述的各个实施例仅是本专利技术的实施例，且本专利技术不限于此。在下面的描述和附图中，多个附图中相同的部件用相同的附图标记指代。相同的部件将会参照多个附图来进行描述，并且将酌情省略对由相同的附图标记指代的部件的描述。
[0023]图1A是根据本实施例的第一示例的基板保持板1的透视图。本实施例中的基板保持板1包括基部2和位于基部2之上或上方的突起3。基板保持板1的两个主要表面(前表面和后表面)中的一个表面(为方便起见称为前表面)是基板保持表面，突起3设置在基板保持表面处。突起3的至少最上表面和侧表面构成基板保持表面。
[0024]图1B是示出了在基板7被放置在图1A中的基板保持板1之上或上方时的基板保持板1的透视图。基板7被放置在基板保持板1的保持表面之上或上方。基部2和设置在基部2之上或上方的突起3保持基板7。特别地，位于保持表面处的突起3支撑基板7。由于突起3支撑基板7，因此减少了基板保持板1与基板7之间的接触面积，并且与未设置突起3的情况相比可以抑制对基板7的损坏。当基板7被放置在保持表面之上或上方时，突起3的最上表面是基板保持板1与基板7之间的接触表面。当基板7没有放在保持表面之上或上方时，突起3的最上表面与基板保持板1的气氛(例如，空气或惰性气体)接触。第一示例中放置在基板保持板1上的基板7是用于制造电子设备的基板7。基板7可以构成电子设备的一部分，或者可以在电子设备的制造过程中被移除而不构成电子设备。例如，基板7可以是用于制造有机电激发光(EL)显示器、液晶显示器、太阳能电池板等的玻璃基板、树脂基板或蓝宝石基板。
[0025]抽吸孔4设置在本示例的基板保持板1中。基板7通过抽吸孔4被抽真空。然而，可以省去抽吸孔4。
[0026]图1C是根据本实施例的第二示例的基板保持板1的透视图。图1D是示出了在基板7被放置在图1C中的基板保持板1上时的基板保持板1的透视图。第二示例的基板保持板1与图1A的基板保持板的不同之处在于其外部形状为圆形；但是，其他构造是相同的。要放置在第二示例的基板保持板1上的基板7可以是例如Si晶片或SiC晶片的半导体基板、例如玻璃晶片或塑料晶片的绝缘体基板、或蓝宝石基板。
[0027]图1A至1D中示出的基板保持板1可以用于制造各种电子设备的装置。例如，在曝光装置(其对涂抹在基板7上的光刻胶进行曝光)中保持基板7时可以使用基板保持板1。基板
保持板1不仅可以用于曝光装置，而且还可以用于成膜装置、蚀刻装置等。
[0028]如图1E所示，多个基板保持板1可以被布置并用作基板保持工具11。
[0029]第一实施例
[0030]接下来，将参照图2A至2C描述第一实施例。
[0031]图2A是图1A或图1C中被圆圈IIA包围的区域的放大剖视图。图2B是图2A中被圆圈IIB包围的区域的放大图。图2C是图2B中被圆圈IIC包围的区域的放大图。
[0032]如参照图1A或1C描述的，本实施例的基板保持板1包括基部2和突起3。在保持表面中，至少突起3的最上表面均是粗糙表面。
[0033]以下描述中的“粗糙表面”可以是具有0.4μm以上的算术平均粗糙度Ra的表面。每个突起3包括高硬度部分5，其为硬度高于基部2的硬度的部分。这一点不仅可以适用于本实施例，而且也可以适用于其他实施例。在本实施例中，保持表面中的突起3的最上表面将被描述为粗糙表面。此外，高硬度部分5将被描述为设置在保持表面中的突起3的最上表面处。
[0034]将描述基部2。基部2包括组成部分21、组成部分22和组成部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板，其中，基部和突起中的每一个的最上表面是算术平均粗糙度Ra为0.4μm以上的粗糙表面，其中，基部或突起具有第一部分，其中，至少突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分，其中，第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内，并且其中，所述距离D小于所述顶部和与所述顶部相邻的底部之间的高度差H。2.根据权利要求1所述的基板保持板，其中，第二部分设置在比距离所述底部的高度差H小的范围内。3.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，最上表面的至少一部分由第二部分构成。4.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，突起具有所述第一部分，并且粗糙表面的最高顶部与相邻底部之间的高度差Hmax大于从粗糙表面的最高顶部到第一部分的距离。5.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，突起具有所述第一部分，第一部分在基板保持表面侧的上表面是粗糙表面，并且第二部分的厚度是突起的最上表面的算术平均粗糙度Ra的4倍以下。6.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，由与第二部分的材料相同的材料制成的第二区段相对于由与基板的第一部分的材料相同的材料制成的第一区段设置在基板保持表面侧。7.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，基部的第一区段的上表面是粗糙表面，第一区段由与第一部分的材料相同的材料制成，所述上表面位于基板保持表面侧。8.根据权利要求7所述的基板保持板，其中，上表面的算术平均粗糙度Ra为0.4至4.0μm。9.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，突起具有截头的圆锥形形状或圆柱形形状。10.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，突起包括以30mm以下的间距设置的多个突起。11.根据权利要求1所述的基板保持板，其中，硬度比第二部分的硬度低的第三部分相对于第二部分设置在基板保持表面侧。12.根据权利要求1或2所述的基板保持板，其中，所述底部由硬度比第二部分的硬度低的第三部分构成。13.一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：具有第一部分的基部构件；第二部分，其相对于第一部分设置在基板保持表面侧并且硬度高于第一部分的硬度；和第三部分，其相对于第二部分设置在基板保持表面侧并且折射率低于第二部分的折射率，
其中，第二部分的折射率n2与第一部分的折射率n1之间的差n2
‑
n1小于第二部分的折射率n2与第三部分的折射率n3之间的差n2
‑
n3。14.根据权利要求11或13所述的基板保持板，其中，第三部分由多孔材料制成。15.一种具有基板保持表面的基板保持板，包括：具有第一部分的基部构件；第二部分，其相对于第一部分设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒井一浩，福井慎次，龙野俊直，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：