感光性组合物及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种可用于形成微电子和/或光电子器件及其组件的包含聚降冰片烯(PNB)聚合物及特定添加剂的感光性组合物，更具体而言，涉及一种包含PNB和特定多官能交联剂以及两种以上的酚类化合物的组合物，其耐热氧化链降解且显示出改善的机械特性。且显示出改善的机械特性。且显示出改善的机械特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性组合物及其应用


[0001]根据本专利技术的实施方式通常涉及一种聚降冰片烯(PNB)组合物，其包含可用于形成微电子和/或光电子器件及其组件的各种添加剂，更具体而言涉及一种包含PNB的组合物，该PNB具有至少一种包含端基官能化聚醚的降冰片烯型重复单元，其中这种组合物显示出改善的热、机械及光电性能。

技术介绍

[0002]有机聚合物材料越来越多地用于微电子和光电子行业的各种应用。例如，这种有机聚合物材料的用途包括用于微电子和光电子器件的层间电介质、再分布层、应力缓冲层、调平或平坦化层、α粒子阻挡层及钝化层。由于这种有机聚合物材料具有感光性而可自成像，因此具有如下附加优点，即减少由这种材料制成的这种层及结构的用途所需的处理步骤数。此外，这种有机聚合物材料能够直接粘接器件和器件组件以形成各种结构。这种器件包括微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)。
[0003]虽然聚酰亚胺(PI)、聚苯并恶唑(PBO)及苯并环丁烷(BCB)组合物由于通常具有良好的热稳定性和机械强度而已成为上述各种应用的选用材料，但每一种上述材料均在固化期间由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性组合物，其包含：a)聚合物，具有：衍生自通式(I)的单体的通式(IA)的第一类型的重复单元：衍生自通式(II)的单体的通式(IIA)的第二类型的重复单元：及衍生自通式(III)的单体的通式(IIIA)的第三类型的重复单元：其中：表示与另一重复单元键合的位置；a为0～3的整数；b为1～4的整数；c为1～4的整数；R1选自包括氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基及正丁基的组；R
18
选自
‑
(CH2)
s
‑
、
‑
(CH2)
t
‑
OCH2–
或
‑
(CH2)
t
‑
(OCH2CH2)
u
‑
OCH2‑
，其中s为0～6的整数，t为0～4的整数，u为0～3的整数，R
19
为
‑
(CH2)
v
‑
CO2R
20
，其中v为0～4的整数，且R
20
为氢或C1‑
C4烷基；b)光活性化合物，包含通式(A)的重氮醌部分：c)多官能交联剂，选自包括如下的组：通式(IV)的化合物：
及通式(V)的化合物：其中：n为5～8的整数；A选自包括C、CH
‑
(CR2)
d
‑
CH及经取代或未经取代的芳基的组，其中d为0～4的整数且R选自包括氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基及正丁基的组；B选自包括经取代或未经取代的(C2‑
C6)亚烷基及经取代或未经取代的芳基的组；其中所述取代基选自包括卤素、甲基、乙基、直链或支链(C3‑
C6)烷基、(C3‑
C8)环烷基、(C6‑
C
10
)芳基、(C7‑
C
12
)芳烷基、甲氧基、乙氧基、直链或支链(C3‑
C6)烷氧基、(C3‑
C8)环烷氧基、(C6‑
C
10
)芳氧基及(C7‑
C
12
)芳烷氧基的组；d)酚类化合物，选自包括如下的组：
及e)通式(VI)的化合物：
其中d及e为1～4的整数；f及g为0～4的整数；R2与R3相同或不同，且各自独立地选自氢、甲基、乙基、直链或支链C3‑
C6烷基、C3‑
C8环烷基、C6‑
C
10
芳基及C7‑
C
12
芳烷基；或者R2及R3与它们所连接的碳原子一同形成5～8元经取代或未经取代的碳环，其中所述取代基选自C1‑
C8烷基；R4与R5相同或不同，且各自独立地选自氢、甲基、乙基、直链或支链(C3‑
C6)烷基、(C3‑
C8)环烷基、(C6‑
C
10
)芳基及(C7‑
C
12
)芳烷基。2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述聚合物的所述第一重复单元衍生自选自包括如下的组的单体：三氧杂壬基降冰片烯(NBTON)；四氧杂十二烷基降冰片烯(NBTODD)；5
‑
(3
‑
甲氧基丁氧基)甲基
‑2‑
降冰片烯(NB
‑3‑
MBM)；及5
‑
(3
‑
甲氧基丙烷氧基)甲基
‑2‑
降冰片烯(NB
‑3‑
MPM)。3.根据权利要求2所述的感光性组合物，其中，所述聚合物的所述第二重复单元衍生自选自包括如下的组的单体：4
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)
‑
1,1,1
‑
三氟
‑2‑
(三氟甲基)丁
‑2‑
醇(HFACH2NB)；降冰片烯基
‑2‑
三氟甲基
‑
3,3,3
‑
三氟丙
‑2‑
醇(HFANB)；及5
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)
‑
1,1,1
‑
三氟
‑2‑
(三氟甲基)戊
‑2‑
醇(HFACH2CH2NB)。4.根据权利要求3所述的感光性组合物，其中，所述聚合物的所述第三重复单元衍生自选自包括如下的组的单体：3
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)乙酸(NBMeCOOH)；乙基3
‑
(双环[2.2.1]庚
‑2‑
烯
‑2‑
基)丙酸酯(EPEsNB)；双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
羧酸(Acid NB)；及降冰片烯基丙酸(NBEtCOOH)。5.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述聚合物为衍生自选自包括如下的组中的3种单体的三元共聚物：三氧杂壬基降冰片烯(NBTON)；四氧杂十二烷基降冰片烯(NBTODD)；5
‑
(3
‑
甲氧基丁氧基)甲基
‑2‑
降冰片烯(NB
‑3‑
MBM)；5
‑
(3
‑
甲氧基丙烷氧基)甲基
‑2‑
降冰片烯(NB
‑3‑
MPM)；4
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)
‑
1,1,1
‑
三氟
‑2‑
(三氟甲基)丁
‑2‑
醇(HFACH2NB)；降冰片烯基
‑2‑
三氟甲基
‑
3,3,3
‑
三氟丙
‑2‑
醇(HFANB)；5
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)
‑
1,1,1
‑
三氟
‑2‑
(三氟甲基)戊
‑2‑
醇(HFACH2CH2NB)；3
‑
(双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
基)乙酸(NBMeCOOH)；乙基3
‑
(双环[2.2.1]庚
‑2‑
烯
‑2‑
基)丙酸酯(EPEsNB)；双环[2.2.1]庚
‑5‑
烯
‑2‑
羧酸(Acid NB)；及降冰片烯基丙酸(NBEtCOOH)。6.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，
所述重氮醌部分由通式(C)、(D)或(E)表示：7.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述光活性化合物选自以下中的一种以上：
及其中至少一个Q为通式(C)或(D)的基团：剩余的Q为氢。8.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述多官能交联剂选自包括如下的组：2,2'
‑
(((2,2
‑
双((环氧乙烷
‑2‑
基甲氧基)甲基)丙烷
‑
1,3
‑
二基)双(氧基))双(亚甲基))双(环氧乙烷)；2,2'
‑
(((2
‑
(1,3
‑
双(环氧乙烷
‑2‑
基甲氧基)丙
‑2‑
基)丙烷
‑
1,3
‑
二基)双(氧基))双(亚甲基))双(环氧乙烷)；
1,2,4,5
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：普罗米鲁斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：