一种用于精密仪器防微振支撑腿制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于精密仪器防微振支撑腿，包括支撑板、支撑柱和底座，所述支撑板底部与支撑柱焊接固定，所述支撑柱内设有内螺纹孔，所述支撑柱下端设有螺纹卡接件，所述底座上部焊接有螺纹杆，所述螺纹杆上套设有定位螺纹环。本实用新型专利技术通过将底座与螺旋杆焊接固定，实现底座可分离，可以根据不同的楼板要求适配不同型号的底座，通用性好，适用性强，且支撑腿组装、移动方便，制作简单，成本低，防微振效果较好，防微振等级可达VC

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器防微振支撑腿


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于精密仪器防微振支撑腿。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备这种精密仪器对精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]支撑腿，是精密仪器常使用的轻型防震基座，传统的支撑腿结构底座与支撑柱是一体的，底座的形状结构需要与对应的楼板孔洞相适应。因此支撑腿的适应性较差，通用性不好。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于精密仪器防微振支撑腿，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种用于精密仪器防微振支撑腿，包括支撑板、支撑柱和底座，所述支撑板底部与支撑柱焊接固定，所述支撑柱内设有内螺纹孔，所述支撑柱下端设有螺纹卡接件，所述底座上部焊接有螺纹杆，所述螺纹杆上套设有定位螺纹环。
[0007]进一步地，所述支撑板由不锈钢板制成，呈圆形结构，支撑板上开设有第一安装孔。
[0008]进一步地，所述支撑柱由圆钢管制成，在支撑柱中间部位开设有内螺纹连接孔。
[0009]进一步地，所述底座由不锈钢板制成，呈矩形结构，在底座的四个角处开设有定位第二安装孔。
[0010]进一步地，所述支撑腿在固定安装后，采用横梁杆连接固定，所述横梁杆通过螺栓与支撑柱上的内螺纹连接孔栓接固定。
[0011]进一步地，所述横梁杆由方钢制成。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013]本技术通过将底座与螺旋杆焊接固定，实现底座可分离，可以根据不同的楼板要求适配不同型号的底座，通用性好，适用性强，且支撑腿组装、移动方便，制作简单，成本低，防微振效果较好，防微振等级可达VC
‑
D级。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图。
[0015]图2为本技术A部剖面图。
[0016]图3为本技术组合使用时的结构示意图。
[0017]图中1
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支撑板，11
‑
第一安装孔，2
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支撑柱，21
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螺纹卡接件，22
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内螺纹孔，23
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连接
孔，3
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底座，31
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螺纹杆，32
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第二安装孔，4
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定位螺纹环，5
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横梁杆，6
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螺栓。
具体实施方式
[0018]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1
‑
3所示，一种用于精密仪器防微振支撑腿，包括支撑板1、支撑柱2和底座3，所述支撑板1底部与支撑柱2焊接固定，所述支撑柱2内设有内螺纹孔22，所述支撑柱2下端设有螺纹卡接件21，所述底座3上部焊接有螺纹杆31，所述螺纹杆31上套设有定位螺纹环4。
[0020]所述支撑板1由不锈钢板制成，呈圆形结构，支撑板1上开设有第一安装孔11。
[0021]所述支撑柱2由圆钢管制成，在支撑柱2中间部位开设有内螺纹连接孔23。
[0022]所述底座3由不锈钢板制成，呈矩形结构，在底座3的四个角处开设有定位第二安装孔32。
[0023]所述支撑腿在固定安装后，采用横梁杆5连接固定，所述横梁杆5通过螺栓6与支撑柱2上的内螺纹连接孔23栓接固定。
[0024]所述横梁杆5由方钢制成。
[0025]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器防微振支撑腿，包括支撑板、支撑柱和底座，其特征在于，所述支撑板底部与支撑柱焊接固定，所述支撑柱内设有内螺纹孔，所述支撑柱下端设有螺纹卡接件，所述底座上部焊接有螺纹杆，所述螺纹杆上套设有定位螺纹环。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器防微振支撑腿，其特征在于，所述支撑板由不锈钢板制成，呈圆形结构，支撑板上开设有第一安装孔。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器防微振支撑腿，其特征在于，所述支撑柱由圆钢管制成，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小江，孙乐，刘国东，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：