【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板减薄蚀刻设备
[0001]本技术涉及蚀刻装置
,具体涉及一种玻璃基板减薄蚀刻设备。
技术介绍
[0002]现有技术一般采用浸渍法和喷淋法来加工制造液晶显示器的玻璃基板,其中,浸渍法由于设备简单且成本低的优点而被广泛地应用于液晶显示器的玻璃基板加工制造。其中使用较多的是浸泡式,现有技术中浸泡式虽然可同时处理多片玻璃基板,但在对玻璃基板进行蚀刻作业的时,需要将同一批次待处理的玻璃基板放入蚀刻槽中进行蚀刻,并对蚀刻完成后的玻璃进行检测,若所述同一批次待处理的玻璃基板蚀刻后的厚度无法达到预期目标,则需要根据再次进行蚀刻,现有技术中往往需要对同一批次的玻璃基板进行多次蚀刻才能获得预期目标厚度的玻璃基板。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种玻璃基板减薄蚀刻设备,通过第一传感器A、第一传感器B分别检测第一道蚀刻工序时第一次蚀刻前、第一次蚀刻后玻璃基板的厚度,便于操作人员根据第一次蚀刻前、第一次蚀刻后玻璃基板的厚度,控制第二次蚀刻的参数,如蚀刻液的浓度,用以解决现有技术中需要多次蚀刻操作来完成对 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板减薄蚀刻设备,其特征在于,包括第一蚀刻槽(1)、第二蚀刻槽(2),所述第一蚀刻槽(1)的左侧连接有第一检测台(13),所述第一蚀刻槽(1)与第二蚀刻槽(2)之间连接有中间检测台(14),所述第二蚀刻槽(2)的右侧连接有第二检测台(15),所述第一检测台(13)上设置有第一传感器A(3a),所述中间检测台(14)上设置有第一传感器B(3b),所述第二检测台(15)上设置有第二传感器(4),还包括控制器(5),所述控制器(5)连接第一传感器A(3a)、第一传感器B(3b)以及第二传感器(4)。2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板减薄蚀刻设备,其特征在于,第一蚀刻槽(1)包括蚀刻槽本体,所述蚀刻槽本体内固定连接有夹持装置(6),所述夹持装置(6)包括挡板(601)、夹持件(602)和支撑件(603);两个挡板(601)的底部通过两个支撑件(603)连接,两个端板的上部通过两个夹持件(602)连接,所述两个夹持件(602)的相对的侧表面和支撑件(603)的上表面呈锯齿状,所述锯齿状包括间隔设置的齿顶(a)和齿底(b),所述侧表面的齿顶(a)、齿底(b)分别与所述上表面的齿顶(a)、齿底(b)相互匹配,所述两个夹持件(602)之间的距离大于两个支撑件(603)之间的距离。3.根据权利要求2所述的一种玻璃基板减薄蚀刻设备,其特征在于,所述锯齿状的相邻两个齿顶(a)之间的距离大于待蚀...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐元刚,黎清贤,
申请(专利权)人:拓维高科成都新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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