一种基片载板丝线张紧机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基片载板丝线张紧机构，它包括水平嵌设于载板框沉孔内且向内拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、导引丝线回转使丝线端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向重合的导轮或滚轴；所述导轮或滚轴载板框外侧上部；所述载板框外侧设有与沉孔连通的丝线穿孔。本实用新型专利技术的目的在于提供一种基片载板丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片损坏。片损坏。片损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种基片载板丝线张紧机构


[0001]本技术涉及张紧机构，尤其涉及一种基片载板丝线张紧机构。

技术介绍

[0002]基片载板通常用于PECVD工序装载基片(如硅片)，以便于传送、加热、镀膜。现有一种基片载板，通过丝线在载板框中分割成若干网格状支撑结构以用来架设子载板，丝线至少有一端设有丝线张紧机构，使网格状支撑结构保持紧绷，避免防止在子载板上的基片因载板形变或丝线松弛而受到影响。
[0003]目前，有一种丝线张紧机构为丝线的一端穿过载板框并直接固定到滑块上，两根导杆通过螺纹连接与载板框固定，滑块套于导杆上，通过弹簧对滑块提供与钨丝拉力反向的弹力，实现对钨丝的张紧。但现有丝线张紧机构，滑块经常出现受力不均并发生倾斜，导致导杆间的摩擦力增大，容易发生滑块卡滞，严重时滑块卡死，从而造成丝线断裂，导致基片脱离载板而出现破碎。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基片载板丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片损坏。
[0005]本技术的目的通过如下技术方案实现：
[0006]一种基片载板丝线张紧机构，它包括水平嵌设于载板框沉孔内且向内拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、导引丝线回转使丝线端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向重合的导轮或滚轴；所述导轮或滚轴载板框外侧上部；所述载板框外侧设有与沉孔连通的丝线穿孔。
[0007]较之现有技术而言，本技术的优点在于：
[0008]通过导轮或滚轴调整丝线作用在弹性滑动张紧单元的拉力方向，使丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持同轴，从而优化受力分布，避免滑动出现卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片破片，且结构较为紧凑，方便装配及维修更换，提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
[0009]图1为一种基片载板丝线张紧机构的使用状态示意图；
[0010]图2为一种基片载板丝线张紧机构的实施例结构示意图，图中所示为图1的II局部右视图；
[0011]图3为图2的剖切示意图。
[0012]标号说明：
[0013]II、基片载板丝线张紧机构，21、载板框，21
‑
1、沉孔，21
‑
2、安装孔，22、导轮，23、压簧，24、金属丝固定件，25、紧定螺钉，26、金属丝。
具体实施方式
[0014]一种基片载板丝线张紧机构，其特征在于：它包括水平嵌设于载板框沉孔内且向内拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、导引丝线回转使丝线端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向重合的导轮或滚轴；所述导轮或滚轴载板框外侧上部；所述载板框外侧设有与沉孔连通的安装孔。
[0015]所述载板框上表面设有容网格丝线通过的避让槽。
[0016]所述弹性滑动张紧单元包括一端顶靠于沉孔底壁的压簧以及与沉孔内壁滑动导向配合且固定丝线端头的丝线固定件；所述压簧另一端顶推丝线固定件。
[0017]所述丝线固定件一端插套于压簧内，一端设有顶推压簧端部且与沉孔内壁滑动导向配合的凸肩。
[0018]所述丝线固定件中轴线上设有容丝线穿过的通孔，所述丝线固定件侧壁内设有对丝线进行压紧固定的紧定螺钉。
[0019]下面结合说明书附图和实施例对本
技术实现思路
进行详细说明：
[0020]如图1至图3所示为本技术提供的一种基片载板丝线张紧机构的实施例示意图。
[0021]一种基片载板丝线张紧机构，金属丝26经过导轮22向载板框21内侧回转，穿过压簧23，再穿到金属丝固定件24上，金属丝固定件24上的紧定螺钉25将金属丝26固定在金属丝固定件24上，载板框21上加工适合于金属丝固定件24导向滑动的沉孔21
‑
1和安装导轮22的安装孔21
‑
2。弹性滑动张紧单元工作时压簧23施力于金属丝固定件24上，以给金属丝26施力，使金属丝26处于紧绷状态。弹性滑动张紧单元是一套内嵌式的机构，保证金属丝26受力点在施力点的中心，也使载板在传动方向上不会有凸出来部分影响载板导向。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基片载板丝线张紧机构，其特征在于：它包括水平嵌设于载板框沉孔内且向内拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、导引丝线回转使丝线端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向重合的导轮或滚轴；所述导轮或滚轴载板框外侧上部；所述载板框外侧设有与沉孔连通的安装孔。2.根据权利要求1所述的基片载板丝线张紧机构，其特征在于：所述载板框上表面设有容网格丝线通过的避让槽。3.根据权利要求1或2所述的基片载板丝线张紧机构，其特征在于：所述弹性滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪鹏玉，郭礼贤，赖礼铭，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：