废气反应装置及废气处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废气处理技术领域，本实用新型专利技术提供一种废气反应装置及废气处理设备。废气反应装置包括第一壳体、第二壳体和加热器，第一壳体限制出反应腔，并构造有与所述反应腔连通的进口和出口；第二壳体围设于所述第一壳体的外侧，并与所述第一壳体之间限制出环形的容纳腔，所述容纳腔与所述反应腔通过所述第一壳体分隔；加热器设于所述容纳腔内，并通过所述第一壳体向所述反应腔导热，所述加热器包括支撑件和连接于所述支撑件的加热件。本实用新型专利技术提供的废气反应装置，用以解决现有技术中加热器设置在反应腔内，且检修不方便的缺陷，将加热器设置在独立的容纳腔内，检修过程无需拆装加热器，且结构简单。且结构简单。且结构简单。

【技术实现步骤摘要】
废气反应装置及废气处理设备


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其涉及一种废气反应装置及废气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体行业中，废气处理设备应用范围广，使用频率高，但多存在不方便检修、生产成本以及运行成本高等问题。
[0003]其中，废气处理设备的工作原理是废气从废气反应装置的进口进入反应室，反应室提供高温环境并通入一定量的氧化剂，进入反应室的废气在高温的环境中发生氧化还原反应，再进入洗涤装置对废气进行洗涤或其他处理。
[0004]废气反应装置往往存在以下问题：其一、目前废气反应装置使用加热棒为反应室加热以提供高温环境，单个加热棒的功率比较小，为了满足废气处理要求的温度，废气反应装置需要安装多个加热棒。加热棒安装在反应腔内部，制程废气进入反应腔时直接与加热棒接触，含有强酸的废气，容易腐蚀掉加热棒，导致加热棒使用寿命缩短，也导致废气反应装置的体积较大、重量也较大等问题。
[0005]其二，废气反应装置安装时，必须借助辅助设备进行安装，而且对安装的精度要求非常的高，必须要有熟练的操作技术人员操作辅助设备和工人相互配合才能完成安装。受废气反应装置的安装空间限制，不方便安装用于检修的辅助设备，需要人工拆装。当废气反应装置出现故障时，至少需要3～4工人及其技术人员相互配合才能完成拆卸和安装。废气反应装置安装精度取决于操作人员的配合度和熟练度，如果配合不好，还容易造成人员身体伤害。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种废气反应装置及废气处理设备，用以解决现有技术中加热器设置在反应腔内，且装置检修不方便的缺陷，将加热器设置在独立的容纳腔内，检修过程无需拆装加热器，且结构简单。
[0007]本技术提供一种废气反应装置，包括：
[0008]第一壳体，限制出反应腔，并构造有与所述反应腔连通的进口和出口；
[0009]第二壳体，围设于所述第一壳体的外侧，并与所述第一壳体之间限制出环形的容纳腔，所述容纳腔与所述反应腔通过所述第一壳体分隔；
[0010]加热器，设于所述容纳腔内，并通过所述第一壳体向所述反应腔导热，所述加热器包括支撑件和连接于所述支撑件的加热件。
[0011]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述加热件包括电热丝和连接于所述电热丝端部的接线端子，所述接线端子连接于接线柱，所述接线柱可拆卸连接于所述第二壳体的侧壁。
[0012]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述电热丝在所述支撑件内均匀分
布。
[0013]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述电热丝包括多条连续设置的加热带，所述加热带在预设方向沿曲线延伸。
[0014]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述接线柱与所述第二壳体的侧壁通过螺纹连接。
[0015]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述加热件封装于所述支撑件内。
[0016]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述支撑件的材料为陶瓷纤维。
[0017]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述第一壳体与所述第二壳体通过法兰连接。
[0018]根据本技术提供的一种废气反应装置，所述加热器为与所述容纳腔相适配的环形筒状结构。
[0019]本技术还提供一种废气处理设备，包括洗涤装置和如上所述废气反应装置，所述洗涤装置与所述出口连通。
[0020]本技术提供的废气反应装置，通过第一壳体与第二壳体限制出相互分隔的反应腔和容纳腔，加热器设置在容纳腔内，避免加热器与废气接触，起到保护加热器的作用，还减小废气流动阻力，对反应腔进行维护和检修时，无需拆卸加热器；加热器包括加热件和支撑件，通过支撑件将加热件支撑在容纳腔内，加热器的结构简单，且方便拆装。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1是本技术提供的废气处理设备的结构示意图；图中箭头示意了废气流动方向；
[0023]图2是本技术提供的废气反应装置的分解状态结构示意图；
[0024]图3是本技术提供的废气反应装置的俯视结构示意图；
[0025]图4是本技术提供的废气反应装置的加热器的展开状态结构示意图；
[0026]图5是本技术提供的废气反应装置的加热器的剖视状态结构示意图；
[0027]图6是本技术提供的废气反应装置的加热器的控制电路的示意图。
[0028]附图标记：
[0029]100、第一壳体；101、反应腔；102、进口；103、出口；
[0030]200、第二壳体；201、容纳腔；
[0031]300、加热器；301、支撑件；302、加热件；303、电热丝；304、接线端子；305接线柱；
[0032]400、第一法兰；500、第二法兰；600、垫护件；
[0033]700、洗涤装置；701、一级洗涤容器；702、水箱；703、二级洗涤容器；704、三级洗涤容器；705、液位检测件；706、循环水管；707、新水管。
具体实施方式
[0034]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。
[0036]下面结合图1
‑
图6描述本技术的废气反应装置。
[0037]如图1和图2所示，废气反应装置包括：第一壳体100、第二壳体200和加热器300，第一壳体100限制出反应腔101，第一壳体100构造有与反应腔101连通的进口102和出口103；第二壳体200围设于第一壳体100的外侧，第二壳体200与第一壳体100之间限制出环形的容纳腔201，容纳腔201与反应腔101通过第一壳体100分隔；加热器300设于容纳腔201内，加热器300通过第一壳体100向反应腔101导热，加热器300包括支撑件301和连接于支撑件301的加热件302。
[0038]第一壳体100限制出的反应腔101用于通入废气，废气通过进口102进入，处理后的废气经过出口103排出。第一壳体100与第二壳体200之间的容纳腔201用于容纳加热器300，加热器300产生的热量通过第一壳体100传导到反应腔101为废气提供高温环境(此处的高温可以理解为，废气发生氧化还原反应所需要的温度)，并配合通入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气反应装置，其特征在于，包括：第一壳体，限制出反应腔，并构造有与所述反应腔连通的进口和出口；第二壳体，围设于所述第一壳体的外侧，并与所述第一壳体之间限制出环形的容纳腔，所述容纳腔与所述反应腔通过所述第一壳体分隔；加热器，设于所述容纳腔内，并通过所述第一壳体向所述反应腔导热，所述加热器包括支撑件和连接于所述支撑件的加热件。2.根据权利要求1所述的废气反应装置，其特征在于，所述加热件包括电热丝和连接于所述电热丝端部的接线端子，所述接线端子连接于接线柱，所述接线柱可拆卸连接于所述第二壳体的侧壁。3.根据权利要求2所述的废气反应装置，其特征在于，所述电热丝在所述支撑件内均匀分布。4.根据权利要求3所述的废气反应装置，其特征在于，所述电热丝包括多条连续设置的加...

【专利技术属性】
技术研发人员：席涛涛，杨春水，张坤，杨春涛，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：