用于电动机的线圈组制造技术

电动机（１）的线圈组（２）产生热，当需要将电动机（１）用于高精度定位应用时，这可能是一个缺点。为了降低热的不利影响，在内冷式的外壳（２１）中设置线圈（２６ａ，２６ｂ，２６ｃ）。所述外壳（２１）在至少在要面对电动机（１）的磁组件（３）的一侧上具有最外层（２５），所述最外层（２５）由导电性低或不导电、非磁性或接近非磁性的材料制成。最外层（２５）防止热辐射到环境中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于电动机的线圈组。直线和平面电动机用于(例如) 半导体工业中，更具体而言用于光刻装置中。
技术介绍
应用电动机的一个大的领域是在处理，尤其是光刻曝光期间传送 和定位半导体晶片。电动机包括线圈组和磁组件(一维的用于直线电 动机，二维的用于平面电动机)。如果向线圈组施加电流，所生成的 洛伦兹力诱发线圈组和磁组件之间的相对运动。施加到线圈组的电流产生热，热发散到环境和相邻组件并诱发热 膨胀。在高精确度应用中，如半导体制造中，这种热膨胀可能达到足 以使获得定位的所需高精度不可能。为了冷却线圈组，US 6313550B1公开了一种盖组件，该盖组件 包围线圈和线圈支架并为冷却每个线圈个体提供一部分流体通道。盖 组件包括多个盖。将每个盖置于单个线圈个体和线圈支架之一上方并 包围它们。利用这种设计，每个盖在一个线圈周围提供单个的流体通 道。盖形成盖腔，设计盖腔的大小和形状以接收、围绕和装配到一个 线圈和线圈支架上。它在每个盖和每个线圈之间提供一部分流体通 道，用于注入流体以冷却每个线圈个体。利用这种设计，通过控制通 道中的流体流动，可以单独地监测和控制每个线圈的温度。如果利用流体直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电动机（１）的线圈组（２），所述线圈组（２）包括：由内部流体冷却的外壳（２１）；所述外壳（２１）中的一个或多个线圈（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ）；在所述外壳（２１）上至少在要面对电动机（１）的磁组件（３）的一侧上的最外层（２５），所述最外层（２５）由导电性低或不导电、非磁性或接近非磁性的材料制成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】EP 2005-1-18 05100264.01.一种用于电动机(1)的线圈组(2)，所述线圈组(2)包括由内部流体冷却的外壳(21)；所述外壳(21)中的一个或多个线圈(26a、26b、26c)；在所述外壳(21)上至少在要面对电动机(1)的磁组件(3)的一侧上的最外层(25)，所述最外层(25)由导电性低或不导电、非磁性或接近非磁性的材料制成。2. 根据权利要求1所述的线圈组，其中所述外壳(21)向所述 要面对电动机(1)的磁组件(3)的一侧敞开，且其中所述外壳(21) 包括用于封闭所述外壳(21)的盖板(23),所述盖板(23)包括所 述最外层(25)。3. 根据权利要求1或2所述的线圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：JC康普特，PCM弗里森，R泰伯，F范加尔，HJ埃金科，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[]