一种用于精密仪器的多功能防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于精密仪器的多功能防微振基座，包括可拆卸顶板、底座和支腿，所述可拆卸顶板呈十字型结构，所述可拆卸顶板与底座通过栓接固定，所述底座包括钢板框体、混凝土和加强筋，所述钢板框体由不锈钢板焊接呈十字型，所述混凝土浇筑于钢板框体内，所述钢板框体十字型的四个角上部焊接有封头板，所述封头板中间开设有第二安装孔，所述支腿与底座通过栓接固定。本实用新型专利技术通过钢板混凝土设计提高基座防微振能力，同时通过栓接支腿及可调节支腿实现了基座的多功能用途，同时基座适用范围广，安装灵活性大，稳定性好。稳定性好。稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的多功能防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于精密仪器的多功能防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备这种精密仪器对精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]但是不同精密仪器设备对基座的隔振性能要求不同，且不同设备安装方式也不相同，这就造成与精密仪器设备相配套的基座需要单独设计，通用性差。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于精密仪器的多功能防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种用于精密仪器的多功能防微振基座，包括可拆卸顶板、底座和支腿，所述可拆卸顶板呈十字型结构，所述可拆卸顶板与底座通过栓接固定，所述底座包括钢板框体、混凝土和加强筋，所述钢板框体由不锈钢板焊接呈十字型，所述混凝土浇筑于钢板框体内，所述钢板框体十字型的四个角上部焊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的多功能防微振基座，包括可拆卸顶板、底座和支腿，其特征在于，所述可拆卸顶板呈十字型结构，所述可拆卸顶板与底座通过栓接固定，所述底座包括钢板框体、混凝土和加强筋，所述钢板框体由不锈钢板焊接呈十字型，所述混凝土浇筑于钢板框体内，所述钢板框体十字型的四个角上部焊接有封头板，所述封头板中间开设有第二安装孔，所述支腿与底座通过栓接固定。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的多功能防微振基座，其特征在于，所述可拆卸顶板上部布设有防振脚配件，所述可拆卸顶板中间开设四个呈矩形布置的第一安装孔。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的多功能防微振基座，其特征在于，所述加强筋焊接于钢板...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小江，高景作，李斌，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：