一种双波长激光光学加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双波长激光光学加工设备，涉及到激光加工技术领域，包括底架，所述底架的上端固定连接有基板，所述基板的上端固定连接有龙门架，所述龙门架上设置有激光加工机构，所述龙门架上连接有X轴座，所述X轴座上通过光学平台连接有Z轴座，所述基板的上端连接有Y轴座，所述X轴座、Z轴座和Y轴座上均连接有调节机构。本实用新型专利技术利用调节机构灵活调节激光加工机构和工件，实现对工件的灵活加工，激光加工机构采用随机偏移技术结合脉冲重叠，随机偏移“抹平”挖掘现场底部，以提高加工效率和加大径深比，从而改善了现有技术中高单脉冲能量产生崩边、超快激光器挖掘深度受限和长脉宽激光脉冲挖掘凹坑的问题。长脉宽激光脉冲挖掘凹坑的问题。长脉宽激光脉冲挖掘凹坑的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种双波长激光光学加工设备


[0001]本技术中涉及激光加工
，特别涉及一种双波长激光光学加工设备。

技术介绍

[0002]激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的，激光加工是激光产业的重要应用，与常规的机械加工相比，激光加工更精密、更准确、更迅速.该技术利用激光束与物质相互作用的特性对包括金属与非金属的各种材料进行加工，可大大减少加工时间，降低加工成本，提高工件质量。
[0003]现有技术中，高单脉冲能量会造成很大的边缘崩裂，采用超快激光器可以有效避免崩边，然而超快激光挖掘石英材料，产生的尘渣非常细腻，无法有效排出挖掘现场，残存在现场的尘渣阻挡了进一步挖掘，不但使挖掘效率受限，挖掘深度也受限。长脉宽的激光脉冲虽然有较高的加工效率，但由于激光能量密度在光斑径向上的高斯分布特征，使每个脉冲在材料表面上产生的凹坑呈“锅底”状，凹坑侧壁有倾斜度，下一个脉冲重叠在同一个位置上，造成“锅底”更深，而侧壁倾斜更甚，照射在侧壁上的光强度更弱，使挖掘现场的底部越来越“凹凸不平”，因此公开了一种双波长激光光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双波长激光光学加工设备，包括底架(1)，其特征在于：所述底架(1)的上端固定连接有基板(2)，所述基板(2)的上端固定连接有龙门架(3)，所述龙门架(3)上设置有激光加工机构，所述龙门架(3)上连接有X轴座(4)，所述X轴座(4)通过光学平台连接有Z轴座(5)，所述光学平台和Z轴座(5)均与激光加工机构相连接，所述基板(2)的上端连接有Y轴座(6)，所述X轴座(4)、Z轴座(5)和Y轴座(6)上均连接有调节机构，所述Y轴座(6)的上端通过调节机构连接有R轴座(7)，所述R轴座(7)的上端通过对心XY滑台连接有载物板(8)，所述载物板(8)的上端固定连接有夹持机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种双波长激光光学加工设备，其特征在于：所述激光加工机构包括通过调节机构连接于X轴座(4)上端的皮秒激光器(11)和纳秒激光器(12)，所述激光加工机构还包括通过调节机构连接于Z轴座(5)上的皮秒修剪头(13)、纳秒钻孔头(14)、CCD相机(15)和激光测距仪(16)。3.根据权利要求2所述的一种双波长激光光学加工设备，其特征在于：所述调节机构包括伺服电机(17)、调节螺杆(18)和往复滑块(19)，所述往复滑块(19)螺纹连接于调节螺杆(18)上，所述调节螺杆(18)的一端与伺服电机(17)的输出端固定连接，三个所述伺服电机(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雁，刘银松，
申请(专利权)人：四川西物激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：